EN
CO2-chillere
Temperaturstabilitet : ±0,1℃
Temperaturområde : -20 ˚C～+80 ˚C
Kjølingskapasitet : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Leverer presisjonstemperturkontroll gjennom kompakte kompressorkjølere for :
Halvlederwaferproduksjon og testing
Ny energibatteri/e-motorvalidering
Presisjonsutstyr kjøling
Testspesifikke luftkjølingsapplikasjoner
- Oversikt
- Anbefalte produkter
Teknisk beskrivelse:
Lingheng CO₂ Ultra Clean Kjøler
Bruker naturlig kjølemiddel (GWP=1, ODP=0) for å levere ±0,1℃ presisjonstemperaturkontroll for avanserte halvlederprosesser. Muliggjør -40℃ til +100℃ med bred driftsomfang ved hjelp av transkritisk syklusteknologi, kompatibel med kritiske applikasjoner:
Fotolitografi
Graving
Atomlagringsdeponering (ALD)
Fullt forseglet strømningsbane oppfyller klasse 100 reneromstandarder, mens F-gassfri design reduserer eksponering for karbonavgift – oppnår både prosessutforskning og ESG-samsvar.
Nøkkelfordeler：
Miljømessig bærekraft:
GWP=1 - Fullt i tråd med globale klimamål, reduserer eksponering for karbonavgift
Naturlig kjølemiddel - Fjerner krav til gjenopptak/bortskaffelse av fluorerte gasser
Null ODP - I samsvar med internasjonale reguleringer (f.eks. Kigali-endringen)
±0,1 °C presisjonskontroll - Muliggjør avanserte noder (TSMC 5 nm fluorholdig kjølemiddel-faseningsfri)
Drift uten forurensning - CO₂-rest <1 ppb, godkjent for klasse 1000 rene rom
30 % høyere COP - Transkritisk syklus inverterteknologi (bekreftet mot LIAT 1,0-baselinje)
Sikkerhetsytelse:
Ikke giftig og ikke brennbar - Fjerner risikoen for lekkasje av fluorholdige kjølemidler
Fab risikoreduksjon - 68 % lavere miljøfareindeks (per SEMI S10)
Komponter og drift:
Komponent |
TEKNOLOGI |
Kompressor |
Hermetisk inverterkompressor med væskehammerbeskyttelse (±0,5 ℃ regulering) |
Kondensator |
Rustfritt stål, <5 % termisk tap |
Fordamper |
Titanplate, 35 % høyere effektivitet, ≤55 dB støy |
Varmepanne |
Nedsenkbar direkte oppvarming, ensartethet ±0,3 ℃ |
Utvidingsventil |
Elektronisk ventil med ±1 ℃ superheat-kontroll |
Pump |
Magnetisk drevet pumpe (versjon med fluorert væske), <2 % strømningsfluktuasjon |
Kjøleprinsipp:
1. Komprimering → Kjølemiddelkomprimering
2. Kondensering → Varmeledning og væskedannelse
3. EEV-tværsnittsregulering → Lavtrykkssprøytning
4. Fordampning → Presis varmefangst fra utstyr
5. Inverterstrømregulering → Opprettholder ±0. 1℃ stabilitet
| GVS010 Produktspesifikasjoner | GVS405-produktparametere | ||
| Produktmodell | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Kjølemetode |
Vannkjølt kjølingstype |
||
| Kontrollmodus |
PID-kontroll |
||
| Temperaturkontrollområde | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20 ℃ til +90 ℃ |
| Presisjon |
±0.1℃ |
||
| Kjølekapasitet |
-20 ℃@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
-40℃@4kW |
4 kW ved -10 ℃ 10 kW ved +20 ℃ |
| Effekt | 3KW | 3KW | |
| Tank | 20L | 20L | |
| Sirkulerende væskestrømningshastighet | 20 L/min (0,75 MPa) | 20 L/min (0,5 MPa) | 20 L/min (0,7 MPa) |
| PCW-trafikk | 15L/min@15~25℃ | 15 L/min ved 15–25 ℃ og 0,3–0,4 MPa | |
| Temperaturområde | 5~35℃ | ||
| Typer sirkulerende væske | Etylenglykolblanding, Rent vann, Fluorert løsning | ||
| Kjølemiddel | R744 (CO2) | ||
| Sirkulerende væskegrensesnitt |
Rc3/4” |
||
| PCW-grensesnitt | RC1/2” | Rc1-1/4" | RC1/2” |
| Ytre dimensjoner (mm) | 380B*900D*1250H | 500 W × 1160 D × 1650 H |
600 B × 900 D × 1300 H (mm) |
| Innmatningsstrømforsyning | 3Ph,208-220V,50Hz | 3-fase, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Maskin effekt | 8KW | 15,4 kW | |
| nettovekt | 200KG | ||
| Desiggnormer | Semi | Semi | SEMI S2, F47 |
