Varmejakkesystem
Temperaturstabilitet : ±0. 5℃
Dette produktet har følgende materialer å velge mellom i henhold til faktiske behov:
Silikonskummateriale
Fullt PTFE-materiale
PTFE-beleggmateriale
Utvidet PTFE-materiale
- Oversikt
- Anbefalte produkter
Teknisk beskrivelse:
Systemet med oppvarmingsjakke holder nøyaktige temperaturer i vakuum/gassføring
rør i avanserte produksjonsprosesser. Skreddersydd for bransjespesifikke
krav, forhindrer ufullstendig kondensering av reaktanter og avleiring av biprodukter
på innersiden av rørveggene - avgjørende for å unngå strømningsforstoppelse og redusert eksosseffektivitet
i halvledervakuum/eksossystemer. Består av tre hovedkomponenter:
Varmejakker (sporspesifikke design)
PID-kontrollere (±0,5 ℃ stabilitet)
HMI-kontrollskap
denne løsningen muliggjør overvåking i sanntid og termisk regulering av rørledninger i rustfrie stålrør for gasslinjer.

Oppvarmingsjakke-applikasjoner :
1. Gassledningslinjer
Farlige prosessgasser :
Bortriklorid (BCl₃), Klorintrifluorid (ClF₃), Tetraetyl ortosilikat (TEOS)
Diklorsilan (DCS/SiH₂Cl₂), Wolframheksafluorid (WF₆)
Prosessvalidering : Gasslinjeforvarming for duggpunktkontroll og kondensasjonsforebygging
2. CVD-prosesser
Lavtrykk kjemisk dampavsetning (LPCVD)
Plasmaforsterket CVD (PECVD)
Funksjon: Stabilisering av forløperdampens temperatur (±1℃)
3. Metallætser
Plasmaavtrekkssystemer :
Aluminiumsætser (Cl₂/BCl₃ kjemi)
Volframætser (SF₆/WF₆ blanding)
Funksjon: Oppretthold konstant gassreaktivitet

Fordeler med oppvarmingsjakke:
Fordelskategori |
Tekniske egenskaper |
Presis kontroll |
±0,5℃ stabilitet via PID-regulatorer (ISO 15805 sertifisert) |
Sikkerhetsgaranti |
Dobbel sikkerhetslås: |
Eko-isolering |
Isoleringslag uten PFAS: |
|
Overvåking av strøm i sanntid: |

PID-temperaturregulatorer
Oppvarmingsjaktsystemet bruker PID-temperaturregulatorer for nøyaktig temperaturregulering, hvor hver regulator opererer på et dedikert RS485-bussegment med unik nettverksadressering. Disse PID-enhetene fungerer både som selvstendige kontrollmoduler og som integrerte noder i en distribuert nettverksarkitektur. Ved bruk av Modbus RTU-protokoll via RS485-grensesnitt kommuniserer alle regulatorer toveis med det sentrale HMI-kontrollkabinettet for å aktivere synkronisert flerzons temperaturhåndtering og sanntidsdataaggregering uten behov for en sentral PLC.
Hmi kontrollpanel
Installeringen av isolerte varmejakker og PID-temperaturkontrollere på vakuum- eller gassrørlegging er relativt desentralisert, noe som gjør det umulig å effektivt overvåke alle varmejakkene sine sanntidstemperaturer og driftsstatus samtidig. For å aktivere sanntidsovervåkning av alle varmejakkene, har vi implementert et HMI-kontrollpanel som konsoliderer alle varmejakker til en enhetlig plattform, og oppnår sentralisert kontroll og kommunikasjonsstyring.
Sentralisert overvåkningssystem
Alle grensesnitt – inkludert overvåkningsskjerm, sanntidsvarseldisplay, historiske varsler, hendelseshistorikk, trendanalysegrafer og rapportformater – kan konfigureres i hovedsystemet (ved bruk av SCADA-plattformer som InTouch eller iFix) for komplett overvåkning av varmejakkens system.
System fordeler:
• Forbedret driftseffektivitet - Forbedrer den totale driftsytelsen
• Forenklet vedlikehold - Reduserer drifts- og vedlikeholdskompleksiteten
• Kostnadsoptimalisering - Reduserer installasjons-, drifts- og ekspansjonskostnader
• Overvåking på tvers av enheter - Muliggjør gjensidig overvåking mellom flere datamaskiner
• Deling av ressurser - Forenkler sentralisert bruk av diskressurser
• Redundant sikkerhetskopi - Tilbyr gjensidig sikkerhetsfunksjon
• Varslingsvarsling på flere kanaler - Støtter SMS/oppringningsvarsler og e-postvarsler
• Omfattende Dataanalyse - Muliggjør søk i historiske data og grafisk trendvisning
• Automatisert rapportering - Genererer systemrapporter automatisk
• Nettverksadministrering - Muliggjør sentralisert overvåkingssystemadministrasjon

| Indre stoff | PTFE Teflon-stoff |
| Varmeelement | PTFE nikkelkrom elektrisk varmelegeme |
| Isolasjon | Høykapasitets tykk glassfibrefilt |
| Ytre stoffmateriale | PTFE Teflon-stoff |
| Fastlåst hake | Flammehemmende og temperaturbestandige klistresegler |