Pendingin Saluran Tripel

Stabilitas suhu : ±0,1℃

Rentang suhu : -40˚C～+80˚C

Kapasitas pendingin : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Pendingin kompresor kelas industri dilengkapi kompresor merek premium untuk stabilitas luar biasa. Memberikan ±0,1℃ stabilitas suhu keluaran untuk aplikasi kritis termasuk:

Pendinginan peralatan fotolitografi/etching

Manajemen termal alat PVD/CVD

Kontrol suhu reaktor kimia & farmasi

Pendingin proses farmasi yang memenuhi standar GMP

Gambaran Umum
Produk Rekomendasi

Deskripsi teknis:

Lingheng Triple-Circuit Chillers memberikan pendinginan presisi multi-beban (±0,1℃) dalam satu unit. Dengan keluaran yang dapat dikonfigurasi untuk lingkungan yang stabil, unit ini menyediakan:
✅ KONTROL CERMAT : Operasi terjadwal, kompensasi otomatis, diagnosis mandiri
✅ Triple Safety : Alarm kelebihan panas/kelebihan beban/kekurangan air
✅ Konektivitas Industri : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Dirancang khusus untuk alat semikonduktor berteknologi cluster dan garis produksi PV dengan penghematan energi hingga 30%.

原理图5-英.png

Keunggulan Utama:

Integrasi TripleSync™
» 3 sirkuit independen dalam satu chassis
→ Pengurangan jejak cleanroom sebesar 55%

Presisi Tingkat Kluster
» Stabilitas ±0,1℃ dengan gradien antar-sirkuit <±0,03℃
→ Memungkinkan sinkronisasi proses multi-kamar

Pembebanan Dinamis Seimbang
» Alokasi pendinginan pintar (kapasitas total 30 kW)
→ Penghematan energi 28% pada beban variabel

Kompatibilitas Multi-Alat
» Plug-and-play dengan alat kluster ASML/AMAT/TEL
→ Mendukung fabrikasi 300mm dan jalur PV TOPCon

Ekosistem Titanium Ultrabersih
» Jalur aliran yang dapat disesuaikan dengan segel modular
→ Sisa cairan <0,1 ppb (sesuai Kelas 10)

结构图.png

Komponen Utama & Operasi:

Komponen	TEKNOLOGI
Kompresor	Kompresor inverter hermetis dengan perlindungan terhadap cairan masuk (±0. 1℃ kontrol)
Kondensor	Baja tahan karat, kehilangan termal <5%
Evaporator	Desain berbentuk pelat, efisiensi 35% lebih tinggi, kebisingan ≤55dB
Pemanas	Pemanas langsung terendam, keseragaman ±0,3℃
Katup ekspansi	Katup elektronik dengan kontrol superpanas ±1℃
Pompa	Pompa Mag-drive (versi cairan terfluorinasi), fluktuasi aliran <2%

Prinsip Pendinginan:

Siklus Pendinginan PID Adaptif :
1️⃣ Kompresi → Peningkatan tekanan refrigeran
2️⃣ Kondensasi → Pendinginan & pengembunan
3️⃣ Pengendalian katup (EEV) → Pembangkitan tekanan rendah
4️⃣ Evaporasi → Penyerapan panas presisi dari peralatan
5️⃣ Kontrol aliran inverter → Mempertahankan stabilitas ±0. 1℃

Parameter Produk VT410		VT210-W-32
Nama Produk	Pemanas
Model Produk	VT410-W-33	VT210-W-33
Metode Pendinginan	Pendinginan air
Mode kontrol	Kontrol PID
Kisaran kontrol suhu	CH1:-45~+60℃	CH1: +10℃ hingga +80℃

	CH2:+30~+90℃	CH2: +30℃ hingga +90℃

	CH3:+10~+55℃	CH3: +30℃ hingga +90℃
Presisi	±0.1℃
Kapasitas pendingin	CH1:6KW@-40˚C	CH1: 15 kW pada 20℃

	CH2:30KW@+30℃	CH2: 20 kW pada +60℃

	CH3:28KW@+20℃	CH3: 20 kW pada +60℃
Daya	CH1:4KW

	CH2:14KW

	CH3:4KW
Tank	CH1 / CH2 tangki ekspansi bersama 30L + tangki air panas 25L
Aliran fluida sirkulasi	CH1:17 L/min @ 0.9MPa	25 L–30 L/menit pada 0,65 MPa

	CH2:17 L/min @ 0.9MPa

	CH3:25 L/min @ 0.76MPa
Lalu Lintas PCW	CH1: 50 L/min@15~25℃@0.3MPa

	CH2: 20 L/menit@15~25℃@0,3MPa

	CH3: 50 L/menit@15~25℃@0,3MPa
Rentang suhu	5~35 ℃
Jenis cairan sirkulasi	FC3283
Antarmuka Cairan Sirkulasi	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
Antarmuka PCW	CH1/CH2/CH3: Rc1"	CH1/CH2/CH3: Rc1-1/4″
Dimensi eksternal (mm)	600W1370D2000H	1100W1400D1600T
Sumber daya input	3Ph,380-400V,50Hz
Daya keseluruhan mesin	41,1 KW
Berat bersih	600 kg
Standar desain	Semi