EN
UPV-varmebatteri
Temperaturstabilitet : ±0,1℃
Temperaturområde : -20˚C～+80˚C
Varmekraft ：48KW-192KW
Modul for oppvarming av ultrarent vann (UPW) , Utviklet for nøyaktig temperaturkontroll i kritiske prosesser for fremstilling av halvledere, bruker dette avanserte oppvarmingssystemet halogenlamper med høy renhet, som er kappet med kvarts, for ikke-kontaktoppvarming og sikrer null metallisk forurensning.
- Oversikt
- Anbefalte produkter
Anvendelsesområde
Halvlederproduksjon : Rengjøring av silisiumwafer eller sammensatte materialer
Lithiumbatteri- og solcelleindustri : Rengjøringssystemer for produksjonslinjer
Skjermpaneleindustri : Rengjøring av LCD-glassubstrater
Miljøvennlig alternativ : Erstatter freonbasert rengjøring med ultra-rene vannløsninger
Nøkkelfunksjoner
Bygg av høgt kvalitet materiale
Høyrenhets kvarts varmelegemer
Fluorpolymer rørsystemer
Ikke-kontakt varmestråling med halogenlampe
Design som optimerer rommet
Ekstraflat design minimerer plassforbruk
Intelligent temperaturkontroll
Høyeffekt halogenlamper sikrer rask oppvarming
Automatisk temperaturregulering basert på sanntidsstrømningsvariasjoner
Ytelse og sikkerhet
≥95,8 % oppvarmingseffektivitet
Omfattende sikkerhetsfunksjoner med alarmer for:
Unormale strømningsforhold
Overtemperaturforhold
Tørrkjøringssikring
Lekkasjedeteksjon
Sensortap
Varmeelementfeil
| Modell | SWH-48 | SWH-72L | SWH-96L | SWH-144L | SWH-192L | |
| Varmemetod | Bruker infrarød strålingsvarmingsmetode | |||||
| Ytelse | Effekt | 48kw | 72kw | 96kw | 144 kW | 192kw |
| Standard strømningshastighet (△T55℃) | 12LPM | 18LPM | 24LPM | 36LPM | 48LPM | |
| Minimum varmeflom | 4-6LPM | 8-12LPM | ||||
| Sett temperaturområde | 20-100℃ | |||||
| Temperaturkontroll nøyaktighet | ±1℃ (Avhengig av forholdene) | |||||
| Strømningsvisningsområde | 0-60LPM | |||||
| Sammensetning | Varmepanne | Halogenlampe, indirekte oppvarmingsmetode uten kontakt med væske | ||||
| Varmeelementmateriale | Høyrent transparent kvarts | |||||
| Delene som er i kontakt med væske og rørmateriale | Høyrent transparent kvarts og høyrent PFA-rør | |||||
| Sikkerhetsresponsfunksjon | Unormal strømning, høy temperatur, tørrkjøring, lekkasje, sensorkablingsbrudd, halogenfilamentsmelting osv. | |||||
| Ekstern kommunikasjonsfunksjon | RS-232C, RS-485, Modbus TCP/IP | |||||
| Ekstern inngangs/utgangsfunksjon | 8 innganger, 14 utgangssignaler | |||||
| Annet | Eksterne dimensjoner (mm) | 450B*900D *1625H | 450B*1000D *1725H | 700B*1000D *1725H | 700B*1000D *1850H | 800B*1000D *2000H |
| Strømforsyning | AC 380V 50/60Hz trefase femleder | |||||
