La première apparition de Lingheng Thermal Control au SEMICON China a été un succès complet !

Du 26 au 28 mars 2025, SEMICON Chine, l'événement phare annuel de l'industrie mondiale des semi-conducteurs, s'est tenu solennellement au Shanghai New International Expo Centre. Cet événement majeur, couvrant 100 000 mètres carrés et réunissant 1 400 exposants et 50 000 visiteurs professionnels, s'est distingué par son « caractère international et sa couverture complète de la chaîne industrielle », et a esquissé le paysage futur de l'industrie des semi-conducteurs à travers des démonstrations de technologies de pointe et des échanges approfondis entre professionnels. Le salon était riche en temps forts, avec un afflux continu de nouvelles technologies et produits, insufflant une nouvelle vitalité au développement du secteur. En tant qu'entreprise leader dans la recherche, le développement et la fabrication d'équipements de contrôle thermique de précision pour l'industrie nationale des semi-conducteurs, Shanghai Lingheng Industrial Automation Co., Ltd. (ci-après dénommée « Lingheng Industrial ») a attiré une grande attention lors de ce salon grâce à ses performances remarquables et à ses réalisations innovantes dans le domaine du contrôle thermique appliqué à la fabrication des semi-conducteurs.

En tant que acteur clé de l'industrie des semi-conducteurs, Lingheng Industrial s'est engagée à fournir des solutions de contrôle de température haute et basse pour la fabrication de semi-conducteurs et les domaines connexes. L'entreprise possède une vaste expérience dans la recherche, le développement, la production et l'installation d'équipements de régulation thermique destinés au chauffage électrique, au refroidissement basse température et aux conditions ultra-basses températures. Lors de ce salon, elle a présenté au public sa dernière gamme de produits écologiques et économes en énergie CO2Chiller, ainsi que ses systèmes mûrs Heating Jacket System.

La réussite de cette première exposition n'est pas une fin en soi. Lingheng Industrial continuera de renforcer son implication dans le domaine du contrôle thermique pour les semi-conducteurs et espère explorer avec vous de nouveaux horizons dans le domaine de la fabrication intelligente !

Produits exposés

Économie d'énergie et respectueux de l'environnement, stable et fiable, réponse rapide.

En tant que composant essentiel des systèmes de régulation thermique dans l'industrie des semi-conducteurs, la qualité du refroidisseur influence directement la stabilité thermique durant la fabrication des wafers semi-conducteurs. Depuis sa création en 2013, Lingheng Industrial n’a cessé d’innover, en se concentrant sur la recherche et développement ainsi que sur le contrôle qualité. Ses produits de la série Chiller offrent une installation pratique, une réponse rapide, une haute efficacité, des économies d'énergie et une régulation précise de la température, permettant réellement des effets de refroidissement à faible consommation d'énergie et une grande stabilité, soutenant ainsi la fabrication des wafers semi-conducteurs.

Système de Veste Chauffante

Matériau tout-PTFE, chauffage haute efficacité

La veste chauffante utilise des éléments chauffants de haute qualité et un système de régulation thermique haute précision, permettant un chauffage rapide et un contrôle efficace de la température. Grâce à l'optimisation continue du processus de chauffage et à l'utilisation de matériaux entièrement en PTFE, la stabilité globale du système est considérablement améliorée.

Qu'est-ce qu'un système de veste chauffante ?

Un système de veste chauffante est utilisé pour maintenir la température dans les conduites sous vide et les conduites de gaz utilisées dans divers procédés de production technologique. Il est fabriqué sur mesure pour répondre aux exigences spécifiques des clients.

Actuellement, il est largement utilisé pour le maintien en température des tubes en acier inoxydable sous vide ou d'évacuation dans l'industrie des semi-conducteurs, afin d'empêcher les milieux non réagis de former des sous-produits qui se condensent sur la paroi interne du tube en cas de températures internes trop basses, provoquant des obstructions ou d'autres problèmes réduisant l'efficacité d'évacuation.

Le système comprend une veste chauffante, un régulateur de température et un boîtier de commande HMI, utilisé pour la surveillance en temps réel de l'état de la conduite et du chauffage des canalisations.

Applications Typiques

Tuyauterie de distribution de gaz (chlorure de bore trichlorure (BCl3), trifluorure de chlore (ClF3), orthosilicate de tétraéthyle (TEOS), dichlorosilane DCS (SiH2Cl2), hexafluorure de tungstène (WF6), qualification des conduites de gaz process ; CVD et gravure métallique (dépôt chimique en phase vapeur sous pression réduite, dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma) ; gravure plasma (gravure de l'aluminium, gravure du tungstène).