Pendingin Saluran Ganda

Deskripsi teknis:

Chiller Dua Sirkuit Lingheng menyediakan pengendalian suhu dual independen dalam satu unit.
Menampilkan kestabilan ±0,1℃ per sirkuit , sistem ini dirancang untuk:

Pendinginan terpadu untuk ruang PVD/CVD

Manajemen termal multi-zona pada alat etching
Dengan ukuran 40% lebih kecil dan kompatibilitas yang telah terbukti di industri (AMAT/LAM/TEL), mereka menetapkan ulang pendinginan presisi yang hemat ruang.

Keunggulan Utama:

Efisiensi Dua-dalam-Satu
» Menggantikan dua chiller dengan sirkuit independen
→ 40% ruang ruang bersih lebih hemat + 30% pengurangan CAPEX

Kontrol Dual Presisi
» Stabilitas ±0,1℃ per sirkuit (ΔT<0. 2℃)
→ Memastikan variasi ketebalan film <3% dalam CVD/PVD

Integrasi Siap-Fab
» Protokol AMAT/LAM/TEL telah termuat
→ Kompatibilitas alat 300mm hingga 90%, waktu henti 65% lebih sedikit

Energy TwinDrive™
» 35% konsumsi energi lebih rendah dibanding pasangan konvensional
→ Tersertifikasi SEMI S23, tabungan tahunan >$18k

Nol Kontaminasi Silang
» Jalur aliran dapat disesuaikan  + Sambungan las laser
→ Kompatibel dengan UPW/fluorinert/EGW

Komponen Utama & Operasi:

Komponen	TEKNOLOGI
Kompresor	Kompresor inverter hermetis dengan perlindungan terhadap cairan masuk (±0. 1℃ kontrol)
Kondensor	Baja tahan karat, kehilangan termal <5%
Evaporator	Desain berbentuk pelat, efisiensi 35% lebih tinggi, kebisingan ≤55dB
Pemanas	Pemanas langsung terendam, keseragaman ±0,3℃
Katup ekspansi	Katup elektronik dengan kontrol superpanas ±1℃
Pompa	Pompa Mag-drive (versi cairan terfluorinasi), fluktuasi aliran <2%

Prinsip Pendinginan:

Siklus Pendinginan PID Adaptif :
1️⃣ Kompresi → Peningkatan tekanan refrigeran
2️⃣ Kondensasi → Pendinginan & pengembunan
3️⃣ Pengendalian katup (EEV) → Pembangkitan tekanan rendah
4️⃣ Evaporasi → Penyerapan panas presisi dari peralatan
5️⃣ Kontrol aliran inverter → Mempertahankan stabilitas ±0. 1℃