I chillers per il mantenimento di temperature stabili nella produzione di semiconduttori sono necessari poiché la precisione del rendimento del prodotto dipende fortemente dalle variazioni di temperatura nel processo produttivo. Oltre 12 anni di esperienza e specializzazione nella gestione termica hanno reso LIAT uno dei migliori nel campo della gestione termica per semiconduttori, progettando e sviluppando chillers leader del settore per la stabilità termica dei semiconduttori. In qualità di uno dei principali produttori di semiconduttori, LIAT offre chillers per la stabilità termica dei semiconduttori all'avanguardia nel settore. Questo per rispondere alla domanda su come i chillers LIAT per la stabilità termica dei semiconduttori riescano a garantire lo stesso livello di precisione e coerenza in tutti i loro modelli. Questo articolo tratta le tecnologie e i design fondamentali, inclusi test rigorosi e tecnologie chiave, progettati per offrire precisione e affidabilità in chillers altamente precisi per la stabilità termica nei semiconduttori.
LIAT ha sviluppato un sistema refrigerante a semiconduttore per la stabilità termica che utilizza sistemi di rilevamento e controllo della temperatura per raggiungere l'efficacia desiderata. Questo refrigeratore contiene sensori avanzati in grado di rilevare differenze di temperatura entro ±0,1? e di effettuare aggiustamenti in tempo reale. Il sistema di controllo PLC integrato può adattarsi a qualsiasi variazione dell'output di raffreddamento per correggere eventuali scostamenti. Questo sistema garantisce che i sistemi refrigeranti a semiconduttore per la stabilità termica possano mantenere una temperatura precisa entro margini tollerabili, anche durante l'esecuzione di chip a nodo 5 nm e/o chip avanzati confezionati in 2,5D/3D. L'attenzione è posta su un'ingegneria precisa, il che significa che ogni componente del sistema è progettato per funzionare in sinergia con gli altri al fine di mantenere un controllo personalizzato e un output dei sistemi ottimale.
Il gruppo frigorifero di LIAT dipende dall'efficienza di scambio termico delle parti. Grazie a componenti premium resistenti alla corrosione con distribuzione uniforme del calore, questi componenti sono progettati per garantire una perdita energetica minima, mantenendo un'elevata efficienza operativa. Gli scambiatori di calore a doppio canale con capacità di 8 kW permettono al gruppo frigorifero per la stabilità della temperatura dei semiconduttori di passare rapidamente ai nuovi livelli operativi necessari per il controllo della temperatura durante il processo di fabbricazione. Altri sistemi di gestione termica non riescono a mantenere lo stesso livello di precisione nella rimozione del calore durante la produzione dei semiconduttori.
I refrigerator devono mantenere la precisione sulla stabilità termica del refrigeratore a lungo termine. Ogni refrigeratore viene testato, in combinazione, durante semplici regolazioni e test approfonditi per misurare l'accuratezza di controllo e i tassi di raffreddamento all'interno di una Classe Cleanroom. Per rilasciare un refrigeratore calibrato con stabilità termica, LIAT esegue la taratura secondo standard internazionali. LIAT mantiene la precisione del refrigeratore mediante tarature periodiche ben dopo il raggiungimento della temperatura operativa.
L'efficienza energetica, la stabilità e la precisione sono caratteristiche distintive dei refrigeratori per semiconduttori a temperatura stabile. Presso LIAT, i refrigeratori incorporano una tecnologia inverter risparmio energetico che riduce il consumo di energia senza compromettere le prestazioni. La carcassa interamente in metallo migliora la robustezza e la resistenza alle interferenze EMI, prevenendo disturbi esterni al controllo della temperatura. Il controllo preciso della temperatura varia da -100 a +200 °C, consentendo ai refrigeratori a temperatura stabile per semiconduttori di svolgere numerose funzioni necessarie nella fabbricazione di semiconduttori, tra cui incisione e deposizione. LIAT pone particolare attenzione alla precisione e si concentra sul funzionamento in regime stazionario, in modo che il refrigeratore possa funzionare per lunghi periodi senza deviazioni nella precisione.
I refrigeratori semiconduttori a temperatura stabile di LIAT sono progettati per interfacciarsi con e migliorare l'accuratezza dei singoli passaggi del processo di produzione dei semiconduttori. I refrigeratori sono compatibili anche con passaggi avanzati di produzione, inclusi chiplet e confezionamento 3D, che a loro volta facilitano la gestione termica nella fabbricazione di semiconduttori all'avanguardia. I refrigeratori supportano inoltre i liquidi fluorurati e i sistemi ad acqua ultra-pura tipici degli impianti di produzione di semiconduttori, garantendo compatibilità con le infrastrutture esistenti dello stabilimento. LIAT ha progettato interfacce di comunicazione personalizzate e porte per la circolazione del liquido sui refrigeratori semiconduttori a temperatura stabile, in modo che queste unità possano essere adattate a linee di produzione specifiche per migliorare ulteriormente l'accuratezza nei passaggi specifici del processo produttivo.
Supporto professionale alla R&S e rete di servizi globale. L'impegno di LIAT nel fornire misurazioni accurate si concretizza grazie ai team professionali di ricerca e sviluppo e ai dipendenti della rete di assistenza dell'azienda. Con 40 persone dedicate, l'azienda è costantemente impegnata a migliorare l'accuratezza del suo chiller per la stabilità termica nel settore dei semiconduttori. Grazie a una copertura assistenziale nazionale distribuita su 7 punti, l'azienda fornisce in modo efficiente e tempestivo qualsiasi supporto tecnico e manutenzione relativi al chiller. La partecipazione dell'azienda a numerose partnership ed esposizioni di settore contribuisce a posizionarla all'avanguardia nell'industria del chiller per la stabilità termica, offrendo la massima accuratezza.
In sintesi, LIAT ha sviluppato un refrigeratore per la stabilità termica dei semiconduttori preciso grazie al suo design superiore. Il sistema di rilevamento e controllo, i componenti che gestiscono il trasferimento di calore, l'accuratezza della calibrazione del sistema, la progettazione del sistema che ne permette un uso efficiente dell'energia e l'integrazione con altri sistemi, nonché il supporto professionale fornito. La stabilità del controllo della temperatura e la necessità di controllare la temperatura in modo più accurato consentono di migliorare il rendimento nella produzione di semiconduttori. Per i produttori di semiconduttori che richiedono stabilità nel controllo della temperatura, LIAT ha dimostrato accuratezza ed è leader nel settore delle prestazioni ad alta richiesta.
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