Dobbeltkanals kjølemaskin

Teknisk beskrivelse:

Lingheng Dualkrets Kjølere leverer dobbel uavhengig temperaturkontroll i en enkelt enhet.
Med ±0,1 ℃ stabilitet per krets , disse systemene er utviklet for:

Synkronisert kjøling av PVD/CVD-kammer

Flersone termisk styring i etsningsverktøy
Med 40 % mindre plassbehov og bransjeprovet kompatibilitet (AMAT/LAM/TEL) definerer de på nytt hva romeffektiv presisjonskjøling er.

Hovedfordeler:

To-i-En-effektivitet
» Erstatter doble kjølere med uavhengige kretser
→ 40 % ren rom plass spart + 30 % redusert investeringskostnad

Presisjonsdobbel kontroll
» ±0,1 ℃ stabilitet per krets (ΔT<0. 2℃)
→ Sørger for <3 % filmtykkelsesvariasjon i CVD/PVD

Fabrikkklar integrering
» Forhåndsbelastede AMAT/LAM/TEL-protokoller
→ 90 % 300 mm verktøykompatibilitet, 65 % mindre nedetid

Energy TwinDrive™
» 35 % lavere energiforbruk sammenlignet med konvensjonelle løsninger
→ SEMI S23-sertifisert, >$18 000 årlige besparelser

Null korskontaminasjon
» Tilpassbare strømningsveier  + Laser sveisede ledd
→ Kompatibel med UPW/fluorinert/EGV

Komponter og drift:

Komponent	TEKNOLOGI
Kompressor	Hermetisk inverterkompressor med væskebeskyttelse (±0, 1℃ kontroll)
Kondensator	Rustfritt stål, <5 % termisk tap
Fordamper	Plate-typ design, 35 % høyere virkningsgrad, støy ≤55 dB
Varmepanne	Nedsenkbar direkte oppvarming, ensartethet ±0,3 ℃
Utvidingsventil	Elektronisk ventil med ±1 ℃ superheat-kontroll
Pump	Magnetisk drevet pumpe (versjon med fluorert væske), <2 % strømningsfluktuasjon

Kjøleprinsipp:

Adaptiv PID-kjølesyklus :
1️⃣ Komprimering → Kjølemiddeltrykkøkning
2️⃣ Kondensering → Varmeledning og væsking
3️⃣ EEV-tværsnittsregulering → Lavtrykksgenerering
4️⃣ Fordampning → Presis varmeforbruk fra utstyr
5️⃣ Inverterstrømstyring → Opprettholder ±0. 1℃ stabilitet