EN
Trippelkanals kjølemaskin
Temperaturstabilitet : ±0,1℃
Temperaturområde : -40 °C～+80 °C
Kjølingskapasitet : -40 ℃@6 kW /20 ℃@25 kW
Industriell kompressor kjøleaggregat med kompressorer fra premiummerker for eksepsjonell stabilitet. Leverer ±0,1 ℃ utløpstemperaturstabilitet for kritiske applikasjoner inkludert:
Kjøling av fotolitografi/etsing utstyr
Termisk styring av PVD/CVD-verktøy
Temperaturkontroll for kjemiske og farmasøytiske reaktorer
GMP-konform farmasøytisk prosesskjøling
- Oversikt
- Anbefalte produkter
Teknisk beskrivelse:
Lingheng triplekrets-kjølere leverer nøyaktig kjøling for flere belastninger (±0,1℃) i en enkelt enhet. Med konfigurerbare utganger for stabile miljøer, gir de:
✅ SMART KONTROLL : Planlagt drift, automatisk kompensasjon, selvhenting
✅ Trippel sikkerhet : Overheting/overbelastning/lavt vannivå-alarmer
✅ Industriell tilkobling : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Utformet for halvledergruppetuver og PV-produksjonslinjer med 30 % energibesparelse.
Hovedfordeler:
TripleSync™-integrasjon
» 3 uavhengige kretser i ett og samme chassis
→ 55 % reduksjon i rene rom-areal
Gruppepresisjon
» ±0,1 ℃ stabilitet med <±0,03 ℃ interkretsgradient
→ Muliggjør synkronisering av flere kamre
Dynamisk lastbalansering
» Smart kjølefordeling (30 kW total kapasitet)
→ 28 % energibesparelse ved variable belastninger
Flertydlig Verktøykompatibilitet
» Plug-and-play med ASML/AMAT/TEL cluster tools
→ Støtter 300 mm fabrikker og PV TOPCon linjer
Ultrarent Titan-økosystem
» Tilpassbare strømningsveier med modulær tetning
→ <0,1 ppb væskerester (i samsvar med klasse 10)
Komponter og drift:
Komponent |
TEKNOLOGI |
Kompressor |
Hermetisk inverterkompressor med væskebeskyttelse (±0, 1℃ kontroll) |
Kondensator |
Rustfritt stål, <5 % termisk tap |
Fordamper |
Plate-typ design, 35 % høyere virkningsgrad, støy ≤55 dB |
Varmepanne |
Nedsenkbar direkte oppvarming, ensartethet ±0,3 ℃ |
Utvidingsventil |
Elektronisk ventil med ±1 ℃ superheat-kontroll |
Pump |
Magnetisk drevet pumpe (versjon med fluorert væske), <2 % strømningsfluktuasjon |
Kjøleprinsipp:
Adaptiv PID-kjølesyklus :
1️⃣ Komprimering → Kjølemiddeltrykkøkning
2️⃣ Kondensering → Varmeledning og væsking
3️⃣ EEV-tværsnittsregulering → Lavtrykksgenerering
4️⃣ Fordampning → Presis varmeforbruk fra utstyr
5️⃣ Inverterstrømstyring → Opprettholder ±0. 1℃ stabilitet
| VT410-produktparametre | |
| Produktnavn | Kjøler |
| Produktmodell | VT410-W-33 |
| Kjølemetode | Vannkjøling |
| Kontrollmodus | PID-kontroll |
| Temperaturkontrollområde | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Presisjon | ±0.1℃ |
| Kjølingskapasitet | CH1:6 kW@-40 °C |
| CH2:30 kW@+30 °C | |
| CH3:28 kW@+20 °C | |
| Effekt | CH1:4kW |
| CH2:14kW | |
| CH3:4kW | |
| Tank | CH1 / CH2 delt utvidelsestank 30L + varmtvannstank 25L |
| Sirkulerende væskestrøm | CH1:17 L/min @ 0,9MPa |
| CH2:17 L/min @ 0,9MPa | |
| CH3:25 L/min @ 0,76MPa | |
| PCW-trafikk | CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa |
| CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3MPa | |
| CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa | |
| Temperaturområde | 5~35 ℃ |
| Sirkulerende væsketype | FC3283 |
| Sirkulerende væskegrensesnitt | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| PCW-grensesnitt | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Eksterne dimensjoner (mm) |
600W*1370D*2000H |
| Innmatningsstrømforsyning | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Helle maskinverktøyet | 41,1 kW |
| Nettovekt | 600 Kg |
| Desiggnormer | Semi |
