Охладители для поддержания стабильной температуры в производстве полупроводников необходимы, поскольку точность выхода продукции в значительной степени зависит от изменения температур в процессе производства. Более чем 12-летний опыт и специализация в области теплового управления сделали LIAT одним из лидеров в управлении тепловыми процессами для полупроводников, а также позволили компании спроектировать и разработать передовые охладители с высокой стабильностью температуры для полупроводников. Как один из ведущих производителей полупроводников, LIAT предлагает охладители с высокой стабильностью температуры, которые являются лучшими в отрасли. Это объясняет, как охладители LIAT для полупроводников обеспечивают одинаковый уровень точности и стабильности во всех своих моделях. В этой статье рассматриваются ключевые технологии и конструкции, включая строгие испытания и основные технологии, предназначенные для обеспечения точности и надежности в охладителях с высокой точностью стабилизации температуры для полупроводников.
Компания LIAT разработала систему чиллера для стабилизации температуры полупроводников, которая использует системы датчиков и управления температурой для достижения требуемой эффективности. Этот чиллер оснащен передовыми датчиками, способными обнаруживать перепады температуры в пределах ±0,1 °C, и может осуществлять корректировки в режиме реального времени. Интегрированная система управления на базе программируемого логического контроллера (PLC) способна адаптироваться к любым изменениям выходной мощности охлаждения для устранения отклонений. Данная система обеспечивает стабильность температуры в чиллерах для полупроводников с поддержанием точной температуры в допустимых пределах даже при работе с чипами по нормам 5 нм и/или передовыми чипами в 2,5D/3D-корпусах. Особое внимание уделяется точной инженерии, что означает, что все компоненты системы спроектированы так, чтобы работать совместно и согласованно для обеспечения индивидуального контроля и выходных параметров системы.
Охладитель LIAT зависит от эффективности теплообмена компонентов. Благодаря коррозионностойким премиальным компонентам с равномерным распределением тепла, эти компоненты изготавливаются с целью минимальных потерь энергии для сохранения высокой эксплуатационной эффективности. Теплообменники с двойным каналом и мощностью 8 кВт позволяют охладителю стабильности температуры полупроводников быстро переходить на новые рабочие режимы, необходимые для контроля температуры в процессе изготовления. Другие системы управления теплом не могут поддерживать одинаковый уровень точности при отводе тепла во время производства полупроводников.
Холодильные установки должны обеспечивать точность стабильности температуры чиллера в течение длительного времени. Каждый чиллер тестируется в комбинации при простых настройках и во время расширенного тестирования для измерения точности управления и скорости охлаждения в помещении класса чистоты. Для выпуска калиброванного чиллера с температурной стабильностью LIAT выполняет калибровку по международным стандартам. LIAT поддерживает точность чиллера с помощью периодической калибровки спустя длительное время после охлаждения.
Энергоэффективность, стабильность и точность являются определяющими характеристиками термостабильных чиллеров для полупроводников. В чиллерах LIAT используется энергосберегающая инверторная технология, которая снижает потребление энергии без ущерба для производительности. Полностью металлический корпус повышает прочность и устойчивость к электромагнитным помехам, предотвращая влияние внешних факторов на контроль температуры. Точный контроль температуры в диапазоне от -100 до +200 °C позволяет термостабильным чиллерам для полупроводников выполнять множество функций, необходимых при изготовлении полупроводников, включая травление и осаждение. LIAT уделяет особое внимание точности и ориентируется на стабильную работу, чтобы чиллер мог работать длительное время без отклонения параметров.
Температурно-стабильные полупроводниковые чиллеры LIAT разработаны для взаимодействия с отдельными этапами процесса изготовления полупроводников и повышения их точности. Чиллеры совместимы также с передовыми этапами производства, включая чиплеты и 3D-упаковку, что, в свою очередь, способствует эффективному тепловому управлению при создании передовых полупроводниковых изделий. Чиллеры поддерживают применение фторированных жидкостей и систем ультрачистой воды, типичных для полупроводниковых фабрик, обеспечивая совместимость с существующей инфраструктурой фабрик. Компания LIAT разработала специальные интерфейсы связи и порты циркуляции жидкости на температурно-стабильных полупроводниковых чиллерах, чтобы адаптировать эти устройства к конкретным производственным линиям и дополнительно повысить точность выполнения определённых этапов производственного процесса.
Профессиональная поддержка исследований и разработок и глобальная сервисная сеть. Обещание LIAT по обеспечению точных измерений реализуется благодаря профессиональным командам исследований и разработок, а также сотрудникам сервисной сети компании. Имея в штате 40 специалистов, компания постоянно работает над повышением точности своих чиллеров с температурной стабильностью для полупроводниковой промышленности. Охватывая страну через 7 сервисных точек, компания оперативно и эффективно предоставляет любую техническую поддержку и обслуживание, связанное с чиллерами. Участие компании в многочисленных партнёрствах и отраслевых выставках помогает ей оставаться лидером в индустрии чиллеров с температурной стабильностью, обеспечивая наивысшую точность.
В целом, LIAT разработала чиллер для стабилизации температуры в полупроводниковой промышленности, отличающийся высокой точностью благодаря превосходному дизайну. Система датчиков и управления, компоненты, отвечающие за передачу тепла, точность калибровки системы, конструкция системы, обеспечивающая эффективное использование энергии и интеграцию с другими системами, а также профессиональная поддержка. Стабильность контроля температуры и возможность более точного регулирования температуры способствуют повышению выхода продукции при производстве полупроводников. Для производителей полупроводников, которым требуется стабильный контроль температуры, LIAT доказала свою точность и является лучшей в отрасли высокопроизводительных решений.
EN
Горячие новости