Chilleriai, skirti palaikyti stabilias temperatūras puslaidininkių gamyboje, yra būtini, nes produkto išeiga labai priklauso nuo temperatūros pokyčių gamybos procese. Daugiau nei 12 metų patirtis ir specializacija šilumos valdyme padarė LIAT viena geriausių įmonių puslaidininkių šilumos valdymo srityje, sukūrusią ir išvystiusią pramonės lyderio chillerius temperatūros stabilumui puslaidininkių gamyboje. Kaip vienas iš pirmaujančių puslaidininkių gamintojų, LIAT siūlomi temperatūros stabilumo chilleriai yra pramonės lyderio standarto įrenginiai. Tai atsako į klausimą, kaip LIAT puslaidininkių temperatūros stabilumo chilleriai gali užtikrinti tokį pat tikslumą ir nuoseklumą visuose savo temperatūros stabilumo chilleryse. Šiame straipsnyje aptariamos pagrindinės technologijos ir konstrukcijos, įskaitant griežtą testavimą ir pagrindines technologijas, kurios sukurtos siekiant užtikrinti tikslumą ir patikimumą itin tiksliai temperatūros stabilumo chillerių sistemai.
LIAT sukūrė puslaidininkių temperatūros stabilumo šaldytuvų sistemą, kuri naudoja temperatūros jutiklius ir valdymo sistemas, kad pasiektų pageidaujamą veiksmingumą. Šis šaldytuvas turi pažangius jutiklius, gebančius aptikti temperatūros skirtumus ±0,1 °C tikslumu ir atlikti realaus laiko koregavimus. Integruota PLC valdymo sistema gali prisitaikyti prie bet kokių pokyčių aušinimo rezultatuose, kad ištaisyti bet kokius nukrypimus. Ši sistema užtikrina, kad temperatūros stabilumo puslaidininkių šaldymo sistemos galėtų išlaikyti tikslią temperatūrą leistinose ribose, netgi veikdamos 5 nm mazgų lustus ir (arba) pažangius 2,5D/3D supakuotus lustus. Yra dėmesys tiksliai inžinerijai, tai reiškia, kad kiekviena sistemos dalis projektuojama taip, kad visos dalys veiktų ir funkcionuotų darnoje, užtikrindamos individualų valdymą ir sistemų išvestį.
LIAT šaldytuvas priklauso nuo detalių šilumos apsikeitimo efektyvumu. Dėl korozijai atsparių aukščiausios kokybės komponentų, kurie užtikrina tolygų šilumos pasiskirstymą, šie komponentai gaminami siekiant minimalių energijos nuostolių ir išlaikyti aukštą veikimo efektyvumą. Dvigubo kanalo šilumokaičiai su 8 kW talpa leidžia puslaidininkio temperatūros stabilumo šaldytuvui greitai perjungti į naujus veikimo lygius, reikalingus temperatūros reguliavimui gamybos procese. Kiti šilumos valdymo sistemos negali išlaikyti tokio tikslumo šilumos šalinimui puslaidininkų gamybos metu.
Aušintuvai turi ilgalaikį tikslumą palaikyti temperatūros stabilumočiaušintuvų tikslumą. Kiekvienas aušintuvas yra testuojamas kombinuotai, atliekant paprastus reguliavimus ir išsamų testavimą, siekiant išmatuoti valdymo tikslumą bei aušinimo greitį Valymojoje patalpoje (Cleanroom Class). Norėdami išleisti kalibruotą temperatūros stabilumo aušintuvą, LIAT kalibruoja pagal tarptautinius standartus. LIAT palaiko aušintuvo tikslumą atlikdama periodines kalibracijas ilgą laiką po aušinimo.
Energijos efektyvumas, stabilumas ir tikslumas yra būdingos temperatūrai atsparių puslaidininkių aušintuvų savybės. „LIAT“ aušintuvuose naudojama energiją taupanti inversinė technologija, kuri sumažina energijos suvartojimą, nekenkiant našumui. Visiškai metalinė korpuso konstrukcija padidina tvirtumą ir EMI atsparumą, neleidžiant išorinės temperatūros valdymo trukdžiams. Tiksli temperatūros reguliavimo diapazonas nuo -100 iki +200 °C leidžia temperatūrai atspariems puslaidininkių aušintuvams atlikti daugybę funkcijų, reikalingų puslaidininkių gamyboje, įskaitant raižymą ir nusodinimą. „LIAT“ visada atsižvelgia į tikslumą ir siekia stabilios būsenos veikimo, kad aušintuvas galėtų ilgą laiką veikti be tikslumo svyravimų.
LIAT temperatūrai atsparūs puslaidininkių aušintuvai sukurti siekiant integruotis su ir padidinti tikslumą atskirose puslaidininkių gamybos proceso stadijose. Šie aušintuvai taip pat suderinami su pažangiomis gamybos stadijomis, įskaitant čipleto ir 3D pakavimą, kurie savo ruožtu palengvina naujausios kartos puslaidininkių gamybos šiluminio valdymo užtikrinimą. Aušintuvai palaiko fluoruotas skysčių ir ultrašvaraus vandens sistemas, būdingas puslaidininkių fabrikams, užtikrindami suderinamumą su esama fabriko infrastruktūra. LIAT sukūrė specialius ryšio sąsajų ir skysčių cirkuliacijos prievadus temperatūrai atsparesniuose puslaidininkių aušintuvuose, kad šios sistemos galėtų būti pritaikytos konkrečioms gamybos linijoms, dar labiau padidinant tikslumą specifinėse gamybos proceso stadijose.
Profesionali R&D palaikymo ir globali aptarnavimo tinklo paslaugos. LIAT įsipareigojimą užtikrinti tikslų matavimą įgyvendina įmonės profesionalūs mokslinių tyrimų ir plėtros komandų bei aptarnavimo tinklo darbuotojai. Turėdama 40 specializuotų darbuotojų, įmonė nuolat dirba siekdama patobulinti savo temperatūros stabilumo čileryje naudojamų sprendimų tikslumą puslaidininkių pramonoje. Dėl visoje šalyje išsidėsčiusių septynių aptarnavimo vietų, įmonė efektyviai ir greitai teikia techninę pagalbą bei atlieka čilerio techninį aptarnavimą. Dėl dalyvavimo vis daugiau pramonės partnerystėse ir parodose, įmonė užtikrina aukščiausią tikslumą temperatūros stabilumo čilerių srityje ir yra pirmoje eilutėje šioje industrijoje.
Apibendrinant, LIAT sukūrė puslaidininkių temperatūros stabilumo aušintuvą, kuris dėka savo puikaus dizaino yra tikslus. Jutiklių ir valdymo sistema, komponentai, valdantys šilumos perdavimą, sistemos kalibravimo tikslumas, energiją taupanti konstrukcija, gebėjimas integruotis su kitomis sistemomis, taip pat profesionali pagalba. Temperatūros valdymo stabilumas ir didesnis tikslumas leidžia geriau kontroliuoti gamybą bei padidinti puslaidininkių gamybos derlių. Puslaidininkių gamintojams, reikalaujantiems aukšto temperatūros valdymo stabilumo, LIAT įrodė savo tikslumą ir yra geriausias aukštų reikalavimų našumo pramonės sektoriuje.
Karštos naujienos
EN
