Alle kategorier

Hvordan opretholder en køleanlæg til temperaturstabilitet for halvledere nøjagtighed?

Dec 22, 2025

Køleanlæg til opretholdelse af stabile temperaturer i halvlederproduktion er nødvendige, da præcisionen af produktudbyttet i høj grad afhænger af temperaturændringer i produktionsprocessen. Med over 12 års erfaring og specialisering inden for termisk styring har LIAT etableret sig som en af de førende inden for termisk styring af halvledere og har designet og udviklet brancheforende køleanlæg til temperaturstabilitet i halvledere. Som en af de førende producenter af halvledere leverer LIAT brancheforende køleanlæg med fremragende temperaturstabilitet. Dette besvarer spørgsmålet om, hvordan LIAT's køleanlæg til temperaturstabilitet i halvledere kan levere samme niveau af præcision og konsistens i alle deres køleanlæg. Denne blog behandler kerne-teknologier og -design, herunder omfattende test og kerne-teknologier, som er udviklet til at levere præcision og pålidelighed i yderst nøjagtige køleanlæg til temperaturstabilitet i halvledere.

I temperaturregulering og sensorsystemer

Har LIAT udviklet et kølesystem til halvledere, der opretholder temperaturstabilitet ved hjælp af temperatursensorer og styresystemer for at opnå den ønskede effektivitet. Dette kølesystem indeholder avancerede sensorer, som kan registrere temperaturforskelle inden for ±0,1 °C, og foretage justeringer i realtid. Det integrerede PLC-styresystem kan tilpasse sig ændringer i køleydelsen for at rette op på eventuelle forskelle. Systemet sikrer, at temperaturstabile køleanlæg til halvledere kan opretholde en nøjagtig temperatur inden for acceptable tolerancer, selv under drift af 5 nm node-chips og/eller avancerede 2,5D/3D-pakkede chips. Der lægges vægt på præcisionskonstruktion, hvilket betyder, at alle systemdele er designet til at arbejde sammen og fungere gensidigt for at opretholde skræddersyet kontrol og systemsydelse.

CO2 Chillers

Bedste i klassen varmeveksling.

LIAT's køleanlæg afhænger af varmevekslingseffektiviteten i komponenterne. Med korrosionsbestandige premiumkomponenter og jævn varmefordeling er disse komponenter produceret med henblik på minimal energitab for at opretholde høj driftseffektivitet. Dobbeltkanals varmevekslere med en kapacitet på 8 kW gør det muligt for halvlederkomponentens temperaturstabile køleanlæg hurtigt at skifte til nye driftsniveauer, som kræves for temperaturregulering under fremstillingsprocessen. Andre varmehåndteringssystemer kan ikke opretholde samme nøjagtighed i fjernelse af varme under produktion af halvledere.

Strenge kalibrerings- og testprocedurer

Køleanlæg skal bevare nøjagtigheden for temperaturstabilitet i køleanlæg på lang sigt. Hvert køleanlæg testes i kombination, når der foretages enkle justeringer og under omfattende tests for at måle kontrolnøjagtighed og kølehastigheder inden for en Cleanroom-klasse. For at frigive et kalibreret temperaturstabil køleanlæg kalibrerer LIAT efter internationale standarder. LIAT opretholder køleanlæggets nøjagtighed med periodiske kalibreringer lang tid efter afkølingen.

Energigenanvendelse og stabilitet samlet driftskonstruktion

Energioptimering, stabilitet og nøjagtighed er afgørende egenskaber ved temperaturstabile semiconductor-kølere. Hos LIAT indgår køleaggregater energibesparende inverterteknologi, som reducerer energiforbruget uden at kompromittere ydeevnen. Det helt metalbeskyttede kabinet forbedrer styrke og EMI-resistens, hvilket forhindrer udvendige påvirkninger af temperaturreguleringen. Præcis temperaturregulering i området fra -100 til +200 °C gør det muligt for temperaturstabile semiconductor-kølere at udføre mange funktioner, der kræves i fremstilling af halvledere, herunder ætsning og deposition. LIAT lægger vægt på nøjagtighed og fokuserer på stabil drift, så køleanlægget kan køre over lang tid uden at miste nøjagtighed.

CO2 Chillers

Kompatibilitet med fremstillingsprocesser for halvledere  

LIAT's temperaturstabile halvlederkølere er designet til at kommunikere med og forbedre nøjagtigheden af enkelte trin i halvlederfremstillingsprocessen. Kølerne er også kompatible med avancerede produktionsprocesser, herunder chiplet- og 3D-pakning, hvilket igen letter det termiske styring af førende halvlederproduktion. Kølerne understøtter desuden de fluorerede væsker og ultrarente vandsystemer, der typisk anvendes i halvlederfabrikker, og sikrer derved kompatibilitet med den eksisterende fabriksinfrastruktur. LIAT har udviklet brugerdefinerede kommunikationsgrænseflader og væskecirkulationsport på de temperaturstabile halvlederkølere, så disse enheder kan tilpasses specifikke produktionslinjer for yderligere at øge nøjagtigheden ved de specifikke trin i fremstillingsprocessen.

Professionel R&D-understøttelse og globalt servicenetværk. LIAT's løfte om at levere præcis måling opnås gennem selskabets professionelle R&D-team og medarbejdere i servicenetværket. Med 40 dedikerede ansatte arbejder selskabet konstant på at forbedre nøjagtigheden af sin temperaturstabile køleanlæg til halvledere. Med service dækning over hele landet fordelt på 7 steder, yder selskabet effektiv og prompte teknisk support og vedligeholdelse i forbindelse med køleanlægget. Selskabets deltagelse i flere partnerskaber og udstillinger i branche hjælper det med at være førende inden for temperaturelle stabile køleanlæg med den bedste nøjagtighed.

Samlet set har LIAT udviklet en halvleder temperaturstabil køleanlæg, der er præcist på grund af sin overlegne design. Systemet til følsomheds- og styring, komponenterne, der håndterer varmeoverførsel, præcisionen i systemets kalibrering, designet, der gør det energieffektivt og muliggør integration med andre systemer, samt den professionelle support, der ydes. Stabiliteten i temperaturreguleringen og kravene om mere nøjagtig temperaturkontrol yder bedre resultater og forbedrer udbyttet i produktionen af halvledere. For producenter af halvledere, som kræver stabil temperaturkontrol, har LIAT bevist præcision og er førende inden for branchen med høje ydelseskrav.