Kaksikanavainen jäähdytyslaite

Tekninen kuvaus:

Lingheng Dual-Circuit Chillers tarjoavat kaksinkertaisen riippumattoman lämpötilan säädön yhdessä laitteessa.
Jossa on ±0,1 ℃:n tarkkuuden per piiri , nämä järjestelmät on suunniteltu seuraaviin käyttökohteisiin:

PVD/CVD-kammien synkronoitu jäähdytys

Monivyöhykemainen lämpötilanhallinta etchausvälineissä
40 % pienemmän tilapinnan ja alan hyväksytyn yhteensopivuuden (AMAT/LAM/TEL) ansiosta ne määrittävät uudelleen tilan säästävän tarkan jäähdytyksen.

Keskustedot:

Kaksin yhdessä -tehokkuus
» Korvaa kaksi erillistä jäähdytintä riippumattomilla piireillä
→ 40 % puhdastilaa säästyy + 30 % vähemmän pääomakustannuksia

Tarkka kaksinkertainen säädin
» ±0,1 °C:n tarkkuus per piiri (ΔT<0. 2℃)
→ Takuu <3 % ohutlevyn paksuusvaihtelu CVD/PVD:ssa

Valmiiksi tehtöihin integroitu
» Valmiiksi ladatut AMAT/LAM/TEL-protokollat
→ 90 % 300 mm työkaluyhteensopivuutta, 65 % vähemmän huoltotaukoja

Energy TwinDrive™
» 35 % vähemmän energiaa verrattuna perinteisiin pareihin
→ SEMI S23 -sertifioitu, >18 000 dollarin vuosittainen säästö

Nollakierrossa ei synny ristisaastumista
» Räätälöidyt virtauspolut  + laserhitsatut liitokset
→ Yhteensopiva UPW:n/fluorinertin/EGW:n kanssa

Peruskomponentit ja toiminta:

Komponentti	TEKNOLOGIA
Kompressori	Tiivis invertterikoneisto nesteiskun estolla (±0, 1℃ säätö)
Tiivistimeen	Ruostumaton teräs, <5 % lämpöhäviö
Parannusaine	Levytyyppinen suunnittelu, 35 % korkeampi tehokkuus, ≤55 dB kohina
Lämmitin	Upotettu suorakäyttöinen lämmitys, ±0,3 °C tasaisuus
Laajentumisventtiili	Sähköventtiili, ±1 °C ylikuumennuksen hallinta
Pumppu	Mag-drive-ponto (fluorinoitu nesteprosentti), <2 % virtausvaihtelu

Jäähdytysperiaate:

Adaptiivinen PID-jäähdytyskierto :
1️⃣ Puristus → Kylmäaineen painonnosto
2️⃣ Kondensointi → Lämmön hukkauttaminen ja nesteyttäminen
3️⃣ EEV-sulkuventtiili → Alapaineen tuotanto
4️⃣ Höyrystys → Tarkka lämmön imeäminen laitteesta
5️⃣ Invertterivirtaus säädettävä → Säilyttää ±0. 1℃ tarkkuus