São necessários chillers para manter temperaturas estáveis na fabricação de semicondutores, já que a precisão do rendimento do produto depende fortemente das variações de temperatura no processo de fabricação. Mais de 12 anos de experiência e especialização em gerenciamento térmico tornaram a LIAT uma das melhores em gestão térmica para semicondutores, tendo projetado e desenvolvido chillers líderes do setor em estabilidade térmica para semicondutores. Como um dos principais fabricantes de semicondutores, os chillers de estabilidade térmica para semicondutores oferecidos pela LIAT são equipamentos líderes do setor em estabilidade térmica. Isso responde à pergunta sobre como os chillers de estabilidade térmica para semicondutores da LIAT conseguem oferecer o mesmo nível de precisão e consistência em todos os seus chillers de estabilidade térmica para semicondutores. Este artigo discute as tecnologias e designs centrais, incluindo testes rigorosos e tecnologias essenciais, que são concebidos para proporcionar precisão e confiabilidade em chillers de estabilidade térmica para semicondutores altamente precisos.
A LIAT desenvolveu um sistema de chiller semicondutor para estabilidade térmica que utiliza sensores e sistemas de controle de temperatura para atingir a eficácia desejada. Este chiller contém sensores avançados capazes de detectar diferenças de temperatura dentro de ±0,1? e processar ajustes em tempo real. O sistema integrado de controle PLC pode adaptar-se a quaisquer alterações na saída de refrigeração para corrigir eventuais discrepâncias. Este sistema garante que os chillers semicondutores com estabilidade térmica mantenham uma temperatura precisa dentro das margens toleráveis, mesmo durante a operação de chips de nó 5nm e/ou chips avançados empacotados em 2,5D/3D. Existe um foco na engenharia precisa, o que significa que todos os componentes do sistema são projetados para funcionar em conjunto, assegurando controle personalizado e saída dos sistemas.
O chiller da LIAT depende da eficiência de troca térmica das peças. Com componentes premium resistentes à corrosão e distribuição uniforme de calor, esses componentes são fabricados com a intenção de perda mínima de energia para manter alta eficiência operacional. Trocadores de calor de canal duplo com capacidade de 8 kW permitem que o chiller de estabilidade térmica do semicondutor mude rapidamente para novos níveis operacionais necessários para controle de temperatura durante o processo de fabricação. Outros sistemas de gerenciamento térmico não conseguem manter os mesmos níveis de precisão para remoção de calor durante a fabricação de semicondutores.
Os refrigeradores devem manter a precisão na estabilidade térmica do chiller a longo prazo. Cada chiller é testado, em combinação, quando são feitos ajustes simples e durante testes extensivos para medir a precisão de controle e as taxas de resfriamento dentro de uma Sala Limpa Classe. Para liberar um chiller calibrado de estabilidade térmica, a LIAT realiza calibrações conforme padrões internacionais. A LIAT mantém a precisão do chiller com calibrações periódicas muito tempo após o resfriamento.
Eficiência energética, estabilidade e precisão são características definidoras dos chillers semicondutores com temperatura estável. Na LIAT, os chillers incorporam tecnologia inversora economizadora de energia que reduz o consumo energético sem comprometer o desempenho. O invólucro totalmente metálico melhora a resistência e a imunidade a interferências EMI, evitando interferências externas no controle de temperatura. O controle preciso de temperatura varia de -100 a +200 °C, permitindo que os chillers semicondutores com temperatura estável atendam a diversas funções necessárias na fabricação de semicondutores, incluindo etching e deposição. A LIAT prioriza a precisão e foca na operação em regime permanente, para que o chiller possa funcionar por longos períodos sem desvios na precisão.
Os chillers semicondutores com temperatura estável da LIAT são projetados para interagir com e aprimorar a precisão de etapas individuais do processo de fabricação de semicondutores. Os chillers também são compatíveis com etapas avançadas de fabricação, incluindo chiplets e empacotamento 3D, o que por sua vez facilita o gerenciamento térmico na fabricação de semicondutores de última geração. Os chillers também suportam líquidos fluoretados e sistemas de água ultra-pura típicos em fábricas de semicondutores, garantindo compatibilidade com a infraestrutura existente da fábrica. A LIAT projetou interfaces personalizadas de comunicação e portas de circulação de líquidos nos chillers semicondutores com temperatura estável, de modo que essas unidades possam ser adaptadas a linhas de produção específicas, melhorando ainda mais a precisão nas etapas específicas do processo de fabricação.
Suporte Profissional de P&D e Rede de Serviço Global: O compromisso da LIAT em fornecer medições precisas é alcançado por meio das equipes profissionais de pesquisa e desenvolvimento e dos colaboradores da rede de serviço da empresa. Com 40 funcionários dedicados, a empresa está sempre trabalhando para melhorar a precisão de seu chiller de estabilidade térmica para semicondutores. Com cobertura de serviço nacional distribuída em 7 pontos, a empresa oferece suporte técnico e manutenção de forma eficiente e imediata relacionados ao chiller. A participação da empresa em mais parcerias e exposições do setor ajuda a posicionar a empresa como líder na indústria de chillers de estabilidade térmica com a melhor precisão.
Em resumo, a LIAT desenvolveu um chiller de estabilidade térmica para semicondutores que é preciso graças ao seu design superior. O sistema de detecção e controle, os componentes que gerenciam a transferência de calor, a precisão da calibração do sistema, o design do sistema que permite o uso eficiente de energia e a integração com outros sistemas, bem como o suporte profissional fornecido. A estabilidade no controle de temperatura e a exigência de um controle térmico mais preciso desempenham um papel fundamental na melhoria do rendimento na fabricação de semicondutores. Para fabricantes de semicondutores que exigem estabilidade no controle de temperatura, a LIAT demonstrou precisão e está entre as melhores do setor em desempenho de alta exigência.
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