เครื่องทำความเย็นสำหรับควบคุมอุณหภูมิของชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์รักษาความแม่นยำได้อย่างไร

ต้องใช้เครื่องทำความเย็นเพื่อรักษาระดับอุณหภูมิให้คงที่ในกระบวนการผลิตชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากความแม่นยำของผลผลิตขึ้นอยู่กับการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิในกระบวนการผลิตเป็นอย่างมาก โดย LIAT มีประสบการณ์และความเชี่ยวชาญด้านการจัดการความร้อนมากว่า 12 ปี ทำให้ LIAT เป็นหนึ่งในผู้นำด้านการจัดการความร้อนสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ และได้ออกแบบพัฒนาเครื่องทำความเย็นเพื่อรักษาระดับอุณหภูมิของเซมิคอนดักเตอร์ที่มีคุณภาพสูงเป็นอันดับต้นๆ ของอุตสาหกรรม ในฐานะหนึ่งในผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำ เครื่องทำความเย็นเพื่อรักษาระดับอุณหภูมิของเซมิคอนดักเตอร์ที่ LIAT เสนอนั้นถือเป็นเครื่องทำความเย็นที่มีเสถียรภาพด้านอุณหภูมิระดับแนวหน้าของอุตสาหกรรม ซึ่งเป็นคำตอบสำหรับคำถามว่าทำไมเครื่องทำความเย็นเพื่อรักษาระดับอุณหภูมิของเซมิคอนดักเตอร์จาก LIAT จึงสามารถมอบความแม่นยำและสม่ำเสมอในระดับเดียวกันได้ในทุกเครื่อง บทความนี้จะกล่าวถึงเทคโนโลยีหลักและการออกแบบ รวมถึงการทดสอบอย่างเข้มงวดและเทคโนโลยีหลักที่ถูกออกแบบมาเพื่อมอบความแม่นยำและความน่าเชื่อถือในเครื่องทำความเย็นสำหรับรักษาระดับอุณหภูมิของเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแม่นยำสูง

ในระบบควบคุมอุณหภูมิและระบบเซ็นเซอร์

LIAT ได้พัฒนาระบบเครื่องทำความเย็นเพื่อควบคุมความคงที่ของอุณหภูมิแบบเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งใช้ระบบตรวจจับและควบคุมอุณหภูมิเพื่อให้บรรลุประสิทธิภาพตามต้องการ ชิลเลอร์นี้มาพร้อมกับเซ็นเซอร์ขั้นสูงที่สามารถตรวจจับความแตกต่างของอุณหภูมิภายในช่วง ±0.1? และประมวลผลปรับค่าแบบเรียลไทม์ได้ ระบบควบคุมแบบ PLC แบบบูรณาการสามารถปรับเปลี่ยนการระบายความร้อนได้ทันทีเพื่อแก้ไขความแตกต่างใดๆ ระบบนี้ทำให้มั่นใจได้ว่า ระบบชิลเลอร์ควบคุมอุณหภูมิแบบเซมิคอนดักเตอร์สามารถรักษาระดับอุณหภูมิที่แม่นยำภายในช่วงที่ยอมรับได้ แม้ในขณะที่ทำงานกับชิปขนาด 5 นาโนเมตร หรือชิปแพ็คเกจขั้นสูงแบบ 2.5D/3D โดยมีการเน้นวิศวกรรมที่แม่นยำ หมายความว่าทุกส่วนของระบบได้รับการออกแบบให้ทำงานร่วมกันอย่างกลมกลืน เพื่อรักษาระดับการควบคุมเฉพาะทางและประสิทธิภาพของระบบ

การแลกเปลี่ยนความร้อนระดับแนวหน้า

เครื่องทำความเย็นของ LIAT ขึ้นอยู่กับประสิทธิภาพการแลกเปลี่ยนความร้อนของชิ้นส่วน โดยใช้ส่วนประกอบคุณภาพสูงที่ทนต่อการกัดกร่อนและกระจายความร้อนได้อย่างสม่ำเสมอ ซึ่งถูกผลิตขึ้นมาเพื่อลดการสูญเสียพลังงานให้น้อยที่สุด เพื่อรักษาระดับประสิทธิภาพการทำงานที่สูง เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนแบบสองช่องทางที่มีกำลัง 8 กิโลวัตต์ ทำให้เครื่องทำความเย็นเพื่อควบคุมอุณหภูมิของเซมิคอนดักเตอร์สามารถปรับเปลี่ยนไปยังระดับการทำงานใหม่ได้อย่างรวดเร็ว ตามความต้องการในการควบคุมอุณหภูมิระหว่างกระบวนการผลิต ในขณะที่ระบบจัดการความร้อนอื่นๆ ไม่สามารถรักษาระดับความแม่นยำเท่ากันได้ในการถ่ายเทความร้อนออกในระหว่างการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ขั้นตอนการสอบเทียบและการทดสอบอย่างเข้มงวด

เครื่องทำความเย็นต้องรักษาระดับความแม่นยำของเสถียรภาพอุณหภูมิในระยะยาว โดยเครื่องทำความเย็นทุกเครื่องจะได้รับการทดสอบในช่วงที่มีการปรับตั้งค่าอย่างง่าย และระหว่างการทดสอบอย่างละเอียด เพื่อวัดระดับความแม่นยำในการควบคุมและอัตราการลดอุณหภูมิภายในห้องสะอาดตามมาตรฐาน Cleanroom Class ก่อนปล่อยเครื่องทำความเย็นที่สอบเทียบแล้ว บริษัท LIAT จะทำการสอบเทียบตามมาตรฐานสากล และ LIAT ยังคงรักษาระดับความแม่นยำของเครื่องทำความเย็นไว้ด้วยการสอบเทียบเป็นระยะ แม้หลังจากกระบวนการลดอุณหภูมิเสร็จสิ้นแล้ว

การออกแบบโดยรวมเพื่อการฟื้นฟูพลังงานและความเสถียรในการทำงาน

ประสิทธิภาพพลังงาน ความมั่นคง และความแม่นยำ คือคุณลักษณะสำคัญของเครื่องทำความเย็นเซมิคอนดักเตอร์ที่ควบคุมอุณหภูมิได้อย่างเสถียร ที่ LIAT เครื่องทำความเย็นใช้เทคโนโลยีอินเวอร์เตอร์ประหยัดพลังงานที่ช่วยลดการใช้พลังงานโดยไม่กระทบต่อสมรรถนะ ตัวเรือนโลหะทั้งหมดเพิ่มความแข็งแรงและทนทานต่อสัญญาณรบกวนแม่เหล็กไฟฟ้า (EMI) ป้องกันการรบกวนจากอุณหภูมิภายนอกที่อาจส่งผลต่อการควบคุมอุณหภูมิ การควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำในช่วงตั้งแต่ -100 ถึง +200 °C ทำให้เครื่องทำความเย็นเซมิคอนดักเตอร์ที่ควบคุมอุณหภูมิได้อย่างเสถียรสามารถรองรับหน้าที่ต่างๆ ที่จำเป็นในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น การกัดกร่อน (etching) และการเคลือบ (deposition) LIAT คำนึงถึงความแม่นยำอยู่เสมอ และเน้นการทำงานในสภาวะคงที่ เพื่อให้เครื่องทำความเย็นสามารถทำงานต่อเนื่องเป็นระยะเวลานานโดยไม่เกิดการคลาดเคลื่อนของความแม่นยำ

ความเข้ากันได้กับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์  

เครื่องทำความเย็นสำหรับชิปเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความคงที่ของอุณหภูมิจาก LIAT ได้รับการออกแบบเพื่อเชื่อมต่อและเพิ่มความแม่นยำในแต่ละขั้นตอนของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องทำความเย็นเหล่านี้ยังเข้ากันได้กับขั้นตอนการผลิตขั้นสูง รวมถึง chiplet และการบรรจุภัณฑ์แบบ 3D ซึ่งจะช่วยสนับสนุนการจัดการความร้อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง นอกจากนี้ เครื่องทำความเย็นยังรองรับของเหลวประเภทฟลูออรีนและระบบสารน้ำบริสุทธิ์สูงที่ใช้โดยทั่วไปในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ (fab) เพื่อให้มั่นใจถึงความเข้ากันได้กับโครงสร้างพื้นฐานของ fab ที่มีอยู่ LIAT ได้ออกแบบอินเทอร์เฟซการสื่อสารแบบเฉพาะและการต่อทางเดินของของเหลวไว้บนเครื่องทำความเย็นสำหรับชิปเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความคงที่ของอุณหภูมิ เพื่อให้สามารถปรับใช้เครื่องเหล่านี้เข้ากับสายการผลิตเฉพาะได้ ซึ่งจะช่วยเพิ่มความแม่นยำให้กับขั้นตอนเฉพาะเจาะจงในกระบวนการผลิตได้มากยิ่งขึ้น

การสนับสนุนด้านการวิจัยและพัฒนาอย่างมืออาชีพ และเครือข่ายบริการทั่วโลก ความมุ่งมั่นของ LIAT ในการให้การวัดค่าที่แม่นยำเกิดขึ้นได้ผ่านทีมงานวิจัยและพัฒนา รวมถึงพนักงานในเครือข่ายบริการของบริษัท ด้วยบุคลากรเฉพาะทางจำนวน 40 คน บริษัทฯ ดำเนินการอย่างต่อเนื่องเพื่อปรับปรุงความแม่นยำของเครื่องควบคุมอุณหภูมิแบบคงที่สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยเครือข่ายบริการครอบคลุมทั่วประเทศที่กระจายอยู่ใน 7 จุด บริษัทสามารถให้การสนับสนุนด้านเทคโนโลยีและการบำรุงรักษาระบบเครื่องควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพและรวดเร็ว การเข้าร่วมเป็นพันธมิตรและแสดงสินค้าในงานนิทรรศการต่างๆ ในอุตสาหกรรม ช่วยผลักดันให้บริษัทก้าวขึ้นเป็นผู้นำในอุตสาหกรรมเครื่องควบคุมอุณหภูมิแบบคงที่ที่มีความแม่นยำสูงสุด

สรุปได้ว่า LIAT ได้พัฒนาเครื่องทำความเย็นสำหรับควบคุมอุณหภูมิของชิปเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแม่นยำสูง อันเนื่องมาจากออกแบบที่เหนือกว่า ทั้งในด้านระบบการตรวจจับและการควบคุม ชิ้นส่วนที่จัดการการถ่ายเทความร้อน ความแม่นยำของการปรับคาลิเบรตระบบ การออกแบบที่ทำให้ใช้พลังงานอย่างมีประสิทธิภาพ และสามารถเชื่อมต่อกับระบบที่เกี่ยวข้องได้อย่างลงตัว รวมถึงการสนับสนุนทางวิชาชีพที่มีให้ อีกทั้งความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิให้มีเสถียรภาพและการต้องการควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำ ยังช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและผลผลิตในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ สำหรับผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการความเสถียรในการควบคุมอุณหภูมิ LIAT ได้พิสูจน์ถึงความแม่นยำและเป็นผู้นำในอุตสาหกรรมที่ต้องการสมรรถนะสูง