Lämmittävä takkajärjestelmä
Lämpötilan vakaus : ±0. 5℃
Tässä tuotteessa on seuraavat materiaalit, joista voi valita todellisten tarpeiden mukaan:
Silikonivaahtomateriaali
Täysi PTFE-materiaali
PTFE-pinnoitemateriaali
Laajennettu PTFE-materiaali
- Yleiskatsaus
- Suositellut tuotteet
Tekninen kuvaus:
Lämmittämällä varmistetaan tarkka lämpötilan säilyminen tyhjiö/kaasunjakojärjestelmässä
linjoilla kehittyneissä valmistusprosesseissa. Räätälöity teollisuuden erityistarpeisiin
se estää epätäydellisen reaktiojäännöksen kondensoitumista ja sivutuotteiden kertymistä
putkien sisäseinämille - tärkeää virtauksen esteiden ja pakokaasujen tehon heikentymisen välttämiseksi
puolijohde-tyhjiö/pakokaasujärjestelmissä. Kolmesta pääkomponentista koostuva järjestelmä:
Lämmittävät takit (jälkikäteen tarkennettavat suunnittelut)
PID-ohjaimet (±0,5 ℃ stabiilisuus)
HMI-ohjauskaapit
tämä ratkaisu mahdollistaa reaaliaikaisen putkistovalvonnan ja lämmön hallinnan ruostumattomista teräksistä valmistetuissa kaasulinjoissa.

Lämmittävän vaipan sovellukset :
1. Kaasun siirto linjat
Vaaralliset prosessikaasut :
Boritrifluoridi (BCl₃), Klooritrifluoridi (ClF₃), Tetraetyylisorttisilikaatti (TEOS)
Dikloorisilaani (DCS/SiH₂Cl₂), Volframihexafluoridi (WF₆)
Prosessivalvonta kaasulinjan lämmitys kastepisteen hallintaan ja kondensoitumisen estämiseen
2. CVD-prosessit
Alapaineinen kemiallinen höyryfaasipinnoitus (LPCVD)
Plasmavahvistettu CVD (PECVD)
Toiminto: Esiaallon lämpötilan stabilointi (±1℃)
3. Metallin syövyttäminen
Plasma-etsintäjärjestelmät :
Alumiinin syövyttäminen (Cl₂/BCl₃-kemiakset)
Volframin syövyttäminen (SF₆/WF₆-seokset)
Toiminto: Kaasun reaktiivisuuden ylläpitäminen vakiona

Lämmitysverhon edut:
Etualue |
Tekniset ominaisuudet |
Tarkka hallinta |
±0,5℃ tarkkuus PID-säätimillä (ISO 15805 -sertifioitu) |
Turvallisuuden varmistaminen |
Kaksoisturvakatkaisut: |
Ekoeristys |
Ilman PFAS-yhdisteitä valmistettu eristekerros: |
|
Virtavirtaustiedon reaaliaikainen seuranta: |

PID-lämpötilasäätimet
Heating Jacket -järjestelmässä käytetään tarkkaa lämpötilan säätöä varten PID-lämpötilasäätimiä, joista kukin toimii omalla RS485-väyläsegmentillään, jossa on yksilöllinen verkkoodressi. Nämä PID-yksiköt toimivat sekä itsenäisinä säätömoduuleina että osana hajautettua verkkosäätöarkkitehtuuria. Kaikki säätimet kommunikoivat keskushallintakonsolin (HMI) kanssa kahdenvälisesti Modbus RTU -protokollan kautta RS485-liitännöillä, jolloin voidaan toteuttaa synkronoitua monivyöhykemäistä lämpötilanhallintaa ja reaaliaikaista tietojen keruuta ilman keskeistä ohjelmoitavaa logiikkasäädintä (PLC).
Hmi kontrollipaneeli
Lämpöpussien ja PID-lämpötilasäädinten asennus tyhjiö- tai kaasuputkiin on suhteellisen hajautettu, mikä tekee mahdottomaksi kaikkien lämpöpussien lämpötilojen ja toimintatilojen reaaliaikaisen valvonnan samanaikaisesti. Kaikkien lämpöpussien tilan reaaliaikaisen valvonnan mahdollistamiseksi olemme toteuttaneet HMI-ohjauspaneelin, joka keskittää kaikki lämpöpussit yhteiselle alustalle, saavuttaen näin keskitetyn ohjauksen ja viestinnän hallinnan.
Keskitetty valvontajärjestelmä
Kaikki liittymät – mukaan lukien valvontanäytöt, reaaliaikaisten hälytysten näytöt, historialliset hälytyslokit, tapahtumahistoriat, trendianalyysikaaviot ja raporttimuodot – voidaan määrittää pääjärjestelmään (käyttäen SCADA-alustoja, kuten InTouch tai iFix) lämpöpussijärjestelmän kattavan valvonnan toteuttamiseksi.
Järjestelmän edut:
• Parannettu hallinnan tehokkuus - Parantaa kokonaisvaltaista toimintatehoa
• Yksinkertaistettu huolto - Vähentää käytön ja huollon monimutkaisuutta
• Kustannusoptimointi - Alentaa asennus-, käyttö- ja laajennuskustannuksia
• Laitteiden välinen valvonta - Mahdollistaa keskinäisen valvonnan useiden tietokoneiden välillä
• Resurssien jakaminen - Mahdollistaa keskistetyn levypalvelimen käytön
• Varmuuskopiointi - Tarjoaa keskinäisen varmuuskopiointitoiminnon
• Usean kanavan hälytyksien ilmoitus - Tukaa tekstiviesti-/puhelinhälytyksiä ja sähköposteilmoituksia
• Laaja data-analyysi - Mahdollistaa historiatietojen kyselyn ja graafisen trendinäkymän
• Automaattinen raportointi - Luo järjestelmäraportit automaattisesti
• Verkkojen hallinta - Mahdollistaa keskittetyn valvonnan järjestelmänhallinnon

| Sisäpinta | PTFE-teflonikangas |
| Lämmityselementti | PTFE-nikkeli-kromi sähkövastus |
| Eristys | Korkean kapasiteetin paksu lasikuituvilla |
| Ulkopinta | PTFE-teflonikangas |
| Kiinteä napa | Palonkestävä ja lämpöä kestävä napakierre |