Dalam dunia mikroskopik bengkel semikonduktor, perubahan suhu sekecil 0.1°C boleh mencetuskan "kesan rama-rama", mengakibatkan pembaziran berjuta-juta cip. Mengapa kawalan suhu begitu kritikal?
1、 "Ancangan" Litografi
Mesin litografi moden ibarat jam tangan optik yang tepat. Laser dalaman, kanta, dan meja kerjanya menghasilkan haba semasa operasi berkelajuan tinggi. Peranan pendingin (pendingin air presisi) adalah untuk memberikan komponen utama ini persekitaran suhu ultra-stabil pada ±0.01°C, memastikan lintasan optik tidak menyimpang pada tahap mikron, seterusnya menjamin ketepatan maksimum dan kejituan superposisi dalam litografi.
2、 "Pengawal Irama" bagi Pemendapan Filem Nipis
Dalam proses CVD (pendepositan wap kimia) dan PVD (pendepositan wap fizikal), suhu tindak balas secara langsung menentukan ketebalan, keseragaman, dan komposisi filem nipis. Dengan mengawal suhu ruang tindak balas secara tepat, Pendingin memastikan setiap lapisan filem nipis mendapan secara seragam, seperti muzik yang dimainkan mengikut skor muzik. Ini adalah penting untuk membina asas struktur cip berprestasi tinggi.
3、 Kesimpulan:
Chiller telah melampaui bidang peralatan tambahan; ia adalah asas kepada kejituan, kestabilan, dan hasil dalam pembuatan semikonduktor. Tidak kelihatan tetapi wujud di mana-mana, ia memelihara transformasi sempurna dari sebutir pasir kepada cip. 
EN
