EN
Sistem Jaket Pemanas
Stabilitas suhu : ±0. 5℃
Produk ini memiliki bahan berikut yang dapat dipilih sesuai kebutuhan aktual:
Bahan Busa Silikon
Bahan PTFE Penuh
Bahan Pelapisan PTFE
Bahan PTFE Diperluas
- Gambaran Umum
- Produk Rekomendasi
Deskripsi teknis:
Sistem Jaket Pemanas mempertahankan suhu yang presisi dalam pengiriman vakum\/gas
garis pada proses manufaktur canggih. Dirancang khusus sesuai kebutuhan industri
spesifik, sistem ini mencegah kondensasi reaktan yang tidak sempurna dan penumpukan produk samping
di dinding pipa bagian dalam - sangat penting untuk menghindari hambatan aliran dan penurunan efisiensi
pembuangan pada sistem vakum\/pembuangan semikonduktor. Terdiri dari tiga komponen utama:
Jaket Pemanas (desain khusus sesuai kebutuhan)
Kontroler PID (kestabilan ±0,5℃)
Kabinet Kontrol HMI
solusi ini memungkinkan pemantauan pipa secara real-time dan pengelolaan termal untuk pipa gas stainless steel.
Aplikasi Jaket Pemanas :
1. Jalur Pengiriman Gas
Gas Proses Berbahaya :
Boron Trichloride (BCl₃), Chlorine Trifluoride (ClF₃), Tetraethyl Orthosilicate (TEOS)
Dichlorosilane (DCS/SiH₂Cl₂), Tungsten Hexafluoride (WF₆)
Validasi proses pemanasan saluran gas untuk kontrol titik embun dan pencegahan kondensasi
2. Proses CVD
Low-Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD)
Plasma-Enhanced CVD (PECVD)
Fungsi: Stabilisasi suhu uap prekursor (±1℃)
3. Etsa Logam
Sistem pengikisan plasma :
Etsa Aluminium (kimia Cl₂/BCl₃)
Etsa Tungsten (campuran SF₆/WF₆)
Fungsi: Menjaga konsistensi reaktivitas gas
Keunggulan Jaket Pemanas:
Kategori Keunggulan |
Karakteristik Teknis |
Kontrol presisi |
stabilitas ±0,5℃ melalui kontroler PID (bersertifikat ISO 15805) |
Jaminan Keamanan |
Dua pengaman interlock: |
Eco-Insulasi |
Lapisan insulasi bebas PFAS: |
|
Pemantauan arus secara real-time: |
Kontroler suhu PID
Sistem Heating Jacket menggunakan kontroler suhu PID untuk regulasi termal yang presisi, dengan masing-masing kontroler beroperasi pada segmen bus RS485 khusus yang memiliki alamat jaringan unik. Unit PID ini berfungsi baik sebagai modul kontrol mandiri maupun sebagai node terintegrasi dalam arsitektur jaringan terdistribusi. Dengan memanfaatkan protokol Modbus RTU melalui antarmuka RS485, semua kontroler berkomunikasi secara dua arah dengan kabinet kontrol HMI pusat untuk memungkinkan pengelolaan suhu multi-zona yang tersinkronisasi dan agregasi data real-time tanpa memerlukan PLC pusat.
Panel kontrol hmi
Pemasangan jaket pemanas berlapis dan kontroler suhu PID pada pipa vakum atau gas relatif terdesentralisasi, sehingga tidak memungkinkan untuk memantau secara efektif suhu dan status operasional semua jaket pemanas secara real-time secara bersamaan. Untuk memungkinkan pemantauan kondisi semua jaket pemanas secara real-time, kami telah menerapkan panel kontrol HMI yang mengintegrasikan semua jaket pemanas ke dalam satu platform terpadu, sehingga mencapai pengendalian dan manajemen komunikasi secara terpusat.
Sistem Pemantauan Terpusat
Semua antarmuka - termasuk layar pemantauan, tampilan alarm real-time, log alarm historis, catatan riwayat kejadian, grafik analisis tren, dan formulir laporan - dapat dikonfigurasi pada sistem utama (menggunakan platform SCADA seperti InTouch atau iFix) untuk pemantauan menyeluruh terhadap sistem Jaket Pemanas.
Keunggulan Sistem:
• Efisiensi Manajemen Ditingkatkan - Meningkatkan keseluruhan kinerja operasional
• Perawatan Sederhana - Mengurangi kompleksitas operasional dan pemeliharaan
• Optimasi Biaya - Menurunkan biaya pemasangan, operasional, dan ekspansi
• Pemantauan Antar-Perangkat - Memungkinkan pemantauan timbal balik antar beberapa komputer
• Berbagi Sumber Daya - Memudahkan pemanfaatan sumber daya disk secara terpusat
• Cadangan Redundan - Menyediakan fungsi cadangan timbal balik
• Notifikasi Alarm Multi-Saluran - Mendukung peringatan SMS/panggilan dan notifikasi email
• Analisis Data Komprehensif - Memungkinkan pencarian data historis dan visualisasi tren dalam bentuk grafik
• Pelaporan Otomatis - Menghasilkan laporan sistem secara otomatis
• Manajemen jaringan - Memungkinkan administrasi sistem pemantauan terpusat
| Kain Dalam | Kain PTFE Teflon |
| Elemen pemanas | Elemen pemanas listrik PTFE nikel kromium |
| Isolasi | Serat kaca tahan panas berkapasitas tinggi |
| Bahan Kain Luar | Kain PTFE Teflon |
| Kait Tetap | Velcro tahan api dan tahan suhu tinggi |
