Chillery służące do utrzymywania stałej temperatury w produkcji półprzewodników są niezbędne, ponieważ dokładność wydajności produktu w dużej mierze zależy od zmieniających się temperatur w procesie produkcyjnym. Ponad 12 lat doświadczenia i specjalizacja w zarządzaniu termicznym sprawiła, że LIAT należy do czołówki firm oferujących rozwiązania w zakresie zarządzania temperaturą w produkcji półprzewodników, projektując i rozwijając chillery o wiodącej pozycji na rynku pod względem stabilności temperatury dla potrzeb przemysłu półprzewodnikowego. Jako jeden z największych producentów półprzewodników, LIAT oferuje chillery do utrzymywania stabilnej temperatury w produkcji półprzewodników, które są wiodącymi rozwiązaniami w branży pod względem stabilności temperatury. Ma to odpowiedzieć na pytanie, w jaki sposób chillery LIAT do utrzymywania stabilnej temperatury w produkcji półprzewodników potrafią zapewnić ten sam poziom precyzji i spójności we wszystkich swoich urządzeniach. W niniejszym artykule omówiono kluczowe technologie i projekty, w tym rygorystyczne testowanie oraz podstawowe technologie, zaprojektowane tak, aby zapewniać precyzję i niezawodność w chillerach o bardzo dokładnej stabilności temperatury przeznaczonych do produkcji półprzewodników.
LIAT opracował system chłodniczy zapewniający stabilność temperatury w układach półprzewodnikowych, który wykorzystuje czujniki i systemy kontroli temperatury do osiągnięcia zamierzonej skuteczności. Ten chłodnica zawiera zaawansowane czujniki mogące wykrywać różnice temperatury z dokładnością ±0,1°C oraz dokonywać korekt w czasie rzeczywistym. Zintegrowany system sterowania PLC może dostosować się do wszelkich zmian wydajności chłodzenia, aby skorygować wszelkie odchylenia. System ten gwarantuje, że systemy chłodnicze zapewniające stabilność temperatury w urządzeniach półprzewodnikowych utrzymują precyzyjną temperaturę w dopuszczalnych granicach, nawet podczas pracy z chipami o węźle 5 nm oraz zaawansowanymi chipami pakowanymi w technologii 2,5D/3D. Duży nacisk położono na precyzyjne inżynierowanie, co oznacza, że każdy element systemu został zaprojektowany tak, by współpracować i działać razem z innymi, zapewniając indywidualnie dostosowaną kontrolę i wydajność systemów.
Chłodnica LIAT zależy od wydajności wymiany ciepła poszczególnych elementów. Dzięki odpornym na korozję wysokiej jakości komponentom zapewniającym jednolity rozkład ciepła, te elementy zostały wyprodukowane z myślą o minimalnych stratach energii, aby zachować wysoką sprawność działania. Wymienniki ciepła o podwójnym kanaле o mocy 8 kW pozwalają chłodnicy do stabilizacji temperatury półprzewodników na szybkie przełączenie się na nowe poziomy pracy niezbędne do kontroli temperatury podczas procesu wytwarzania. Inne systemy zarządzania ciepłem nie są w stanie utrzymać takiego samego poziomu dokładności w odprowadzaniu ciepła podczas produkcji półprzewodników.
Chłodnice muszą zapewniać dokładność stabilności temperatury na dłuższą metę. Każda chłodnica jest testowana w połączeniu podczas prostych regulacji oraz podczas szczegółowych testów pomiaru dokładności sterowania i szybkości chłodzenia w czystej klasie pomieszczenia. Aby wydać skalibrowaną chłodnicę o stabilnej temperaturze, LIAT kalibruje ją zgodnie ze standardami międzynarodowymi. LIAT utrzymuje dokładność chłodnicy poprzez okresowe kalibracje długo po ochłodzeniu.
Wysoka efektywność energetyczna, stabilność i dokładność to cechy charakterystyczne chłodnic półprzewodnikowych o stałej temperaturze. W LIAT chłodnice wykorzystują oszczędzającą energię technologię inwerterową, która zmniejsza zużycie energii bez utraty wydajności. Całkowicie metalowa obudowa zwiększa wytrzymałość i odporność na zakłócenia elektromagnetyczne, zapobiegając wpływom zewnętrznym na kontrolę temperatury. Precyzyjna regulacja temperatury w zakresie od -100 do +200 °C pozwala chłodnicom półprzewodnikowym o stałej temperaturze spełniać wiele funkcji wymaganych w procesie produkcji półprzewodników, takich jak trawienie i napylanie. LIAT dba o dokładność i koncentruje się na pracy w stanie ustalonym, aby chłodnica mogła działać przez dłuższy czas bez dryftu dokładności.
Chłodnice półprzewodnikowe LIAT o stabilnej temperaturze zostały zaprojektowane tak, aby współpracować z poszczególnymi etapami procesu produkcji półprzewodników i zwiększać ich dokładność. Chłodnice są również kompatybilne z zaawansowanymi etapami produkcji, w tym technologiami chiplet i pakowania 3D, co z kolei ułatwia zarządzanie ciepłem w nowoczesnych procesach wytwarzania półprzewodników. Urządzenia wspierają również systemy cieczy fluorowanych oraz ultra-czystej wody stosowane typowo w fabrykach półprzewodników, zapewniając kompatybilność z istniejącą infrastrukturą fabryki. LIAT zaprojektowała niestandardowe interfejsy komunikacyjne oraz porty obiegu cieczy w chłodnicach półprzewodnikowych o stabilnej temperaturze, umożliwiając dostosowanie tych jednostek do konkretnych linii produkcyjnych w celu dalszego zwiększenia dokładności na wybranych etapach procesu produkcyjnego.
Profesjonalne wsparcie ds. badań i rozwoju oraz globalna sieć serwisowa. Obietnica LIAT dotycząca zapewniania precyzyjnych pomiarów realizowana jest dzięki profesjonalnym zespołom ds. badań i rozwoju oraz pracownikom sieci serwisowej firmy. Dysponując 40 wykwalifikowanymi osobami, firma ciągle pracuje nad poprawą dokładności swojego chłodnicy o stabilnej temperaturze przeznaczonej do przemysłu półprzewodnikowego. Dzięki pokryciu obsługą serwisową całego kraju, obejmującemu 7 punktów, firma zapewnia szybką i efektywną pomoc techniczną oraz konserwację związane z chłodnicą. Udział firmy w licznych partnerstwach i wystawach branżowych pozwala jej utrzymywać pozycję lidera pod względem najwyższej dokładności wśród producentów chłodnic o stabilnej temperaturze.
Podsumowując, LIAT opracował chłodnicę do stabilizacji temperatury w półprzewodnikach, która charakteryzuje się dokładnością dzięki swojemu doskonałemu projektowi. System czujników i sterowania, komponenty zarządzające wymianą ciepła, dokładność kalibracji systemu, projekt systemu zapewniający efektywne wykorzystanie energii oraz możliwość integracji z innymi systemami, a także profesjonalne wsparcie – wszystko to przyczynia się do wysokiej stabilności regulacji temperatury. Stabilna kontrola temperatury oraz rosnące wymagania dotyczące jej dokładniejszego sterowania pozwalają poprawić wydajność w procesie produkcji półprzewodników. Dla producentów półprzewodników wymagających stabilnej kontroli temperatury, LIAT udowodnił swoją dokładność i jest liderem w branży o wysokich wymaganiach eksploatacyjnych.
Gorące wiadomości
EN
