Vom 26. bis 28. März 2025 fand das jährliche Leitereignis der globalen Halbleiterindustrie, SEMICON China, großartig im Shanghai New International Expo Centre statt. Diese bedeutende Veranstaltung umfasste 100.000 Quadratmeter Fläche und brachte 1.400 Aussteller sowie 50.000 Fachbesucher zusammen. Geprägt durch „Internationalisierung und vollständige Abdeckung der gesamten Wertschöpfungskette“ zeichnete sie durch hochmoderne Technologiedemonstrationen und vertiefte Branchendialoge das zukünftige Bild der Halbleiterindustrie. Die Messe bot zahlreiche Highlights mit einem stetigen Strom neuer Technologien und Produkte und verlieh der Entwicklung der Branche neue Impulse. Als führendes Unternehmen in der Forschung und Herstellung von Präzisions-Temperiergeräten in der heimischen Halbleiterindustrie erregte die Shanghai Lingheng Industrial Automation Co., Ltd. (im Folgenden als „Lingheng Industrial“ bezeichnet) auf der Messe mit ihren herausragenden Leistungen und innovativen Errungenschaften im Bereich der Temperaturkontrolle für die Halbleiterfertigung großes Aufsehen.
Als wichtiger Akteur in der Halbleiterindustrie hat sich Lingheng Industrial der Bereitstellung von Präzisions-Temperatursteuerungslösungen für hohe und niedrige Temperaturen in der Halbleiterfertigung und verwandten Bereichen verschrieben. Das Unternehmen verfügt über umfangreiche Erfahrung in Forschung, Entwicklung, Produktion und Installation von Temperaturregelgeräten für elektrische Heizung, Tieftemperaturkühlung und ultratiefkalt Bedingungen. Auf dieser Messe präsentierte das Unternehmen seine neuesten kohlenstoffarmen und umweltfreundlichen CO2Chiller-Serienprodukte sowie etablierte Heating Jacket System-Produkte einem breiten Publikum.
Die erfolgreiche Debütmesse ist nicht das Ende. Lingheng Industrial wird weiterhin sein Engagement im Bereich der Temperaturkontrolle für die Halbleiterindustrie vertiefen und freut sich darauf, gemeinsam mit Ihnen neue Horizonte der intelligenten Fertigung zu erkunden!
Ausgestellte Produkte
Energiesparend und umweltfreundlich, stabil und zuverlässig, schnelle Reaktionszeit.
Als entscheidende Komponente von Temperierungsanlagen in der Halbleiterindustrie beeinflusst die Qualität des Kühlers direkt die Temperaturstabilität während der Herstellung von Halbleiterwafern. Seit ihrer Gründung im Jahr 2013 hat Lingheng Industrial kontinuierlich Innovationen vorangetrieben und sich dabei auf Forschung und Entwicklung sowie Qualitätskontrolle konzentriert. Die Kühler-Serienprodukte zeichnen sich durch komfortable Einrichtung, schnelle Reaktionszeiten, hohe Effizienz, Energieersparnis und präzise Temperaturregelung aus und erreichen so wirklich eine energiesparende und hochstabile Kühlwirkung, die die Fertigung von Halbleiterwafern unterstützt.
Heizjacken-System
Voll-PTFE-Material, effiziente Heizung
Die Heizjacke verwendet hochwertige Heizelemente und ein hochpräzises Temperaturregelsystem, wodurch eine schnelle Erwärmung und effiziente Temperaturkontrolle ermöglicht wird. Durch die kontinuierliche Optimierung des Heizprozesses sowie die Verwendung von Voll-PTFE-Material wird die Gesamtstabilität des Systems erheblich verbessert.
Was ist ein Heizjackensystem?
Ein Heizjackensystem wird verwendet, um die Temperatur in Vakuum- und Gasleitungen aufrechtzuerhalten, die bei verschiedenen technologischen Produktionsprozessen eingesetzt werden. Es wird kundenspezifisch nach individuellen Anforderungen gefertigt.
Derzeit wird es häufig zur Temperaturhaltung in Halbleiter-Vakuum- oder Abluftrohren aus Edelstahl eingesetzt, um zu verhindern, dass unreaktierte Medien durch Kondensation an der Rohrinnenwand Nebenprodukte bilden, was zu Verstopfungen oder anderen Problemen führen kann, die die Ablaufeffizienz verringern.
Das System besteht aus einer Heizjacke, einer Temperaturregelung und einer HMI-Steuerbox, die zur Echtzeitüberwachung des Zustands der Leitung und zum Beheizen der Leitungen verwendet wird.
Typische Anwendungen
Gaslieferleitung (Bortrichlorid (BCl3), Chlortrifluorid (ClF3), Tetraethylorthosilicat (TEOS), Dichlorsilan DCS (SiH2Cl2), Wolframhexafluorid (WF6), Qualifizierung der Prozessgasleitung; CVD und Metallätzen (niederdruckchemische Gasphasenabscheidung, plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung); Plasmaätzen (Aluminiumätzen, Wolframätzen).
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