EN
Pendingin CO2
Stabilitas suhu : ±0,1℃
Rentang suhu : -20˚C～+80˚C
Kapasitas pendingin : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Memberikan kontrol termal presisi melalui chiller kompresor kompak untuk :
Fabrikasi & pengujian wafer semikonduktor
Validasi baterai/penggerak listrik energi baru
Pendinginan peralatan presisi
Aplikasi pendingin udara khusus uji coba
- Gambaran Umum
- Produk Rekomendasi
Deskripsi teknis:
Chiller Ultra-Bersih Lingheng CO₂
Memanfaatkan refrigeran alami (GWP=1, ODP=0) untuk mengantarkan kontrol termal presisi ±0,1℃ untuk proses semikonduktor canggih. Memungkinkan operasi berkisar -40℃ hingga +100℃ melalui teknologi siklus transkritis, kompatibel dengan aplikasi kritis:
Litografi foto
Etching
Penyimpanan Lapisan Atom (ALD)
Alur aliran tertutup penuh memenuhi standar ruang bersih Kelas 100, sementara Desain bebas gas-F mengurangi paparan pajak karbon—mencapai keunggulan proses sekaligus kepatuhan ESG.
Keunggulan Utama：
Keberlanjutan lingkungan:
GWP=1 - Selaras sepenuhnya dengan target iklim global, mengurangi paparan pajak karbon
Refrigeran alami - Menghilangkan kebutuhan pemulihan/pembuangan gas berfluorinasi
ODP Nol - Sesuai dengan peraturan internasional (misalnya, Amandemen Kigali)
presisi kontrol ±0,1℃ - Mendukung advanced nodes (TSMC 5nm yang patuh terhadap penghapusan refrigeran berfluorinasi)
Operasi bebas kontaminasi - Sisa CO₂ <1ppb, tersertifikasi untuk ruang bersih Kelas 1000
cOP 30% lebih tinggi - Teknologi inverter siklus transkritis (terverifikasi dibandingkan dengan baseline LIAT 1.0)
Kinerja Keamanan:
Tidak beracun & tidak mudah terbakar - Menghilangkan risiko kebocoran refrigeran berfluorinasi
Pengurangan risiko fab - 68% lebih rendah indeks bahaya lingkungan (sesuai SEMI S10)
Komponen Utama & Operasi:
Komponen |
TEKNOLOGI |
Kompresor |
Kompresor inverter hermetis dengan perlindungan terhadap liquid slugging (kontrol ±0,5℃) |
Kondensor |
Baja tahan karat, kehilangan termal <5% |
Evaporator |
Pelat berbahan titanium, efisiensi 35% lebih tinggi, kebisingan ≤55dB |
Pemanas |
Pemanas langsung terendam, keseragaman ±0,3℃ |
Katup ekspansi |
Katup elektronik dengan kontrol superpanas ±1℃ |
Pompa |
Pompa Mag-drive (versi cairan terfluorinasi), fluktuasi aliran <2% |
Prinsip Pendinginan:
1. Kompresi → Peningkatan tekanan refrigeran
2. Kondensasi → Pendinginan & pencairan
3. Pengendalian EEV → Pembentukan kabut bertekanan rendah
4. Evaporasi → Penyerapan panas presisi dari peralatan
5. Kontrol aliran inverter → Memertahankan stabilitas ±0. 1℃
| Parameter Produk GVS010 | Parameter Produk GVS405 | ||
| Model Produk | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Metode Pendinginan |
Jenis pendinginan dengan air |
||
| Mode kontrol |
Kontrol PID |
||
| Kisaran kontrol suhu | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20℃ hingga +90℃ |
| Presisi |
±0.1℃ |
||
| Kapasitas pendingin |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-40℃@4KW |
4 kW pada -10℃ 10 kW pada +20℃ |
| Daya | 3KW | 3KW | |
| Tank | 20L | 20L | |
| Laju aliran cairan bersirkulasi | 20L/min（0,75Mpa） | 20 L/menit (0,5 MPa) | 20 L/menit (0,7 MPa) |
| Lalu Lintas PCW | 15L/menit@15~25℃ | 15 LPM pada 15–25 ℃ dan tekanan 0,3–0,4 MPa | |
| Rentang suhu | 5~35℃ | ||
| Jenis Cairan Sirkulasi | Campuran Etilen Glikol, Air Murni, Larutan Fluorinasi | ||
| Pendingin | R744（CO2） | ||
| Antarmuka Cairan Sirkulasi |
Rc3/4” |
||
| Antarmuka PCW | Rc1/2” | Rc1-1/4” | Rc1/2” |
| Dimensi eksternal（mm） | 380W*900D*1250H | 500 W × 1160 D × 1650 T |
600 W × 900 D × 1300 T (mm) |
| Sumber daya input | 3Ph,208-220V,50Hz | 3 fasa, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Daya mesin | 8KW | 15,4 kW | |
| berat bersih | 200KG | ||
| Standar desain | Semi | Semi | SEMI S2, F47 |
