Fra 26. til 28. mars 2025 ble SEMICON China, årets trendsetter for den globale halvlederindustrien, arrangert i storstil ved Shanghai New International Expo Centre. Denne store begivenheten, som dekket 100 000 kvadratmeter og samlet 1 400 utstillere og 50 000 fagbesøkende, kjennetegnet seg ved sin «internasjonalisering og fullstendige dekning av verdikjeden», og ga gjennom demonstrasjoner av nyeste teknologi og dybdegående industridialoger et innblikk i fremtidens halvlederindustri. Utstillingen var preget av mange høydepunkter, med en konstant strøm av nye teknologier og produkter som gir ny dynamikk til bransjens utvikling. Som et ledende selskap innen forskning og utvikling samt produksjon av presisjonstemperaturstyringsutstyr i Kinas halvlederindustri, tiltok Shanghai Lingheng Industrial Automation Co., Ltd. (heretter kalt «Lingheng Industrial») stor oppmerksomhet under utstillingen på grunn av sine fremragende resultater og innovative prestasjoner innen temperaturkontroll for halvlederproduksjon.

Som en nøkkelaktør i halvlederindustrien har Lingheng Industrial forpliktet seg til å levere presisjonsløsninger for høy- og lavtemperaturkontroll for produksjon av halvledere og relaterte felt. Selskapet har omfattende erfaring innen forskning, utvikling, produksjon og installasjon av temperaturreguleringsutstyr for elektrisk oppvarming, lavkjøling og ultra-lavtemperaturforhold. På denne messen presenterte selskapet sine nyeste CO2-kjøleanleggsserier med fokus på lavt karbonavtrykk og miljøvennlighet, samt modne produkter fra Heating Jacket System-serien.


Den vellykkede messepresentasjonen er ikke slutten. Lingheng Industrial vil fortsette å fordype sin rolle innen temperaturregulering for halvledere og ser frem til å utforske nye fronter innen intelligent produksjon sammen med deg!
Utstilte produkter
Energibesparende og miljøvennlig, stabil og pålitelig, rask responstid.
Som en avgjørende komponent i temperaturreguleringssystemer i halvlederindustrien, påvirker kvaliteten på kjøleanlegget direkte temperaturstabiliteten under produksjon av halvlederskiver. Siden grunnleggelsen i 2013 har Lingheng Industrial kontinuerlig innovert med fokus på forskning og utvikling samt kvalitetskontroll. Produktserien av kjøleanlegg er kjennetegnet ved enkel oppsettprosess, rask respons, høy effektivitet, energibesparelse og nøyaktig temperaturregulering, noe som virkelig oppnår lavt energiforbruk og høy stabilitet i kjøleeffekten, og dermed styrker produksjonen av halvlederskiver.

Varmejakkesystem
All-PTFE materiale, høyteffektiv oppvarming
Oppvarmingsjakten bruker høykvalitets varmelegemer og et høyteffektivt system for temperaturregulering, som muliggjør rask oppvarming og effektiv temperaturkontroll. Gjennom kontinuerlig optimalisering av oppvarmingsprosessen og bruk av all-PTFE materiale, er den totale systemstabiliteten betydelig forbedret.
Hva er et oppvarmingssystem med jakter?
Et varmejaktsystem brukes for å opprettholde temperaturen i vakuum- og gassrørledninger som benyttes i ulike teknologiske produksjonsprosesser. Det er tilpasset for å møte spesifikke kundekrav.
Det brukes i dag mye til temperaturregulering i halvlederens vakuum- eller eksosrør i rustfritt stål, for å hindre at ureaktert medium danner biprodukter som kondenserer på rørets indre vegg på grunn av lave indre temperaturer, noe som kan føre til tette rør eller andre problemer som reduserer eksoseffektiviteten.
Systemet består av en varmejakke, en temperaturregulator og en HMI-kontrollboks, som brukes til sanntidsovervåkning av rørledningsforhold og oppvarming av rør.
Vanlege brukar
Gassleveringsrør (borontriklorid (BCl3), klortrifluorid (ClF3), tetraetyl ortosilikat (TEOS), diklorsilan DCS (SiH2Cl2), wolframheksafluorid (WF6), prosessgassrørleggingskvalifikasjon; CVD og metallätning (lavtrykkskjemisk dampavsetning, plasmaforsterket kjemisk dampavsetning); plasmaätning (aluminiumätning, wolframätning).