Дебют компании Lingheng Thermal Control на SEMICON China прошёл с полным успехом!

С 26 по 28 марта 2025 года в Шанхайском новом международном выставочном центре прошла крупнейшая ежегодная выставка SEMICON China, задающая тенденции мировой полупроводниковой индустрии. Это масштабное мероприятие, охватившее 100 000 квадратных метров и собравшее 1400 экспонентов и 50 000 профессиональных посетителей, отличалось «международным характером и полным охватом отраслевой цепочки» и представило будущее полупроводниковой промышленности через демонстрацию передовых технологий и углублённые отраслевые дискуссии. Выставка была насыщена яркими событиями, с постоянным потоком новых технологий и продуктов, вносящих новый импульс в развитие отрасли. Как ведущее предприятие в области научных исследований и производства прецизионного оборудования для терморегулирования в отечественной полупроводниковой отрасли, компания Shanghai Линхэнг Индастриал Automation Co., Ltd. (далее — «Линхэнг Индастриал») привлекла большое внимание на выставке благодаря своим выдающимся результатам и инновационным достижениям в области контроля температуры при производстве полупроводников.

Как ключевой участник в индустрии полупроводников, компания Линхэнг Индастриал уже давно занимается предоставлением решений для точного контроля высоких и низких температур в производстве полупроводников и смежных областях. У компании большой опыт в исследованиях, разработке, производстве и монтаже оборудования для регулирования температуры в условиях электронагрева, низкотемпературного охлаждения и сверхнизких температур. На этой выставке компания представила зрителям свою новейшую серию экологически чистых и энергосберегающих продуктов CO2Chiller с низким уровнем выбросов углерода, а также зрелые продукты Heating Jacket System.

Успешная дебютная выставка — это ещё не конец. Компания Линхэнг Индастриал продолжит углублять своё присутствие в области температурного контроля для полупроводниковой промышленности и с нетерпением ожидает возможности исследовать вместе с вами новые рубежи интеллектуального производства!

Презентованные продукты

Энергосберегающий и экологически чистый, стабильный и надёжный, быстрый отклик.

Как важный компонент систем контроля температуры в полупроводниковой промышленности, качество чиллера напрямую влияет на стабильность температуры при производстве полупроводниковых пластин. С момента основания в 2013 году компания Линхэнг Индастриал непрерывно внедряет инновации, уделяя особое внимание исследованиям и контролю качества. Продукты серии Chiller отличаются удобством установки, быстрым откликом, высокой эффективностью, энергосбережением и точным контролем температуры, по-настоящему обеспечивая охлаждение с низким энергопотреблением и высокой стабильностью, что способствует производству полупроводниковых пластин.

Система обогрева двигателя

Материал из полного PTFE, высокоэффективный нагрев

Нагревательная муфта использует высококачественные нагревательные элементы и высокоточную систему контроля температуры, обеспечивая быстрый нагрев и эффективное регулирование температуры. Благодаря постоянной оптимизации процесса нагрева и использованию материала из полного PTFE значительно повышается общая стабильность системы.

Что такое система нагревательной муфты?

Система нагревательной муфты используется для поддержания температуры в вакуумных и газовых трубопроводах, применяемых в различных технологических производственных процессах. Она изготавливается по индивидуальному заказу в соответствии с конкретными требованиями клиентов.

В настоящее время она широко применяется для поддержания температуры в полупроводниковых вакуумных или выхлопных трубах из нержавеющей стали, чтобы предотвратить образование побочных продуктов от непрореагировавших сред, конденсирующихся на внутренних стенках труб из-за низкой внутренней температуры, что может вызвать засоры или другие проблемы, снижающие эффективность выхлопа.

Система состоит из нагревательной муфты, контроллера температуры и блока управления HMI, которые используются для мониторинга в реальном времени состояния трубопровода и его нагрева.

Типичные применения

Газопровод для подачи (трихлорид бора (BCl3), трифторид хлора (ClF3), тетраэтилортосиликат (TEOS), дихлорсилан DCS (SiH2Cl2), гексафторид вольфрама (WF6), аттестация газопровода для процессных газов; осаждение из паровой фазы и травление металлов (низкотемпературное химическое осаждение из паровой фазы, плазмохимическое осаждение из паровой фазы); плазменное травление (травление алюминия, травление вольфрама).