EN
Pendingin Saluran Tripel
Stabilitas suhu : ±0,1℃
Rentang suhu : -40˚C～+80˚C
Kapasitas pendingin : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Pendingin kompresor kelas industri dilengkapi kompresor merek premium untuk stabilitas luar biasa. Memberikan ±0,1℃ stabilitas suhu keluaran untuk aplikasi kritis termasuk:
Pendinginan peralatan fotolitografi/etching
Manajemen termal alat PVD/CVD
Kontrol suhu reaktor kimia & farmasi
Pendingin proses farmasi yang memenuhi standar GMP
- Gambaran Umum
- Produk Rekomendasi
Deskripsi teknis:
Lingheng Triple-Circuit Chillers memberikan pendinginan presisi multi-beban (±0,1℃) dalam satu unit. Dengan keluaran yang dapat dikonfigurasi untuk lingkungan yang stabil, unit ini menyediakan:
✅ KONTROL CERMAT : Operasi terjadwal, kompensasi otomatis, diagnosis mandiri
✅ Triple Safety : Alarm kelebihan panas/kelebihan beban/kekurangan air
✅ Konektivitas Industri : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Dirancang khusus untuk alat semikonduktor berteknologi cluster dan garis produksi PV dengan penghematan energi hingga 30%.
Keunggulan Utama:
Integrasi TripleSync™
» 3 sirkuit independen dalam satu chassis
→ Pengurangan jejak cleanroom sebesar 55%
Presisi Tingkat Kluster
» Stabilitas ±0,1℃ dengan gradien antar-sirkuit <±0,03℃
→ Memungkinkan sinkronisasi proses multi-kamar
Pembebanan Dinamis Seimbang
» Alokasi pendinginan pintar (kapasitas total 30 kW)
→ Penghematan energi 28% pada beban variabel
Kompatibilitas Multi-Alat
» Plug-and-play dengan alat kluster ASML/AMAT/TEL
→ Mendukung fabrikasi 300mm dan jalur PV TOPCon
Ekosistem Titanium Ultrabersih
» Jalur aliran yang dapat disesuaikan dengan segel modular
→ Sisa cairan <0,1 ppb (sesuai Kelas 10)
Komponen Utama & Operasi:
Komponen |
TEKNOLOGI |
Kompresor |
Kompresor inverter hermetis dengan perlindungan terhadap cairan masuk (±0. 1℃ kontrol) |
Kondensor |
Baja tahan karat, kehilangan termal <5% |
Evaporator |
Desain berbentuk pelat, efisiensi 35% lebih tinggi, kebisingan ≤55dB |
Pemanas |
Pemanas langsung terendam, keseragaman ±0,3℃ |
Katup ekspansi |
Katup elektronik dengan kontrol superpanas ±1℃ |
Pompa |
Pompa Mag-drive (versi cairan terfluorinasi), fluktuasi aliran <2% |
Prinsip Pendinginan:
Siklus Pendinginan PID Adaptif :
1️⃣ Kompresi → Peningkatan tekanan refrigeran
2️⃣ Kondensasi → Pendinginan & pengembunan
3️⃣ Pengendalian katup (EEV) → Pembangkitan tekanan rendah
4️⃣ Evaporasi → Penyerapan panas presisi dari peralatan
5️⃣ Kontrol aliran inverter → Mempertahankan stabilitas ±0. 1℃
| Parameter Produk VT410 | |
| Nama Produk | Pemanas |
| Model Produk | VT410-W-33 |
| Metode Pendinginan | Pendinginan air |
| Mode kontrol | Kontrol PID |
| Kisaran kontrol suhu | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Presisi | ±0.1℃ |
| Kapasitas pendingin | CH1:6KW@-40˚C |
| CH2:30KW@+30℃ | |
| CH3:28KW@+20℃ | |
| Daya | CH1:4KW |
| CH2:14KW | |
| CH3:4KW | |
| Tank | CH1 / CH2 tangki ekspansi bersama 30L + tangki air panas 25L |
| Aliran fluida sirkulasi | CH1:17 L/min @ 0.9MPa |
| CH2:17 L/min @ 0.9MPa | |
| CH3:25 L/min @ 0.76MPa | |
| Lalu Lintas PCW | CH1: 50 L/min@15~25℃@0.3MPa |
| CH2: 20 L/menit@15~25℃@0,3MPa | |
| CH3: 50 L/menit@15~25℃@0,3MPa | |
| Rentang suhu | 5~35 ℃ |
| Jenis cairan sirkulasi | FC3283 |
| Antarmuka Cairan Sirkulasi | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| Antarmuka PCW | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Dimensi eksternal (mm) |
600W*1370D*2000H |
| Sumber daya input | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Daya keseluruhan mesin | 41,1 KW |
| Berat bersih | 600 kg |
| Standar desain | Semi |
