2025년 3월 26일부터 28일까지, 세계 반도체 산업의 연례 트렌드 선도 박람회인 SEMICON China가 상하이 신국제엑스포센터에서 성대하게 개최되었습니다. 10만 제곱미터 규모의 전시장에 1,400개 업체와 5만 명의 전문 참관객이 모인 이번 행사는 "국제화와 전 산업 체인 포괄"을 특징으로 하며, 최첨단 기술 시연과 심도 있는 산업 대화를 통해 반도체 산업의 미래 전망을 제시했습니다. 끊임없이 새로운 기술과 제품이 공개되면서 전시회는 다채로운 볼거리로 가득했고, 업계 발전에 새로운 활력을 불어넣었습니다. 국내 반도체 산업에서 정밀 온도 제어 장비 연구 개발 및 제조를 선도하는 기업인 상하이 링헝 산업 자동화 유한회사(이하 "링헝 산업")는 반도체 제조 온도 제어 분야에서 탁월한 성과와 혁신적인 업적을 선보이며 전시회에서 큰 주목을 받았습니다.
반도체 산업의 주요 기업으로서, Lingheng Industrial은 반도체 제조 및 관련 분야를 위한 고온 및 저온 정밀 온도 제어 솔루션 제공에 전념해 왔습니다. 전기 가열, 저온 냉각 및 초저온 조건을 위한 온도 제어 장비의 연구, 개발, 생산 및 설치 분야에서 풍부한 경험을 보유하고 있습니다. 이번 전시회에서 회사는 최신 저탄소 및 친환경 CO2Chiller 시리즈 제품과 성숙된 Heating Jacket System 제품을 관람객들에게 선보였습니다.
성공적인 첫 전시회가 끝이 아닙니다. Lingheng Industrial은 앞으로도 반도체 온도 제어 분야에서의 참여를 더욱 심화시켜 나가며, 여러분과 함께 스마트 제조의 새로운 지평을 탐구해 나가기를 기대합니다!
전시 제품
에너지 절약 및 친환경, 안정적이고 신뢰할 수 있으며 빠른 응답.
반도체 산업의 온도 제어 시스템에서 중요한 구성 요소인 냉각기(Chiller)의 품질은 반도체 웨이퍼 제조 과정 중 온도 안정성에 직접적인 영향을 미칩니다. 2013년 설립 이래, Lingheng Industrial은 연구 개발과 품질 관리에 집중하며 지속적으로 혁신해 왔습니다. 자사의 냉각기 시리즈 제품은 설치가 용이하고, 반응 속도가 빠르며, 고효율, 에너지 절약 및 정밀한 온도 제어 기능을 갖추고 있어 낮은 에너지 소비와 높은 안정성을 실현하는 냉각 효과를 제공함으로써 반도체 웨이퍼 제조를 지원합니다.
히팅 재킷 시스템
전체 PTFE 소재, 고효율 가열
가열 재킷(Heating Jacket)은 고품질의 발열체와 고정밀 온도 제어 시스템을 사용하여 신속한 가열과 효율적인 온도 제어를 가능하게 합니다. 가열 공정을 지속적으로 최적화하고 전체 PTFE 소재를 적용함으로써 시스템 전체의 안정성이 크게 향상되었습니다.
가열 재킷 시스템이란?
가열 재킷 시스템은 다양한 기술적 생산 공정에서 사용되는 진공 및 가스 파이프라인의 온도를 유지하기 위해 사용됩니다. 고객의 특정 요구사항에 맞게 맞춤 제작됩니다.
현재 이 시스템은 반도체 진공 또는 배기용 스테인리스강 튜브의 온도 유지에 널리 사용되고 있으며, 내부 온도가 낮아 튜브 내벽에 비반응성 매체가 응축되어 부산물이 생성됨으로써 막힘 현상이나 배기 효율 저하와 같은 문제를 방지합니다.
이 시스템은 파이프라인 상태를 실시간으로 모니터링하고 파이프라인을 가열하기 위해 가열 재킷, 온도 컨트롤러 및 HMI 제어 박스로 구성되어 있습니다.
전형적 응용
가스 공급 배관 (삼염화붕소(BCl3), 삼불화염소(ClF3), 테트라에틸 오르토실리케이트(TEOS), 이염화디클로로실란 DCS(SiH2Cl2), 육불화텅스텐(WF6), 공정 가스 배관 적격성 평가; CVD 및 금속 에칭 (저압 화학 기상 증착, 플라즈마 강화 화학 기상 증착); 플라즈마 에칭 (알루미늄 에칭, 텅스텐 에칭).
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