반도체 제조 공정에서 제품 수율의 정밀도는 온도 변화에 크게 의존하기 때문에, 반도체 제조 시 안정적인 온도를 유지해 주는 냉각기(Chiller)가 필요합니다. 열 관리 분야에서 12년 이상의 경험과 전문성을 바탕으로, LIAT는 반도체 열 관리 분야에서 최고 수준의 기업으로 자리매김하였으며, 업계를 선도하는 반도체 온도 안정성 냉각기를 설계하고 개발해 왔습니다. 최상위 반도체 제조업체 중 하나로서, LIAT가 제공하는 반도체 온도 안정성 냉각기는 업계를 선도하는 온도 안정성 냉각기입니다. 이는 LIAT의 반도체 온도 안정성 냉각기가 어떻게 모든 제품에서 동일한 수준의 정밀도와 일관성을 제공할 수 있는지에 대한 질문에 답하는 데 목적이 있습니다. 본 블로그에서는 정밀성과 신뢰성을 구현하도록 설계된 핵심 기술과 설계, 그리고 철저한 테스트 절차를 포함한 핵심 기술들을 다루며, 매우 높은 정확도를 요구하는 반도체 온도 안정성 냉각기에서의 성능을 설명합니다.
LIAT는 온도 감지 및 제어 시스템을 사용하여 원하는 성능을 달성하는 반도체 온도 안정화 냉각기 시스템을 개발했습니다. 이 냉각기는 ±0.1℃ 이내의 온도 차이를 감지할 수 있는 고급 센서를 포함하며 실시간 조정을 처리할 수 있습니다. 통합된 PLC 제어 시스템은 냉각 출력에 발생하는 모든 변화에 맞춰 조정되어 온도 편차를 바로잡을 수 있습니다. 이 시스템은 5nm 노드 칩 및/또는 최신 2.5D/3D 패키징 칩을 구동 중일 때에도 허용 가능한 범위 내에서 정밀한 온도를 유지할 수 있도록 보장합니다. 정밀한 엔지니어링에 중점을 두어 모든 구성 부품 시스템이 서로 완벽하게 작동하도록 설계되어 맞춤형 제어와 시스템 출력을 유지합니다.
LIAT의 냉각기는 부품의 열교환 효율에 의존합니다. 부식에 강한 고품질 부품을 사용하고 균일한 열 분포를 구현함으로써 에너지 손실을 최소화하고 높은 운전 효율을 유지할 수 있도록 제작되었습니다. 8kW 용량의 이중 채널 열교환기는 반도체 온도 안정화 냉각기가 제조 공정 중 온도 조절을 위해 필요한 새로운 운전 수준으로 신속하게 전환할 수 있게 해줍니다. 다른 열 관리 시스템들은 반도체 제조 과정에서 발생하는 열을 제거함에 있어 동일한 정확도 수준을 유지할 수 없습니다.
쿨러는 장기간 온도 안정성 챌러의 온도 정확도를 유지해야 합니다. 모든 챌러는 간단한 조정 시 및 청정실 등급 내에서 제어 정확도와 냉각 속도를 측정하기 위한 광범위한 테스트 과정에서 함께 테스트됩니다. 교정된 온도 안정성 챌러를 출하하기 위해 LIAT는 국제 표준에 따라 교정을 수행합니다. LIAT는 쿨다운 후에도 주기적인 교정을 통해 챌러의 정확도를 장기간 유지합니다.
에너지 효율성, 안정성 및 정확도는 온도 안정형 반도체 냉각기의 핵심 특징입니다. LIAT에서는 고효율 인버터 기술을 적용하여 성능 저하 없이 에너지 소비를 줄이고 있습니다. 완전한 금속 하우징은 강도와 전자파 간섭(EMI) 저항성을 향상시켜 외부 온도 변화로 인한 제어 방해를 방지합니다. 정밀한 온도 제어 범위는 -100~+200°C로, 식각 및 증착과 같은 반도체 제조 공정에서 요구되는 다양한 기능을 지원합니다. LIAT는 정확도를 최우선으로 고려하며 정상 상태 운전에 집중하여 장시간 동안 정확도가 변하지 않도록 냉각기가 지속적으로 작동할 수 있도록 설계했습니다.
LIAT의 온도 안정형 반도체 냉각기는 반도체 제조 공정 내 개별 공정 단계의 정확도를 향상시키기 위해 해당 공정과 연동되도록 설계되었습니다. 이 냉각기는 칩릿(chiplet) 및 3D 패키징과 같은 첨단 제조 공정 단계와도 호환되며, 최첨단 반도체 제조의 열 관리를 지원합니다. 또한, 반도체 파운드리에서 일반적으로 사용되는 불소계 액체 및 초순수 수계 시스템을 지원함으로써 기존 파운드리 인프라와의 호환성을 보장합니다. LIAT는 특정 생산 라인에 맞게 이러한 장비를 적용하고 제조 공정의 특정 단계에서 정확도를 더욱 향상시킬 수 있도록 온도 안정형 반도체 냉각기에 맞춤형 통신 인터페이스와 액체 순환 포트를 설계했습니다.
전문적인 R&D 지원 및 글로벌 서비스 네트워크 LIAT의 정확한 측정 제공에 대한 약속은 회사의 전문 R&D 팀과 서비스 네트워크 인력을 통해 달성됩니다. 40명의 전담 인력을 보유한 이 회사는 항상 반도체용 온도 안정성 냉각장치(temperature stability chiller)의 정확도 향상에 매진하고 있습니다. 전국 7개 지점에 걸쳐 형성된 서비스망을 통해 회사는 냉각장치 관련 기술 지원 및 유지보수를 효율적이고 신속하게 제공합니다. 회사가 업계 내 다양한 파트너십 및 전시회에 꾸준히 참여함으로써, LIAT는 온도 안정성 냉각장치 산업에서 최고의 정확도를 갖춘 선두주자로서의 위치를 공고히 하고 있습니다.
요약하자면, LIAT는 우수한 설계로 인해 정확한 반도체 온도 안정성 냉각기를 개발했습니다. 센싱 및 제어 시스템, 열전달을 관리하는 구성 요소, 시스템 캘리브레이션의 정확도, 에너지를 효율적으로 사용하고 다른 시스템과 원활하게 통합되는 시스템 설계, 그리고 제공되는 전문 기술 지원이 그 핵심입니다. 온도 제어의 안정성과 보다 정밀한 온도 제어에 대한 요구는 반도체 제조 공정에서 성능을 향상시키고 수율을 개선합니다. 높은 성능을 요구하는 반도체 제조 업체들이 온도 제어의 안정성을 필요로 할 때, LIAT는 검증된 정확도를 입증하였으며 고성능이 요구되는 산업 분야에서 최고의 위치를 차지하고 있습니다.
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