Kolmikanavainen jäähdytin

Lämpötilan vakaus : ±0,1°C

Lämpötila-alue : -40 °C～+80 °C

Jäähdytyskapasiteetti : -40℃@6 kW /20℃@25 kW
Teollisuusluokan kompressorikylmäkone varustettu premium-merkkisillä kompresseoreilla erinomaiseen vakavuuteen. Toimittaa ±0,1 ℃ lähtölämpötilan vakavuuden kriittisiin sovelluksiin, kuten:

Valokuvauksen / syövytyksen laitteen jäähdytys

PVD / CVD-työkalun lämpömanagement

Kemiallisten ja lääkkeellisten reaktoreiden lämpötilan hallinta

GMP-yhteensopiva lääketeollinen prosessijäähdytys

Yleiskatsaus
Suositut tuotteet

Tekninen kuvaus:

Linghengin kolmipiirikylttimet tarjoavat monikäyttöisen tarkan jäähdytyksen (±0,1 °C) yhdessä laitteessa. Ne ovat varustetut mukautettavilla lähtöarvoilla vakaiden ympäristöjen aikaansaamiseksi, ja ne tarjoavat:
✅ ÄLYKAS HALLINTO : Ajoitettu käyttö, automaattinen kompensointi, itsediagnoosi
✅ Kolminkertainen turvallisuus : Ylikuumeneminen/ylikuormitus/vesipulan hälytykset
✅ Teollinen liitännäisyys : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Suunniteltu puolijohdeklastertyökaluihin ja PV-tuotantolinjoihin, joissa 30 % energiansäästöä.

原理图5-英.png

Keskustedot:

TripleSync™-integraatio
» 3 riippumatonta piiriä yhdessä rungossa
→ 55 % puhdastilapinta-alan vähennys

Klusteriluokan tarkkuus
» ±0,1 ℃ vakaus, jossa <±0,03 ℃ piirien välinen gradientti
→ Mahdollistaa monikammiorioiden synkronoinnin

Dynaaminen kuormitasaus
» Älykäs jäähdytysjako (yhteensä 30 kW käyttökapasiteetti)
→ 28 % energiansäästöä muuttuvilla kuormilla

Monifunktion työkalujen yhteensopivuus
» Plug-and-play -toiminto ASML/AMAT/TEL -ryhmätyökalujen kanssa
→ Tukemaan 300 mm tehtaita ja PV TOPCon -linjoja

Erittäin puhdas titaaniekosysteemi
» Mukautuvat virtauspolut modulaarisella tiiviysmekanismilla
→ <0,1 ppb:n nestejäännös (luokan 10 mukainen)

结构图.png

Peruskomponentit ja toiminta:

Komponentti	TEKNOLOGIA
Kompressori	Tiivis invertterikoneisto nesteiskun estolla (±0, 1℃ säätö)
Tiivistimeen	Ruostumaton teräs, <5 % lämpöhäviö
Parannusaine	Levytyyppinen suunnittelu, 35 % korkeampi tehokkuus, ≤55 dB kohina
Lämmitin	Upotettu suorakäyttöinen lämmitys, ±0,3 °C tasaisuus
Laajentumisventtiili	Sähköventtiili, ±1 °C ylikuumennuksen hallinta
Pumppu	Mag-drive-ponto (fluorinoitu nesteprosentti), <2 % virtausvaihtelu

Jäähdytysperiaate:

Adaptiivinen PID-jäähdytyskierto :
1️⃣ Puristus → Kylmäaineen painonnosto
2️⃣ Kondensointi → Lämmön hukkauttaminen ja nesteyttäminen
3️⃣ EEV-sulkuventtiili → Alapaineen tuotanto
4️⃣ Höyrystys → Tarkka lämmön imeäminen laitteesta
5️⃣ Invertterivirtaus säädettävä → Säilyttää ±0. 1℃ tarkkuus

VT410 Tuoteparametrit		VT210-W-32
Tuotenimi	Kylmälaite
Tuotteen malli	VT410-W-33	VT210-W-33
Jäähdytysmenetelmä	Vedenjäähdytys
Ohjaustila	PID-säätö
Lämpötilan hallinta-alue	CH1:-45~+60℃	Kanava 1: +10 °C – +80 °C

	CH2:+30~+90℃	Kanava 2: +30 °C – +90 °C

	CH3:+10~+55℃	Kanava 3: +30 °C – +90 °C
Tarkkuus	±0.1℃
Jäähdytyskapasiteetti	CH1:6 kW @ -40 °C	Kanava 1: 15 kW @ 20 °C

	CH2:30 kW @ +30 ℃	Kanava 2: 20 kW @ +60 °C

	CH3:28 kW @ +20 ℃	Kanava 3: 20 kW @ +60 °C
Teho	CH1:4kW

	CH2:14kW

	CH3:4kW
Tankki	CH1 / CH2 jaettu laajennustankki 30 L + kuumavedentankki 25 L
Kiertoveden virtaus	CH1:17 L/min @ 0,9 MPa	25–30 l/min @ 0,65 MPa

	CH2:17 L/min @ 0,9 MPa

	CH3:25 L/min @ 0,76 MPa
PCW-liikenne	CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa

	CH2: 20 l/min@15~25℃@0,3 MPa

	CH3: 50 l/min@15~25℃@0,3 MPa
Lämpötila-alue	5~35 ℃
Kiertovedentyyppi	FC3283
Kiertovesiliitäntä	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
PCW-liitäntä	CH1/CH2/CH3: Rc1"	Kanava 1 / Kanava 2 / Kanava 3: Rc 1-1/4"
Ulkomitat (mm)	600W1370D2000H	1100W1400D1600H
Syöttövirta	3Ph,380-400V,50Hz
Koko koneen teho	41,1 kW
Nettopaino	600 kg
Suunnittelunormit	Semi