EN
Sistem Jaket Pemanas
Kestabilan Suhu : ±0. 5℃
Produk ini mempunyai bahan berikut untuk dipilih mengikut keperluan sebenar:
Bahan Buih Silikon
Bahan PTFE Penuh
Bahan Salutan PTFE
Bahan PTFE Dikembangkan
- Gambaran Keseluruhan
- Produk Disyorkan
Penerangan teknikal:
Sistem Jaket Pemanas mengekalkan suhu yang tepat dalam penghantaran vakum/gas
garisan merentasi proses pengeluaran yang canggih. Direka khusus untuk keperluan industri
spesifik, sistem ini mengelakkan kondensasi reaktan yang tidak lengkap dan pemendapan hasil sampingan
pada dinding paip bahagian dalam - yang penting untuk mengelakkan kegagalan aliran dan kecekapan ekzos
merosot dalam sistem vakum/ekzos semikonduktor. Terdiri daripada tiga komponen utama:
Jaket Pemanas (rekabentuk mengikut spesifikasi jejak)
Pengendali PID (kestabilan ±0.5℃)
Kabinet Kawalan HMI
penyelesaian ini membolehkan pemantauan paip secara masa nyata dan pengurusan haba untuk paip gas keluli tahan karat.
Aplikasi Jaket Pemanas :
1. Paip Penghantaran Gas
Gas Proses Berbahaya :
Boron Trichloride (BCl₃), Chlorine Trifluoride (ClF₃), Tetraethyl Orthosilicate (TEOS)
Dichlorosilane (DCS/SiH₂Cl₂), Tungsten Hexafluoride (WF₆)
Penyeliaan proses kawalan titik embun dan pemanasan paip gas untuk mengelakkan kondensasi
2. Proses CVD
Low-Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD)
Plasma-Enhanced CVD (PECVD)
Fungsi: Penstabilan suhu wap prekursor (±1℃)
3. Pengekoran Logam
Sistem pengekalan plasma :
Pengekoran Aluminium (kimia Cl₂/BCl₃)
Pengekoran Tungsten (campuran SF₆/WF₆)
Fungsi: Kekalkan kekonsistenan kereaktifan gas
Kelebihan Jaket Pemanas:
Kategori Kelebihan |
Ciri-ciri Teknikal |
Kawalan Presisi |
kestabilan ±0.5℃ melalui kawalan PID (bersijil ISO 15805) |
Jaminan Keselamatan |
Interlock keselamatan berganda: |
Penebat Eco |
Lapisan penebat tanpa PFAS: |
|
Pemantauan arus masa sebenar: |
Pengawal suhu PID
Sistem Jaket Pemanas menggunakan pengawal suhu PID untuk kawalan haba yang tepat, dengan setiap pengawal beroperasi pada segmen bas RS485 khusus yang mempunyai pengalamatan rangkaian unik. Unit PID ini berfungsi kedua-duanya sebagai modul kawalan berdiri sendiri dan sebagai nod bersepadu dalam senibina rangkaian teragih. Dengan menggunakan protokol Modbus RTU melalui antara muka RS485, semua pengawal berkomunikasi secara dwi-hala dengan kabinet kawalan HMI pusat untuk membolehkan pengurusan suhu berbilang zon terselaras dan pengumpulan data masa sebenar tanpa memerlukan PLC pusat.
Panel Kawalan HMI
Pemasangan jaket pemanas berlapis dan kawalan suhu PID pada paip vakum atau gas adalah agak berkeping-keping, menjadikan mustahil untuk memantau secara berkesan suhu sebenar dan status operasi semua jaket pemanas secara serentak. Bagi membolehkan pemantauan secara sebenar masa bagi semua keadaan jaket pemanas, kami telah melaksanakan panel kawalan HMI yang menggabungkan kesemua jaket pemanas ke dalam satu platform bersepadu, mencapai kawalan berpusat dan pengurusan komunikasi.
Sistem Pemantauan Berpusat
Semua antara muka – termasuk skrin pemantauan, paparan amaran sebenar masa, log amaran sejarah, rekod sejarah peristiwa, carta analisis trend, dan borang laporan – boleh dikonfigurasikan pada sistem utama (menggunakan platform SCADA seperti InTouch atau iFix) bagi pemantauan menyeluruh sistem Jaket Pemanas.
Kelebihan Sistem:
• Peningkatan Kecekapan Pengurusan - Meningkatkan keseluruhan prestasi operasi
• Penyelenggaraan yang Sederhana - Mengurangkan kerumitan operasi dan penyelenggaraan
• Optimasi Kos - Mengurangkan kos pemasangan, operasi, dan pengembangan
• Pengawasan Silang Peranti - Membolehkan pengawasan timbal balik antara beberapa komputer
• Perkongsian Sumber - Memudahkan penggunaan sumber cakera secara terpusat
• Sandaran Berlebihan - Menyediakan fungsi sandaran timbal balik
• Pemberitahuan Alaram Multi-Saluran - Menyokong pemberitahuan melalui SMS/panggilan dan emel
• Analisis Data Komprehensif - Membenarkan carian data bersejarah dan visualisasi grafik kecenderungan
• Pelaporan Automatik - Menjana laporan sistem secara automatik
• Pengurusan rangkaian - Membolehkan pentadbiran sistem pemantauan berpusat
| Kain Dalaman | Kain PTFE Teflon |
| Elemen pemanasan | Elemen pemanas elektrik PTFE nikel kromium |
| Pengekangan | Gebu gentian kaca berkapasiti tinggi |
| Bahan Fabrik Luaran | Kain PTFE Teflon |
| Klip Tetap | Velcro yang tahan api dan rintang suhu |
