Chillers voor het handhaven van stabiele temperaturen in de halfgeleiderproductie zijn nodig, omdat de precisie van het productie-uitgangsniveau sterk afhankelijk is van temperatuurveranderingen tijdens het productieproces. Meer dan 12 jaar ervaring en specialisatie in thermisch management heeft LIAT tot een van de beste op het gebied van thermisch halfgeleidermanagement gemaakt, en heeft bedrijfsleidende chillers voor temperatuurstabiliteit in halfgeleiders ontworpen en ontwikkeld. Als een van de toonaangevende fabrikanten van halfgeleiders zijn de door LIAT aangeboden chillers voor temperatuurstabiliteit bij halfgeleiders toonaangevende apparaten op het gebied van temperatuurstabiliteit. Dit beantwoordt de vraag hoe LIAT-halfgeleider-chillers voor temperatuurstabiliteit in staat zijn om overal dezelfde mate van precisie en consistentie te leveren in al hun chillers voor temperatuurstabiliteit bij halfgeleiders. Deze blog bespreekt de kern-technologieën en -ontwerpen, inclusief strenge testprocedures en kern-technologieën, die zijn ontworpen om precisie en betrouwbaarheid te garanderen in zeer nauwkeurige temperatuurstabiele halfgeleider-chillers.
LIAT heeft een koelsysteem voor temperatuurstabiliteit in halfgeleiders ontwikkeld dat gebruikmaakt van temperatuursensoren en besturingssystemen om de gewenste effectiviteit te bereiken. Dit koelsysteem bevat geavanceerde sensoren die temperatuurverschillen binnen ±0,1 °C kunnen detecteren en real-time aanpassingen kunnen verwerken. Het geïntegreerde PLC-besturingssysteem kan reageren op elke verandering in koelvermogen om afwijkingen te corrigeren. Dit systeem zorgt ervoor dat koelsystemen voor temperatuurstabiliteit in halfgeleiders een nauwkeurige temperatuur kunnen handhaven binnen aanvaardbare marge, zelfs tijdens het bedrijf van 5nm-node chips en/of geavanceerde 2,5D/3D-verpakte chips. Er is een focus op precisie-engineering, wat betekent dat elk onderdeel van het systeem is ontworpen om samen te werken en functioneel te zijn met elkaar om op maat gemaakte regeling en systeemuitvoer te behouden.
De chiller van LIAT is afhankelijk van de warmteuitwisselingsprestaties van de onderdelen. Met corrosiebestendige hoogwaardige componenten en gelijkmatige warmteverdeling, zijn deze onderdelen ontworpen om minimaal energieverlies te veroorzaken en een hoog bedrijfsrendement te behouden. Dubbele kanaal warmtewisselaars met een capaciteit van 8 kW zorgen ervoor dat de halfgeleider temperatuurstabiliteitschiller snel kan overschakelen naar nieuwe operationele niveaus die nodig zijn voor temperatuurregeling tijdens het fabricageproces. Andere warmteafvoersystemen kunnen niet dezelfde nauwkeurigheid behouden bij het verwijderen van warmte tijdens de halfgeleiderproductie.
Koelers moeten de nauwkeurigheid van de temperatuurstabiliteit van de chiller op lange termijn behouden. Elke chiller wordt getest, in combinatie, bij eenvoudige aanpassingen en tijdens uitgebreide tests om de regelnauwkeurigheid en koelsnelheden binnen een Cleanroom Class te meten. Om een gekalibreerde temperatuurstabiele chiller vrij te geven, kalibreert LIAT volgens internationale normen. LIAT handhaaft de nauwkeurigheid van de chiller met periodieke kalibraties, lang nadat de afkoeling is voltooid.
Energie-efficiëntie, stabiliteit en nauwkeurigheid zijn kenmerkend voor temperatuurstabiele halfgeleiderkoelunits. Bij LIAT zijn koelunits uitgerust met energiebesparende inductietechnologie die het energieverbruik verlaagt zonder afbreuk te doen aan de prestaties. De volledig metalen behuizing verbetert de sterkte en EMG-bestendigheid, waardoor externe temperatuurregelingstoren worden voorkomen. Nauwkeurige temperatuurregeling varieert van -100 tot +200 °C, zodat temperatuurstabiele halfgeleiderkoelunits vele functies kunnen vervullen die nodig zijn bij de fabricage van halfgeleiders, zoals etsen en afzetten. LIAT houdt rekening met nauwkeurigheid en richt zich op stationaire werking, zodat de koelunit langdurig kan functioneren zonder dat de nauwkeurigheid afwijkt.
De temperatuurstabiele halfgeleiderkoelunits van LIAT zijn ontworpen om te koppelen aan en de nauwkeurigheid te verbeteren van individuele stappen binnen het halfgeleiderproductieproces. De koelunits zijn ook compatibel met geavanceerde productiestappen, waaronder chiplets en 3D-verpakkingen, wat op zijn beurt bijdraagt aan het thermische management van modernste halfgeleiderfabricage. De koelunits ondersteunen ook de gefluoreerde vloeistoffen en systemen voor ultrazuiver water die typisch zijn in halfgeleiderfabrieken, zodat ze compatibel blijven met de bestaande fab-infrastructuur. LIAT heeft aangepaste communicatieinterfaces en vloeistofcirculatieaansluitingen op de temperatuurstabiele halfgeleiderkoelunits ontworpen, zodat deze units kunnen worden aangepast aan specifieke productielijnen om de nauwkeurigheid van specifieke stappen in het productieproces verder te verbeteren.
Professionele R&D-ondersteuning en wereldwijd servicenetwerk. De belofte van LIAT om nauwkeurige metingen te leveren, wordt gerealiseerd via de professionele R&D-teams en medewerkers van het servicenetwerk van het bedrijf. Met 40 toegewijde medewerkers werkt het bedrijf voortdurend aan de verbetering van de nauwkeurigheid van zijn temperatuurstabiele koelunit voor de halfgeleiderindustrie. Met een servicebereik dat over zeven locaties in het land is verspreid, verleent het bedrijf efficiënt en tijdig technische ondersteuning en onderhoud met betrekking tot de koelunit. De betrokkenheid van het bedrijf bij steeds meer partnerschappen en beurzen in de branche zorgt ervoor dat het bedrijf een vooraanstaande positie inneemt als leverancier van temperatuurstabiele koelunits met de beste nauwkeurigheid.
Kort samengevat, LIAT heeft een halfgeleider temperatuurstabilisatiekoeler ontwikkeld die nauwkeurig is dankzij zijn superieure ontwerp. Het systeem voor sensoren en regeling, de componenten die warmteoverdracht beheren, de nauwkeurigheid van de systeemcalibratie, het ontwerp dat zorgt voor efficiënt energieverbruik en integratie met andere systemen, evenals de professionele ondersteuning die wordt geboden. De stabiliteit van temperatuurregeling en de eisen om de temperatuur nog nauwkeuriger te beheersen, verbeteren de opbrengst in de fabricage van halfgeleiders. Voor fabrikanten van halfgeleiders die stabiliteit vereisen in temperatuurregeling, heeft LIAT bewezen nauwkeurigheid en is marktleider in de sector voor hoge prestatie-eisen.
EN
Hot News