EN
Penyejuk CO2
Kestabilan Suhu : ±0.1℃
Julat suhu : -20˚C～+80˚C
Kapasiti penyejukan : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Menyampaikan kawalan haba yang tepat melalui penyejuk haba berkompaun padat untuk :
Pembuatan & ujian wafer semikonduktor
Pengesahan bateri tenaga baharu/e-pemacu
Penyejukan kelengkapan tepat
Aplikasi penyejukan udara khusus ujian
- Gambaran Keseluruhan
- Produk Disyorkan
Penerangan teknikal:
Lingheng CO₂ Ultra-Clean Chiller
Menggunakan bahan penyejuk semula jadi (GWP=1, ODP=0) untuk menghantar kawalan suhu tepat ±0.1℃ bagi proses semikonduktor tingkat tinggi. Membolehkan operasi julat luas -40℃ hingga +100℃ melalui teknologi kitaran transkritikal, serasi dengan aplikasi kritikal:
Litografi Foto
Pengikisan
Penyepuhan Lapisan Atom (ALD)
Laluan Aliran Penuh Tertutup memenuhi piawaian bilik bersih Kelas 100, manakala Rekabentuk bebas gas-F mengurangkan risiko cukai karbon — mencapai kecemerlangan proses dan kepatuhan ESG.
Kelebihan Utama：
Kemampanan alam sekitar:
GWP=1 - Selari sepenuhnya dengan sasaran iklim global, mengurangkan risiko cukai karbon
Penyejuk semula jadi - Menghapuskan keperluan pemulihan/pelupusan gas berfluorin
ODP Sifar - Mematuhi peraturan antarabangsa (contoh, Pindaan Kigali)
kawalan ketepatan ±0.1℃ - Membolehkan nod lanjutan (TSMC 5nm patuh penamatan gas berfluorin)
Operasi bebas kekontaminan - Baki CO₂ <1ppb, disahkan untuk bilik bersih Kelas 1000
kPC 30% lebih tinggi - Teknologi inverter kitaran transkritikal (disahkan berbanding asas LIAT 1.0)
Prestasi Keselamatan:
Tidak beracun & tidak mudah terbakar - Menghilangkan risiko kebocoran bahan penyejuk berfluorinasi
Pengurangan risiko fab - 68% lebih rendah indeks bahaya alam sekitar (mengikut SEMI S10)
Komponen Utama & Operasi:
Komponen |
Teknologi |
Pemampat |
Pemampat inverter hermetik dengan perlindungan terhadap kejutan cecair (kawalan ±0.5℃) |
Pengekondensor |
Keluli nirkarat, kehilangan haba <5% |
Penyusun hawa |
Plat titanium, kecekapan 35% lebih tinggi, bisingan ≤55dB |
Pemanas |
Pemanasan langsung terendam, keseragaman ±0.3℃ |
Kawalan peluasan |
Injap elektronik dengan kawalan lampau panas ±1℃ |
Pam |
Pam Mag-drive (versi cecair berfluorinasi), fluktuasi aliran <2% |
Prinsip Penyejukan:
1. Mampatan → Pengemapan bahan penyejuk
2. Kondensasi → Penyebaran haba & pengewapan
3. Pengekangan EEV → Penjanaan wap tekanan rendah
4. Penyejatan → Penyerapan haba secara tepat dari peralatan
5. Kawalan aliran penukar → Mengekalkan ±0. 1℃
| Parameter Produk GVS010 | Parameter Produk GVS405 | ||
| Model Produk | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Kaedah Penyejukan |
Jenis penyejukan berpenyejuk air |
||
| Mod kawalan |
Kawalan PID |
||
| Julat kawalan suhu | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20℃ hingga +90℃ |
| Kejituan |
±0.1℃ |
||
| Kapasiti penyejukan |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-40℃@4KW |
4 kW pada -10℃ 10 kW pada +20℃ |
| Kuasa | 3KW | 3KW | |
| Tangki | 20L | 20L | |
| Kadar aliran cecair beredar | 20L/min（0.75Mpa） | 20 L/min (0.5 MPa) | 20 L/min (0.7 MPa) |
| Lalu Lintas PCW | 15L/min@15~25℃ | 15 LPM pada 15–25 ℃ pada 0.3–0.4 MPa | |
| Julat suhu | 5~35℃ | ||
| Jenis Cecair Beredar | Campuran Etilena Glikol, Air Tulen, Larutan Berfluor | ||
| Bahan penyejuk | R744（CO2） | ||
| Antara Muka Cecair Beredar |
Rc3/4” |
||
| Antara Muka PCW | Rc1/2” | Rc1-1/4” | Rc1/2” |
| Dimensi luaran（mm） | 380W*900D*1250H | 500 W × 1160 D × 1650 T |
600 L × 900 D × 1300 T (mm) |
| Bekalan kuasa input | 3Ph,208-220V,50Hz | 3 Fasa, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Kuasa Mesin | 8kw | 15.4 kW | |
| berat Bersih | 200kg | ||
| Standard reka bentuk | Separuh | Separuh | SEMI S2, F47 |
