EN
Pendingin Saluran Tiga
Kestabilan Suhu : ±0.1℃
Julat suhu : -40˚C～+80˚C
Kapasiti penyejukan : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Penyejuk pemampat bergrad industri dengan pemampat berjenama premium untuk kestabilan luar biasa. Menyampaikan kestabilan suhu keluar ±0.1℃ untuk aplikasi kritikal termasuk:
Penyejukan peralatan fotolitografi/etching
Pengurusan haba alat PVD/CVD
Kawalan suhu reaktor kimia & farmaseutikal
Proses penyejukan farmaseutikal yang mematuhi GMP
- Gambaran Keseluruhan
- Produk Disyorkan
Penerangan teknikal:
Pendingin Lingheng Tiga Litar menyediakan penyejukan tepat berbilang beban (±0.1℃) dalam satu unit tunggal. Dengan keluaran boleh konfigurasi untuk persekitaran stabil, ia menyediakan:
✅ Kawalan pintar : Operasi dijadualkan, auto-pembaikan, diagnosis sendiri
✅ Keselamatan Tiga Tahap : Amaran keterlebihan haba/beban berlebihan/kekurangan air
✅ Keupayaan Sambungan Industri : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Direka khas untuk alat semikonduktor berkelompok dan garisan pengeluaran PV dengan penjimatan tenaga sebanyak 30%.
Kelebihan utama:
Pengintegrasian TripleSync™
» 3 litar berasingan dalam satu sasis
→ 55% pengurangan jejak bilik pembersihan
Kepersisan Gred Kluster
» Kestabilan ±0.1℃ dengan kecerunan litar antara <±0.03℃
→ Membolehkan penyegerakan proses berbilang kamar
Penyeimbangan Beban Dinamik
» Peralokasian penyejukan pintar (jumlah kapasiti 30kW)
→ 28% penjimatan tenaga pada beban berubah
Kepantasan Pelbagai Alat
» Plug-and-play dengan alat kluster ASML/AMAT/TEL
→ Menyokong kilang 300mm & talian PV TOPCon
Ekosistem Titanium Ultrabersih
» Lintasan aliran boleh disuaikan dengan pengekalan modular
→ <0.1ppb sisa cecair (Patuh Klas 10)
Komponen Utama & Operasi:
Komponen |
Teknologi |
Pemampat |
Pemampat inverter hermetik dengan perlindungan terhadap kejutan cecair (±0. 1kawalan ℃) |
Pengekondensor |
Keluli nirkarat, kehilangan haba <5% |
Penyusun hawa |
Reka bentuk jenis plat, kecekapan 35% lebih tinggi, kebisingan ≤55dB |
Pemanas |
Pemanasan langsung terendam, keseragaman ±0.3℃ |
Kawalan peluasan |
Injap elektronik dengan kawalan lampau panas ±1℃ |
Pam |
Pam Mag-drive (versi cecair berfluorinasi), fluktuasi aliran <2% |
Prinsip Penyejukan:
Kitar Penyejukan PID Boleh Laras :
1️⃣ Pemampatan → Peningkatan tekanan bahan penyejuk
2️⃣ Kondensasi → Penyebaran haba & pengewapan
3️⃣ Pengekang EEV → Menjana tekanan rendah
4️⃣ Penyejatan → Penyerapan haba secara tepat dari peralatan
5️⃣ Kawalan aliran suis frekuensi → Mengekalkan kestabilan ±0. 1℃
| Parameter Produk VT410 | |
| Nama Produk | Pemanas |
| Model Produk | VT410-W-33 |
| Kaedah Penyejukan | Penyejukan air |
| Mod kawalan | Kawalan PID |
| Julat kawalan suhu | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Kejituan | ±0.1℃ |
| Kapasiti penyejukan | CH1:6KW@-40˚C |
| CH2:30KW@+30℃ | |
| CH3:28KW@+20℃ | |
| Kuasa | CH1:4KW |
| CH2:14KW | |
| CH3:4KW | |
| Tangki | Tangki pengembangan CH1/CH2 dikongsi 30L + tangki air panas 25L |
| Aliran cecair beredar | CH1:17 L/min @ 0.9MPa |
| CH2:17 L/min @ 0.9MPa | |
| CH3:25 L/min @ 0.76MPa | |
| Lalu Lintas PCW | CH1: 50 L/min@15~25℃@0.3MPa |
| CH2: 20 L/min@15~25℃@0.3MPa | |
| CH3: 50 L/min@15~25℃@0.3MPa | |
| Julat suhu | 5~35 ℃ |
| Jenis cecair beredar | FC3283 |
| Antara Muka Cecair Beredar | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| Antara Muka PCW | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Dimensi luaran (mm) |
600W*1370D*2000H |
| Bekalan kuasa input | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Kuasa keseluruhan mesin | 41.1 KW |
| Berat Bersih | 600 kg |
| Standard reka bentuk | Separuh |
