Pendingin Saluran Tiga

Kestabilan Suhu : ±0.1℃

Julat suhu : -40˚C～+80˚C

Kapasiti penyejukan : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Penyejuk pemampat bergrad industri dengan pemampat berjenama premium untuk kestabilan luar biasa. Menyampaikan kestabilan suhu keluar ±0.1℃ untuk aplikasi kritikal termasuk:

Penyejukan peralatan fotolitografi/etching

Pengurusan haba alat PVD/CVD

Kawalan suhu reaktor kimia & farmaseutikal

Proses penyejukan farmaseutikal yang mematuhi GMP

Gambaran Keseluruhan
Produk Disyorkan

Penerangan teknikal:

Pendingin Lingheng Tiga Litar menyediakan penyejukan tepat berbilang beban (±0.1℃) dalam satu unit tunggal. Dengan keluaran boleh konfigurasi untuk persekitaran stabil, ia menyediakan:
✅ Kawalan pintar : Operasi dijadualkan, auto-pembaikan, diagnosis sendiri
✅ Keselamatan Tiga Tahap : Amaran keterlebihan haba/beban berlebihan/kekurangan air
✅ Keupayaan Sambungan Industri : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Direka khas untuk alat semikonduktor berkelompok dan garisan pengeluaran PV dengan penjimatan tenaga sebanyak 30%.

原理图5-英.png

Kelebihan utama:

Pengintegrasian TripleSync™
» 3 litar berasingan dalam satu sasis
→ 55% pengurangan jejak bilik pembersihan

Kepersisan Gred Kluster
» Kestabilan ±0.1℃ dengan kecerunan litar antara <±0.03℃
→ Membolehkan penyegerakan proses berbilang kamar

Penyeimbangan Beban Dinamik
» Peralokasian penyejukan pintar (jumlah kapasiti 30kW)
→ 28% penjimatan tenaga pada beban berubah

Kepantasan Pelbagai Alat
» Plug-and-play dengan alat kluster ASML/AMAT/TEL
→ Menyokong kilang 300mm & talian PV TOPCon

Ekosistem Titanium Ultrabersih
» Lintasan aliran boleh disuaikan dengan pengekalan modular
→ <0.1ppb sisa cecair (Patuh Klas 10)

结构图.png

Komponen Utama & Operasi:

Komponen	Teknologi
Pemampat	Pemampat inverter hermetik dengan perlindungan terhadap kejutan cecair (±0. 1kawalan ℃)
Pengekondensor	Keluli nirkarat, kehilangan haba <5%
Penyusun hawa	Reka bentuk jenis plat, kecekapan 35% lebih tinggi, kebisingan ≤55dB
Pemanas	Pemanasan langsung terendam, keseragaman ±0.3℃
Kawalan peluasan	Injap elektronik dengan kawalan lampau panas ±1℃
Pam	Pam Mag-drive (versi cecair berfluorinasi), fluktuasi aliran <2%

Prinsip Penyejukan:

Kitar Penyejukan PID Boleh Laras :
1️⃣ Pemampatan → Peningkatan tekanan bahan penyejuk
2️⃣ Kondensasi → Penyebaran haba & pengewapan
3️⃣ Pengekang EEV → Menjana tekanan rendah
4️⃣ Penyejatan → Penyerapan haba secara tepat dari peralatan
5️⃣ Kawalan aliran suis frekuensi → Mengekalkan kestabilan ±0. 1℃

Parameter Produk VT410		VT210-W-32
Nama Produk	Pemanas
Model Produk	VT410-W-33	VT210-W-33
Kaedah Penyejukan	Penyejukan air
Mod kawalan	Kawalan PID
Julat kawalan suhu	CH1:-45~+60℃	Saluran 1: +10℃ hingga +80℃

	CH2:+30~+90℃	Saluran 2: +30℃ hingga +90℃

	CH3:+10~+55℃	Saluran 3: +30℃ hingga +90℃
Kejituan	±0.1℃
Kapasiti penyejukan	CH1:6KW@-40˚C	Saluran 1: 15 kW pada 20℃

	CH2:30KW@+30℃	Saluran 2: 20 kW pada +60℃

	CH3:28KW@+20℃	Saluran 3: 20 kW pada +60℃
Kuasa	CH1:4KW

	CH2:14KW

	CH3:4KW
Tangki	Tangki pengembangan CH1/CH2 dikongsi 30L + tangki air panas 25L
Aliran cecair beredar	CH1:17 L/min @ 0.9MPa	25 L–30 L/min pada 0.65 MPa

	CH2:17 L/min @ 0.9MPa

	CH3:25 L/min @ 0.76MPa
Lalu Lintas PCW	CH1: 50 L/min@15~25℃@0.3MPa

	CH2: 20 L/min@15~25℃@0.3MPa

	CH3: 50 L/min@15~25℃@0.3MPa
Julat suhu	5~35 ℃
Jenis cecair beredar	FC3283
Antara Muka Cecair Beredar	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
Antara Muka PCW	CH1/CH2/CH3: Rc1"	Saluran 1/Saluran 2/Saluran 3: Rc1-1/4"
Dimensi luaran (mm)	600W1370D2000H	1100W1400D1600T
Bekalan kuasa input	3Ph,380-400V,50Hz
Kuasa keseluruhan mesin	41.1 KW
Berat Bersih	600 kg
Standard reka bentuk	Separuh