Alle kategorier

Hvordan opprettholder en kjøleanlegg for temperaturstabilitet i halvledere nøyaktighet?

Dec 22, 2025

Kjøleanlegg for å opprettholde stabile temperaturer i produksjon av halvledere er nødvendige, siden nøyaktigheten til produktutbyttet i stor grad avhenger av svingninger i temperaturen under produksjonsprosessen. Over 12 års erfaring og spesialisering innen termisk styring har gjort LIAT til en av de ledende aktørene innen termisk styring for halvledere, og selskapet har designet og utviklet bransjens beste kjøleanlegg for temperaturstabilitet i halvledere. Som en av de største produsentene av halvledere tilbyr LIAT kjøleanlegg med ledende temperaturstabilitet. Dette svarer på spørsmålet om hvordan LIATs kjøleanlegg for temperaturstabilitet i halvledere kan levere samme nivå av presisjon og konsistens i alle sine kjøleanlegg for temperaturstabilitet i halvledere. Denne bloggen tar for seg kjerne-teknologier og design, inkludert omfattende testing og grunnteknologier, som er utviklet for å levere presisjon og pålitelighet i svært nøyaktige kjøleanlegg for temperaturstabilitet i halvledere.

I temperaturregulering og sensorsystemer

LIAT har utviklet et kjølesystem for halvledertemperaturstabilitet som bruker temperatursensorer og kontrollsystemer for å oppnå ønsket effektivitet. Dette kjølesystemet inneholder avanserte sensorer som kan registrere temperaturforskjeller innenfor ±0,1 °C og kan utføre sanntidsjusteringer. Det integrerte PLC-kontrollsystemet kan tilpasse seg eventuelle endringer i kjøleytelsen for å rette opp eventuelle avvik. Systemet sikrer at temperaturstabile kjøleanlegg for halvledere kan opprettholde en nøyaktig temperatur innenfor akseptable toleranser, selv under drift av 5 nm node-chips og/eller avanserte 2,5D/3D-pakkede chips. Fokus ligger på presisjonsutforming, noe som betyr at alle delsystemer er designet for å fungere sammen for å opprettholde skreddersydd regulering og systemytelse.

CO2 Chillers

Best i klasse varmeveksling.

Kjøleanlegget til LIAT avhenger av varmevekslingseffektiviteten til delene. Med korrosjonsbestandige premiumkomponenter og jevn varmefordeling, er disse komponentene produsert for å oppnå minimal energitap og dermed beholde høy driftseffektivitet. Dobbeltkanals varmevekslere med kapasitet på 8 kW gjør at halvlederens temperaturstabile kjøleanlegg raskt kan skifte til nye driftsnivåer som trengs for temperaturregulering under produksjonsprosessen. Andre varmehåndteringssystemer klarer ikke å opprettholde samme nivå av nøyaktighet for å fjerne varme under produksjon av halvledere.

Strenge kalibrerings- og testprosedyrer

Kjøleanlegg må sikre nøyaktighet i temperaturstabilitet på lang sikt. Hvert kjøleanlegg testes, i kombinasjon, både ved enkle justeringer og under omfattende testing for å måle kontrollnøyaktighet og avkjølingshastigheter innenfor en Cleanroom-klasse. For å godkjenne et kalibrert temperaturstabil kjøleanlegg, kalibrerer LIAT i henhold til internasjonale standarder. LIAT opprettholder kjøleanleggets nøyaktighet med periodiske kalibreringer langt etter nedkjølingen.

Energi gjenoppretting og stabilitet helhetlig driftsdesign

Energieffektivitet, stabilitet og nøyaktighet er definierende egenskaper ved temperaturstabile halvlederkjølere. Hos LIAT innebygger kjøleaggregater en energisparende inverterteknologi som reduserer energiforbruket uten å ofre ytelsen. Det helt metalliske kabinettet forbedrer styrke og EMI-motstand, og hindrer ytre forstyrrelser av temperaturreguleringen. Nøyaktig temperaturregulering fra -100 til +200 °C gjør at temperaturstabile halvlederkjølere kan utføre mange funksjoner som kreves i produksjon av halvledere, inkludert etsing og avsetning. LIAT legger vekt på nøyaktighet og fokuserer på stabil drift, slik at kjøleren kan fungere over lange tidsperioder uten avdrift i nøyaktighet.

CO2 Chillers

Kompatibilitet med prosesser i halvlederproduksjon  

LIATs temperaturstabile halvlederkjølere er utviklet for å koble seg til og forbedre nøyaktigheten i enkelte trinn i prosessen for produksjon av halvledere. Kjølerne er også kompatible med avanserte produksjonstrinn, inkludert chiplet- og 3D-pakking, noe som igjen letter termisk styring i nyeste halvlederfabrikasjon. Kjølerne støtter også fluorerte væsker og ultra-rennvannssystemer som er typiske i halvlederfabrikker, og sikrer dermed kompatibilitet med eksisterende fabrikkinfrastruktur. LIAT har utformet egendefinerte kommunikasjonsgrensesnitt og væske-sirkulasjonsporter på de temperaturstabile halvlederkjølerne, slik at disse enhetene kan tilpasses spesifikke produksjonslinjer for ytterligere å øke nøyaktigheten i de aktuelle trinnene i produksjonsprosessen.

Profesjonell R&D-støtte og globalt servicenettverk. LIATs løfte om å levere nøyaktige målinger oppnås gjennom selskapets profesjonelle R&D-teams og ansatte i servicenettverket. Med 40 dedikerte medarbeidere arbeider selskapet kontinuerlig med å forbedre nøyaktigheten av sin temperaturstabile kjøleanlegg for halvledere. Med servicedekning over hele landet fordelt på 7 punkter, tilbyr selskapet effektiv og rask teknisk støtte og vedlikehold relatert til kjøleanlegget. Selskapets deltagelse i flere partnerskap og utstillinger i bransjen bidrar til at det er ledende i temperaturestabilitet-kjøleanleggsindustrien med best nøyaktighet.

LIAT har utviklet en halvleder-temperaturstabil kjøleanlegg som er nøyaktig takket være sin overlegne design. Systemet for måling og regulering, komponentene som styrer varmeoverføring, nøyaktigheten i systemets kalibrering, designet som sikrer energieffektiv drift og integrering med andre systemer, samt den profesjonelle støtten som tilbys. Stabiliteten i temperaturreguleringen og kravet om mer nøyaktig temperaturkontroll fører til bedre ytelse og økt produksjonsutbytte i fremstilling av halvledere. For produsenter av halvledere som krever stabil temperaturregulering, har LIAT bevist nøyaktighet og er ledende i bransjen når det gjelder høytytende løsninger.