リンヘンサーマルコントロールのSEMICONチャイナ初出展は大成功を収めました！

2025年3月26日から28日にかけて、世界の半導体産業における年次トレンドセッターであるSEMICONチャイナが上海新国際博覧中心で盛大に開催されました。今回のイベントは10万平方メートルの会場に1,400社の出展企業と5万名の専門来場者を集めたもので、「国際化」と「全産業チェーンカバー」を特徴としており、最先端技術の展示や業界関係者の深い対話を通じて半導体産業の将来像を描き出しました。展示会は目白押しの内容で、新技術や新製品が絶え間なく登場し、業界の発展に新たな活力を注入しました。国内半導体業界における精密温度制御装置の研究開発および製造をリードする企業である上海玲恒工業自動化有限公司（以下「玲恒工業」）は、半導体製造における温度制御分野での優れた実績と革新的な成果により、本展示会で広範な注目を集めました。

半導体産業の主要プレーヤーとして、リンヘン工業は半導体製造および関連分野向けの高温・低温精密温度制御ソリューションの提供に取り組んできました。電気加熱、低温冷却および超低温条件における温度制御装置の研究、開発、生産および設置に関して豊富な経験を有しています。本展示会では、同社が最新の低炭素・環境にやさしいCO2Chillerシリーズ製品と成熟したHeating Jacket System製品を来場者に紹介しました。

成功裏の初出展が終わりではなく、リンヘン工業は今後も半導体温度制御分野への一層の貢献を続けてまいります。皆様と共にスマート製造の新たなフロンティアを探求していけることを楽しみにしております。

出展製品

省エネルギー・環境にやさしく、安定性と信頼性に優れ、応答性が迅速。

半導体産業における温度制御システムの重要な構成要素として、チラーの品質は半導体ウェーハ製造時の温度安定性に直接影響します。2013年の設立以来、リンヘン工業は継続的に革新を重ね、研究開発と品質管理に注力してきました。同社のチラーシリーズ製品は、簡単なセットアップ、迅速な応答、高効率、省エネルギー、精密な温度制御を特長としており、低消費電力かつ高安定性の冷却効果を実現し、半導体ウェーハ製造を強力にサポートしています。

加熱ジャケットシステム

全PTFE素材、高効率加熱

ヒーティングジャケットは高品質なヒーター素子と高精度の温度制御システムを採用しており、迅速な加熱と効率的な温度管理を可能にしています。加熱プロセスの継続的な最適化と全PTFE素材の使用により、システム全体の安定性が大幅に向上しています。

ヒーティングジャケットシステムとは？

加熱ジャケットシステムは、さまざまな技術的生産プロセスで使用される真空およびガス配管の温度を維持するために用いられます。これは、顧客の特定の要件に応じてカスタム製造されています。

現在、半導体製造における真空または排気用ステンレス鋼管の温度維持に広く使用されており、配管内部の温度が低くなることで未反応媒体が管内壁に凝縮し、副生成物を形成して詰まりやその他の問題を引き起こし、排気効率が低下するのを防ぎます。

このシステムは、加熱ジャケット、温度コントローラー、およびHMI制御ボックスから構成され、配管の状態をリアルタイムで監視しながら配管を加熱するために使用されます。

典型的な用途

ガス供給配管（三塩化ホウ素（BCl3）、三フッ化塩素（ClF3）、テトラエトキシシラン（TEOS）、ジクロロシランDCS（SiH2Cl2）、六フッ化タングステン（WF6）、プロセスガス配管の資格認定；CVDおよび金属エッチング（低温化学気相成長、プラズマ増強化学気相成長）；プラズマエッチング（アルミニウムエッチング、タングステンエッチング）。