Pada tanggal 26 hingga 28 Maret 2025, SEMICON China, acara tahunan yang menjadi pelopor tren industri semikonduktor global, digelar secara megah di Pusat Pameran Internasional Baru Shanghai. Acara besar ini, yang mencakup area seluas 100.000 meter persegi dan menghadirkan 1.400 peserta pameran serta 50.000 pengunjung profesional, ditandai oleh ciri "internasionalisasi dan cakupan lengkap seluruh rantai industri", serta menggambarkan lanskap masa depan industri semikonduktor melalui demonstrasi teknologi mutakhir dan dialog mendalam antar pelaku industri. Pameran ini dipenuhi berbagai sorotan, dengan aliran terus-menerus teknologi dan produk baru, yang memberikan vitalitas segar bagi perkembangan industri. Sebagai perusahaan unggulan dalam penelitian, pengembangan, dan manufaktur peralatan kontrol suhu presisi di industri semikonduktor domestik, Shanghai Lingheng Industrial Automation Co., Ltd. (selanjutnya disebut "Lingheng Industrial") menarik perhatian luas pada pameran tersebut berkat kinerja luar biasa dan pencapaian inovatifnya di bidang pengendalian suhu dalam manufaktur semikonduktor.

Sebagai pemain kunci dalam industri semikonduktor, Lingheng Industrial telah berkomitmen menyediakan solusi pengendalian suhu presisi tinggi dan rendah untuk manufaktur semikonduktor dan bidang terkait. Perusahaan ini memiliki pengalaman luas dalam penelitian, pengembangan, produksi, dan pemasangan peralatan pengendali suhu untuk pemanasan listrik, pendinginan suhu rendah, serta kondisi suhu sangat rendah. Dalam pameran ini, perusahaan memperkenalkan kepada audiens produk terbaru dari seri CO2Chiller yang hemat energi, ramah lingkungan, serta produk sistem Heating Jacket yang telah matang.


Pameran perdana yang sukses bukanlah akhir. Lingheng Industrial akan terus memperdalam keterlibatannya di bidang pengendalian suhu semikonduktor dan berharap dapat menjelajahi batas-batas baru manufaktur cerdas bersama Anda!
Produk yang Dipamerkan
Hemat energi dan ramah lingkungan, stabil serta andal, respons cepat.
Sebagai komponen penting dalam sistem kontrol suhu di industri semikonduktor, kualitas chiller secara langsung memengaruhi stabilitas suhu selama proses pembuatan wafer semikonduktor. Sejak berdirirnya Lingheng Industrial pada tahun 2013, perusahaan terus melakukan inovasi dengan fokus pada penelitian dan pengembangan serta pengendalian kualitas. Produk seri Chiller memiliki fitur pemasangan yang mudah, respons cepat, efisiensi tinggi, hemat energi, serta kontrol suhu yang presisi, benar-benar mewujudkan efek pendinginan dengan konsumsi energi rendah dan stabilitas tinggi, mendukung proses pembuatan wafer semikonduktor.

Sistem Jaket Pemanas
Material Semua-PTFE, Pemanasan Efisiensi Tinggi
Jaket Pemanas menggunakan elemen pemanas berkualitas tinggi dan sistem kontrol suhu presisi tinggi, memungkinkan pemanasan cepat dan pengendalian suhu yang efisien. Melalui optimasi berkelanjutan terhadap proses pemanasan serta penggunaan material semua-PTFE, stabilitas keseluruhan sistem meningkat secara signifikan.
Apa Itu Sistem Jaket Pemanas?
Sistem Jaket Pemanas digunakan untuk menjaga suhu pada saluran vakum dan gas yang digunakan dalam berbagai proses produksi teknologi. Sistem ini dibuat khusus sesuai kebutuhan pelanggan.
Saat ini, sistem ini banyak digunakan untuk pemeliharaan suhu pada tabung stainless steel vakum atau buang gas semikonduktor guna mencegah media yang tidak bereaksi membentuk produk sampingan yang mengembun di dinding dalam tabung akibat suhu internal rendah, yang dapat menyebabkan penyumbatan atau masalah lain yang mengurangi efisiensi pembuangan.
Sistem ini terdiri dari Jaket Pemanas, pengendali suhu, dan kotak kontrol HMI, yang digunakan untuk pemantauan kondisi saluran secara real-time serta pemanasan saluran.
Aplikasi Tipikal
Pipa pengiriman gas (boron triklorida (BCl3), klorin trifluorida (ClF3), tetraetil ortosilikat (TEOS), diklorosilan DCS (SiH2Cl2), tungsten heksafluorida (WF6), kualifikasi saluran gas proses; CVD dan etsa logam (endapan uap kimia tekanan rendah, endapan uap kimia yang diperkuat plasma); etsa plasma (etsa aluminium, etsa tungsten).