EN
Pendingin Saluran Tunggal
Stabilitas suhu : ±0,1℃
Rentang suhu : -40˚C～+80˚C
Kapasitas pendingin : -40℃@6 KW/20℃@25 KW
Menampilkan pengendalian suhu berbasis inverter , sistem ini meningkatkan efisiensi energi sekaligus mengurangi konsumsi daya. Memberikan stabilitas ±0,1℃ untuk aplikasi presisi kritis termasuk:
Alat etching semikonduktor & CMP (Chemical Mechanical Polishing)
Instrumen laboratorium & peralatan uji presisi tinggi
Perangkat medis estetika & laser berbahan solid-state
Sistem kontrol suhu cetakan
- Gambaran Umum
- Produk Rekomendasi
Deskripsi teknis:
Lingheng Pendingin Saluran Tunggal memberikan manajemen termal yang terarah dengan desain kompak terintegrasi.
Dirancang untuk pendinginan presisi peralatan mandiri , unit kami memiliki kontrol PID ±0,1℃ dan
teknologi kompresor inverter untuk aplikasi kritis termasuk:
Alat metrologi semikonduktor
Sistem pemrosesan laser
Analyzer medis
Pengaturan meja uji
Sirkuit fluida terisolasi mencegah kontaminasi silang, sementara konstruksi tanpa PCW mengurangi biaya instalasi hingga 30%.
Keunggulan Utama:
Keunggulan Kriogenik : Beroperasi pada suhu -40℃ dengan transisi suhu <3 menit
Sirkulasi Tanpa Kehilangan : Piping dilas dengan laser dengan kehilangan cairan tahunan <0,1%
Efisiensi Inverter : Penghematan energi hingga 35% dibandingkan model kecepatan tetap (bersertifikat SEMI S23)
Kinerja Ramp Dinamis : Mencapai laju perubahan suhu ±5℃/menit
Integrasi Multi-Protokol : Siap untuk integrasi alat ASML/TEL/LAM dengan SECS/GEM & OPC-UA 
Komponen Utama & Operasi
Komponen |
TEKNOLOGI |
Kompresor |
Kompresor inverter hermetis dengan perlindungan terhadap cairan masuk (±0. 1℃ kontrol) |
Kondensor |
Baja tahan karat, kehilangan termal <5% |
Evaporator |
Desain berbentuk pelat, efisiensi 35% lebih tinggi, kebisingan ≤55dB |
Pemanas |
Pemanas langsung terendam, keseragaman ±0,3℃ |
Katup ekspansi |
Katup elektronik dengan kontrol superpanas ±1℃ |
Pompa |
Pompa Mag-drive (versi cairan terfluorinasi), fluktuasi aliran <2% |
Prinsip Pendinginan
Siklus Pendinginan PID Adaptif :
1️⃣ Kompresi → Peningkatan tekanan refrigeran
2️⃣ Kondensasi → Pendinginan & pengembunan
3️⃣ Pengendalian katup (EEV) → Pembangkitan tekanan rendah
4️⃣ Evaporasi → Penyerapan panas presisi dari peralatan
5️⃣ Kontrol aliran inverter → Mempertahankan stabilitas ±0. 1℃
| Parameter Produk VS100/407/020 | |||
| Model Produk | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Metode Pendinginan | Pendinginan air | ||
| Mode kontrol | Kontrol PID | ||
| Kisaran kontrol suhu | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Presisi | ±0.1℃ | ||
| Kapasitas pendingin |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-20℃@5 KW -10℃@10 KW 0℃@15 KW 20℃@25 KW 40℃@25 KW |
-40℃@6 KW -20℃@12 KW 0℃@25 KW 20℃@25 KW 40℃ @25 KW |
| Daya | 3KW | ||
| Tank | 20L | 25L | |
| Laju aliran cairan bersirkulasi | 20L/min（0,75Mpa） | 20L/menit(0,7Mpa) | |
| Lalu Lintas PCW | 15L/menit@15~25℃ | 30L/menit@15~25℃ | 50 L/menit@15~25℃ |
| Rentang suhu | 5~35℃ | ||
| Jenis Cairan Sirkulasi | Campuran etilen glikol, air murni, cairan terfluorinasi | Air jernih, Campuran etilen glikol, Air murni, Larutan berfluorinasi | Campuran etilen glikol, cairan berfluorinasi |
| Pendingin | R410a | / | / |
| Antarmuka Cairan Sirkulasi | Rc3/4“ | ||
| Antarmuka PCW | Rc1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Dimensi eksternal（mm） | 380W*900D*1300H | 420W*900D*1250H | 500W*1150D*1500H |
| Sumber daya input | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Daya mesin | 8KW | 9.7KW | 14KW |
| berat bersih | 200KG | 210KG | 360kg |
| Standar desain | Semi | ||
