การปรากฏตัวครั้งแรกของ Lingheng Thermal Control ที่งาน SEMICON China ประสบความสำเร็จอย่างเต็มที่!

ตั้งแต่วันที่ 26 ถึง 28 มีนาคม ปี ค.ศ. 2025 เซมิคอน ไชน่า (SEMICON China) งานแสดงสินค้าประจำปีที่กำหนดแนวโน้มให้กับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ระดับโลก ได้จัดขึ้นอย่างยิ่งใหญ่ที่ศูนย์นิทรรศการนานาชาติใหม่เซี่ยงไฮ้ งานในครั้งนี้ครอบคลุมพื้นที่กว่า 100,000 ตารางเมตร รวบรวมผู้แสดงสินค้ากว่า 1,400 ราย และผู้เข้าชมงานระดับมืออาชีพกว่า 50,000 คน โดยมีลักษณะเด่นคือ "ความเป็นสากลและการครอบคลุมห่วงโซ่อุตสาหกรรมอย่างครบวงจร" พร้อมทั้งถ่ายทอดภาพอนาคตของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ผ่านการสาธิตเทคโนโลยีขั้นสูงและการแลกเปลี่ยนความคิดเห็นเชิงลึกจากภาคอุตสาหกรรม งานแสดงสินค้าเต็มไปด้วยจุดเด่นมากมาย มีการเปิดตัวเทคโนโลยีและผลิตภัณฑ์ใหม่ๆ อย่างต่อเนื่อง สร้างพลังขับเคลื่อนใหม่ให้กับการพัฒนาอุตสาหกรรม ในฐานะบริษัทชั้นนำด้านการวิจัย พัฒนา และการผลิตอุปกรณ์ควบคุมอุณหภูมิความแม่นยำสูงในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ภายในประเทศ บริษัท เซี่ยงไฮ้ หลิงเหิง อุตสาหกรรม ออโตเมชั่น จำกัด (ต่อไปนี้เรียกว่า "หลิงเหิง อุตสาหกรรม") ได้รับความสนใจอย่างกว้างขวางในงานนิทรรศการนี้ จากผลงานที่โดดเด่นและความสำเร็จเชิงนวัตกรรมในด้านการควบคุมอุณหภูมิสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ในฐานะผู้เล่นสำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ลิ่งเหิง อินดัสทรีแอล มุ่งมั่นที่จะจัดหาโซลูชันควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และสาขาที่เกี่ยวข้องภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูงและต่ำ โดยมีประสบการณ์อย่างกว้างขวางในการวิจัย พัฒนา การผลิต และติดตั้งอุปกรณ์ควบคุมอุณหภูมิสำหรับการให้ความร้อนด้วยไฟฟ้า การทำความเย็นในอุณหภูมิต่ำ และสภาวะอุณหภูมิที่ต่ำมาก ในงานแสดงนิทรรศการครั้งนี้ บริษัทได้นำเสนอผลิตภัณฑ์ซีรีส์ CO2Chiller รุ่นใหม่ล่าสุดที่ประหยัดพลังงาน เป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม และเป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อม รวมถึงผลิตภัณฑ์ระบบ Heating Jacket System ที่มีความพร้อมใช้งานสูงแก่ผู้เข้าชม

การจัดแสดงครั้งแรกที่ประสบความสำเร็จไม่ใช่จุดจบ ลิ่งเหิง อินดัสทรีแอล จะยังคงเดินหน้าลุ่มลึกในด้านการควบคุมอุณหภูมิสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ และหวังเป็นอย่างยิ่งที่จะได้ร่วมสำรวจขอบเขตใหม่ๆ ของการผลิตอัจฉริยะไปกับท่าน!

ผลิตภัณฑ์ที่จัดแสดง

ประหยัดพลังงานและเป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม มีเสถียรภาพและเชื่อถือได้ ตอบสนองรวดเร็ว

ในฐานะส่วนประกอบสำคัญของระบบควบคุมอุณหภูมิในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ คุณภาพของเครื่องทำความเย็น (chiller) มีผลโดยตรงต่อความเสถียรของอุณหภูมิในกระบวนการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ตั้งแต่ก่อตั้งขึ้นในปี 2013 บริษัทหลิงเหิง อินดัสทรีแอล ได้มีการพัฒนานวัตกรรมอย่างต่อเนื่อง โดยให้ความสำคัญกับงานวิจัยและพัฒนา รวมถึงการควบคุมคุณภาพ ผลิตภัณฑ์ชุดเครื่องทำความเย็นของบริษัทมีจุดเด่นด้านการติดตั้งที่สะดวก การตอบสนองอย่างรวดเร็ว ประสิทธิภาพสูง ประหยัดพลังงาน และการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ สามารถให้ผลในการทำความเย็นที่มีการใช้พลังงานต่ำและความเสถียรสูงอย่างแท้จริง ช่วยเสริมศักยภาพให้กับกระบวนการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

ระบบฮีตเตอร์แจ็คเก็ต

วัสดุทั้งชิ้นทำจาก PTFE ให้ความร้อนอย่างมีประสิทธิภาพสูง

ปลอกหุ้มให้ความร้อนใช้ชิ้นส่วนทำความร้อนคุณภาพสูงและระบบควบคุมอุณหภูมิที่มีความแม่นยำสูง ทำให้สามารถให้ความร้อนอย่างรวดเร็วและควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพ ผ่านการปรับปรุงกระบวนการให้ความร้อนอย่างต่อเนื่องและการใช้วัสดุ PTFE ทั้งชิ้น ทำให้ความเสถียรของระบบโดยรวมดีขึ้นอย่างมาก

ระบบปลอกหุ้มให้ความร้อนคืออะไร?

ระบบแจ็คเก็ตให้ความร้อนถูกใช้เพื่อรักษุอุณหภูมิในท่อสุญญากาศและท่อแก๊สที่ใช้ในกระบวนการผลิตทางเทคโนโลยีต่างๆ โดยจะผลิตตามคำขอเฉพาะของลูกค้า

ปัจจุบันมีการใช้งานอย่างแพร่หลายในการรักษุอุณหภูมิของท่อสแตนเลสสตีลสุญญากาศหรือท่อไอเสียในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เพื่อป้องกันไม่ให้สารตั้งต้นที่ยังไม่ได้ทำปฏิกิริยาก่อให้เกิดผลพลอยได้ที่ควบแน่นอยู่บนผนังด้านในของท่อเนื่องจากอุณหภูมิภายในต่ำเกินไป ซึ่งอาจทำให้เกิดการอุดตันหรือปัญหาอื่นๆ ที่ส่งผลให้ประสิทธิภาพการระบายลดลง

ระบบประกอบด้วยแจ็คเก็ตให้ความร้อน เครื่องควบคุมอุณหภูมิ และกล่องควบคุม HMI ซึ่งใช้สำหรับการตรวจสอบสภาพท่อและการให้ความร้อนแก่ท่อแบบเรียลไทม์

การใช้งานทั่วไป

ท่อนำส่งก๊าซ (โบรอนไตรคลอไรด์ (BCl3), คลอรีนไตรฟลูออไรด์ (ClF3), เตตระเอทิลออร์โทซิลิเกต (TEOS), ไดคลอโรซิเลน DCS (SiH2Cl2), ทังสเตนเฮกซาฟลูออไรด์ (WF6), การรับรองท่อส่งก๊าซสำหรับกระบวนการ; การเคลือบด้วยปฏิกิริยาทางเคมีแบบความดันต่ำและการกัดกร่อนโลหะ (การสะสมฟิล์มบางแบบความดันต่ำโดยใช้ปฏิกิริยาทางเคมี, การสะสมฟิล์มบางแบบใช้พลาสมาช่วย); การกัดกร่อนด้วยพลาสมา (การกัดกร่อนอลูมิเนียม, การกัดกร่อนทังสเตน)