Fyrstu kynning Lingheng Thermal Control á SEMICON China gekk fullkomlega!

Frá 26. til 28. mars 2025 var haldið SEMICON Kína, árlegu atburði sem er í gegnumför fyrir alþjóðlega örgjörvaiðgreiningarbranschuna, stórt og vel í Shanghai nýja alþjóðleika sýningarhöllinni. Þessi mikla viðmætisstund, sem nam 100.000 fermetrum og sameinaði 1.400 sýningar og 50.000 sérfræðinga gesti, var einkennandi með „alþjóðlegun og fullri iðnistréðsgreinum“ og lýsti framtíðarsjónarmiði örgjörvaiðgreiningarbranschunnar í ljósi framúrskarandi tækni sýningar og djúprófandi iðnadarræða. Sýningin var full af áherslum, með óneitanlega straum af nýjum tækni og vöru, og gróf undir nýja veru fyrir þróun iðnunnar. Sem leiðandi fyrirtæki á sviði rannsókna og framleiðslu nákvæmra hitastýringar tækja innan heimilis örgjörvaiðgreiningar branschunnar, vakti Shanghai Lingheng Industrial Automation Co., Ltd. (hér eftir nefnd sem „Lingheng Industrial“) mikla athygli á sýningunni vegna framráða sinna og nýjungaverka á sviði hitastýringar í örgjörvaiðgreiningarframleiðslu.

Sem lykilafli í hálfleiðaraindustrianum hefur Lingheng Industrial verið ætlað að veita nákvæmar lausnir til að stjórna hárri og lágrar hitastigi í framleiðslu hálfleiðara og tengdum sviðum. Fyrirtækið hefur mikla reynslu í rannsóknum, þróun, framleiðslu og uppsetningu hitastigstækja fyrir rafhittingu, kælingu við lágt hitastig og ofurlágt hitastig. Á þessari sýningu sýndi fyrirtækið fyrirheitandi fyrir sér nýjustu vöruvíddina CO2Chiller, sem er með lágan kolefnisútloga og umhverfisvæn, ásamt fullorðnu vörum úr Heating Jacket System.

Tónleikasóknin á sýningunni er ekki enden. Lingheng Industrial mun halda áfram að djúpkenna viðbúnað sinn í hitastigsstjórnun fyrir hálfleiðara og líta fram á að rannsaka nýjar frumtækni í iðulfrumsníðingu ásamt ykkur!

Sýndarvörur

Orkuþjóðgað og umhverfisvænt, stöðugt og traust, fljótlegt viðbragð.

Sem lykilhluti í hitastýringarkerfum í háttæknifyrirtækjum hefur gæði kælikerfisins bein áhrif á hitastöðugleika við framleiðingu háttækniskífur. Þegar Lingheng Industrial var stofnt árið 2013 hefir fyrirtækið stöðugt verið að innverkja nýjungar, með mikilli áherslu á rannsóknir og gæðastjórnun. Varaúrval kælikerfa frá fyrirtækinu er með hraðvirkt uppsetningarkerfi, fljóta svarið, hárri ávöxtun, orkuþrot og nákvæma hitastýringu, sem virkilega nær yfirgangandi niðurstöðum í formi lágrar orkunýtingar og hárrar stöðugleikakælingar, og stuðlar að framleiðslu háttækniskífur.

Hitunautafatningur kerfi

Öll-PTFE efni, hágæða hitun

Hitunarjakinn notar hitareiginleika af háum gæðum og nákvæmt hitastýringarkerfi sem gerir kleift fljóta hitun og árangursríka hitastýringu. Með samfelldri jákvæðri útfærslu hitunarferilsins og notkun alls PTFE efnis er yfirgripsstöðugleiki kerfisins aukið marktækt.

Hvað er hitunarjakinn kerfi?

Hitun húðkerfis er notað til að halda hitastigi í lofttæmingu og gasveituleiðbeinum sem eru notaðar í ýmsum tæknilínum framleiðsluaðgerðum. Kerfið er sérsniðið til að uppfylla ákveðna kröfur viðskiptavina.

Þessi tegund kerfis er nú mjög algenglega notuð til að halda hitastigi í hávaxtasemur eða útblásturssálgjarðar frá rostfrjósemum til að koma í veg fyrir að óbreytt efni myndi sýra afleifar sem kondensera á innanverðu veggnum í rörinu vegna lágs hitastigs inni, sem getur valdið blokkunum eða öðrum vandamálum sem minnka útblástureffektivitate.

Kerfið samanstendur af hitun húð, hitastigsstýringu og HMI-stýringarkassa, sem er notaður til rauntímaeftirlits á staða í leiðbeinum og hitun leiðbeina.

Dæmigert forrit

Guflager (borontríklóríð (BCl3), klórtrefluoríð (ClF3), tetraetyl örtosilíkát (TEOS), díklórosilán DCS (SiH2Cl2), túngrsenuhexaflúoríð (WF6), gæðakönnun ferlagsgufu; CVD og metalletching (lágtýkkis efnafrumdreifing, plösumhækt efnafrumdreifing); plösuetching (almennt etching, túngrsenuetching).