Chillerit, joita tarvitaan puolijohdeteollisuuden prosessissa lämpötilan vakauttamiseksi, ovat olennaisia, koska tuotannon tarkkuus ja saanto riippuvat suuresti lämpötilan muutoksista valmistusprosessin aikana. Yli 12 vuoden kokemus ja erikoistuminen lämmönhallinnassa on tehnyt LIAT:sta yhden parhaista puolijohdealan lämmönhallinnan asiantuntijoista, ja se on suunnitellut ja kehittänyt alan edelläkävijöitä sähkökomponenttien lämpötilavakaudessa toimivissa chilereissä. Yhtenä johtavista puolijohdeteollisuuden valmistajista LIAT tarjoaa lämpötilaltaan vakaasti toimivia chilereitä, jotka ovat alan huippuluokkaa. Tämä vastaa kysymykseen siitä, miten LIAT:n puolijohdechillerit pystyvät toimittamaan saman tarkan ja johdonmukaisen suorituskyvyn kaikissa puolijohdealan chilereissään. Tässä blogissa käsitellään keskeisiä teknologioita ja ratkaisuja, mukaan lukien tiukat testausmenetelmät ja keskeiset teknologiat, jotka on suunniteltu tarjoamaan tarkkuutta ja luotettavuutta erittäin tarkoissa lämpötilan vakautta toimivissa puolijohdealan chilereissä.
LIAT on kehittänyt puolijohdekomponenttien lämpötilan vakauttamiseen tarkoitetun jäähdytysjärjestelmän, joka käyttää lämpötila-antureita ja säätöjärjestelmiä haluttujen tulosten saavuttamiseksi. Tämä jäähdytyslaite sisältää edistyneitä antureita, jotka voivat havaita lämpötilaeroja ±0,1? sisällä ja tehdä reaaliaikaisia säätöjä. Integroitu PLC-ohjausjärjestelmä voi sopeutua mihin tahansa muutoksiin jäähdytystulostuksessa korjatakseen mahdolliset erot. Järjestelmä takaa, että lämpötilan vakauttamiseen tarkoitetut puolijohde-jäähdytinjärjestelmät voivat ylläpitää tarkan lämpötilan sallittujen toleranssien puitteissa, myös 5 nm solmujen ja/tai edistyneiden 2,5D/3D-pakattujen piirien käytön aikana. Erityisesti tarkkaa insinööritieteellistä suunnittelua painotetaan, mikä tarkoittaa, että jokainen järjestelmän osa on suunniteltu toimimaan yhdessä muiden osien kanssa räätälöidyn säädön ja järjestelmän tulostuksen ylläpitämiseksi.
LIAT:n jäähdytin riippuu osien lämmönsiirtotehokkuudesta. Korroosioresistenteillä premium-komponenteilla, joissa on tasainen lämmönjako, nämä komponentit on valmistettu vähimmäisen energiahäviön tarkoituksella säilyttääkseen korkean käyttötehokkuuden. Kaksikanavaiset lämmönsiirtimet, joiden teho on 8 kW, mahdollistavat puolijohdekomponenttien lämpötilastabiilin jäähdyttimen nopean siirtymisen uudelle toimintatasolle, joka tarvitaan lämpötilan säätöön valmistusprosessin aikana. Muut lämmönhallintajärjestelmät eivät pysty ylläpitämään samanlaista tarkkuutta lämmön poistamisessa puolijohdevalmistuksen aikana.
Jäähdyttimien on säilytettävä tarkkuus lämpötilan vakauttajan chillerin pitkäaikaisessa käytössä. Jokaista chilleriä testataan yhdistelmässä, kun tehdään yksinkertaisia säätöjä ja laajassa testauksessa mitattaessa säätötarkkuutta ja jäähdytysnopeuksia Puhtaussaliluokassa. Kalibroidun lämpötilan vakauttaajan chillerin vapauttamiseksi LIAT kalibroi sen kansainvälisiin standardeihin. LIAT ylläpitää chillerin tarkkuutta ajoittaisilla kalibroinneilla pitkän jäähtymisajan jälkeenkin.
Energiatehokkuus, vakaus ja tarkkuus ovat lämpötilavakaiden puolijohdjäähdyttimien tunnusominaisuuksia. LIATin jäähdyttimissä käytetään energiansäästävää invertteritekniikkaa, joka vähentää energiankulutusta suorituskykyä heikentämättä. Täysin metallinen kotelointi parantaa kestävyyttä ja häiriönsuojaa, estäen ulkoisten tekijöiden vaikutukset lämpötilan säätöön. Tarkka lämpötilansäätö -100:sta +200 °C:iin mahdollistaa lämpötilavakaiden puolijohdijäähdyttimien käytön monissa puolijohteiden valmistuksessa tarvittavissa toiminnoissa, kuten syövytyksessä ja pinnoituksessa. LIAT painottaa tarkkuutta ja keskittyy tasapainotilaan, jotta jäähdytin voi toimia pitkiä aikoja ilman tarkkuuden heikkenemistä.
LIAT:n lämpötilanvakaiset puolijohjajäähdyttimet on suunniteltu liitettäväksi ja parantamaan tarkkuutta yksittäisissä vaiheissa puolijohdevalmistusprosessia. Jäähdyttimet ovat yhteensopivia myös edistyneiden valmistusvaiheiden kanssa, kuten chiplet- ja 3D-pakkausteknologioiden kanssa, mikä puolestaan helpottaa huippuunsa kehittyneen puolijohdetuotannon lämmönhallintaa. Jäähdyttimet tukevat myös niin tyypillisiä puolijohdefabeissa olevia fluoroiduttuja nesteitä kuin erittäin puhdasta vettä, varmistaen yhteensopivuuden olemassa olevan fab-infrastruktuurin kanssa. LIAT on suunnitellut räätälöityjä viestintäliitäntöjä ja nesteenkierrätysportteja lämpötilanvakaissa puolijohdejäähdyttimissä, jotta nämä laitteet voidaan mukauttaa tiettyihin tuotantolinjoihin ja siten edelleen parantaa tarkkuutta tietyissä valmistusprosessin vaiheissa.
Ammattimainen R&D-tuki ja globaali palveluverkko: LIATin lupaus tarkan mittaustarkkuuden tarjoamisesta toteutuu yrityksen ammattimaisen R&D-tiimin ja palveluverkon työntekijöiden kautta. Neljänkymmenen erikoistuneen henkilön voimin yritys kehittää jatkuvasti lämpötilavakauttajansa tarkkuutta puolijohdealalla. Yrityksellä on seitsemän palvelupaikkaa ympäri maata, ja se tarjoaa tehokasta ja nopeaa teknistä tukea sekä huoltopalveluja lämpötilavakauttajiin liittyen. Osallistuminen useisiin teollisuuskumppanuuksiin ja messuihin auttaa yritystä pysymään eturivissä lämpötilavakauttajien tarkkuuden kehityksessä.
Yhteenvetona voidaan todeta, että LIAT on kehittänyt puolijohdealan lämpötilan vakauttamiseen tarkatun jäähdyttimen, jonka tarkkuus perustuu erinomaiseen suunnitteluun. Lämpötilan tunnistamiseen ja säätöön liittyvä järjestelmä, lämmönsiirtoa hallitsevat komponentit, järjestelmän kalibroinnin tarkkuus, energiatehokas suunnittelu, muiden järjestelmien kanssa yhteensopiva rakenne sekä ammattimainen tuki palveluineen. Lämpötilan säädön vakaus ja tarkan lämpötilanhallinnan vaatimukset parantavat suorituskykyä ja tuottavuutta puolijohdevalmistuksessa. Puolijohdeteollisuuden valmistajille, jotka tarvitsevat lämpötilan säädön vakautta, LIAT on osoittanut tarkkuutensa ja on alan paras korkeaa suorituskykyä vaativissa sovelluksissa.
EN
Uutiskanava