Chillers de Três Canais

Estabilidade de temperatura : ±0,1 °C

Faixa de Temperatura : -40˚C～+80˚C

Capacidade de resfriamento : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Chiller industrial de alta performance com compressores de marca premium para estabilidade excepcional. Oferece estabilidade da temperatura de saída ±0,1℃ para aplicações críticas, incluindo:

Refrigeração de equipamentos de fotolitografia/etching

Gestão térmica de ferramentas PVD/CVD

Controle de temperatura de reatores químicos e farmacêuticos

Refrigeração de processos farmacêuticos conforme normas GMP

Visão Geral
Produtos Recomendados

Descrição técnica:

Chillers de Três Circuitos da Lingheng oferecem arrefecimento preciso multi-carga (±0,1℃) em uma única unidade. Com saídas configuráveis para ambientes estáveis, proporcionam:
✅ CONTROLE INTELIGENTE : Operação programada, compensação automática, autodiagnóstico
✅ Triplo Nível de Segurança : Alarmes de superaquecimento/sobrecarga/falta de água
✅ Conectividade Industrial : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Projetado para ferramentas de cluster de semicondutores e linhas de produção fotovoltaicas com economia de 30% em energia.

原理图5-英.png

Principais Vantagens:

Integração TripleSync™
» 3 circuitos independentes em um único chassis
→ Redução de 55% no espaço ocupado em salas limpas

Precisão de Grau de Cluster
» Estabilidade de ±0,1℃ com gradiente intercircuitos de <±0,03℃
→ Permite sincronização de processos em múltiplas câmaras

Balanceamento de Carga Dinâmico
» Alocação inteligente de refrigeração (capacidade total de 30 kW)
→ 28% de economia de energia em cargas variáveis

Compatibilidade com Múltiplas Ferramentas
» Plug-and-play com ferramentas cluster ASML/AMAT/TEL
→ Suporta fábricas de 300mm e linhas PV TOPCon

Ecossistema de Titânio Ultralimpo
» Trajetos de fluxo personalizáveis com vedação modular
→ Resíduo de fluido <0,1ppb (conforme Classe 10)

结构图.png

Componentes e Operação Principais:

Componente	TECNOLOGIA
Compressor	Compressor hermético com proteção contra golpes de líquido (±0. 1℃ de controle)
Condensador	Aço inoxidável, perda térmica <5%
Evaporador	Design em placa, 35% mais eficiente, ruído ≤55dB
Aquecedor	Aquecimento direto submerso, uniformidade de ±0,3℃
Valva de expansão	Válvula eletrônica com controle de superaquecimento de ±1℃
Bomba	Bomba de acoplamento magnético (versão para fluido fluorinado), flutuação de vazão <2%

Princípio de refrigeração:

Ciclo de refrigeração PID adaptativo :
1️⃣ Compressão → Pressurização do refrigerante
2️⃣ Condensação → Dissipação de calor e liquefação
3️⃣ Estrangulamento por VEE → Geração de baixa pressão
4️⃣ Evaporação → Absorção precisa de calor do equipamento
5️⃣ Controle de fluxo do inversor → Mantém a estabilidade de ±0. 1℃

Parâmetros do Produto VT410		VT210-W-32
Nome do Produto	Refrigerador
Modelo do Produto	VT410-W-33	VT210-W-33
Método de resfriamento	Refrigeração por água
Modo de controle	Controle PID
Faixa de controle de temperatura	CH1:-45~+60℃	CH1: +10 ℃ ~ +80 ℃

	CH2:+30~+90℃	CH2: +30 ℃ ~ +90 ℃

	CH3:+10~+55℃	CH3: +30 ℃ ~ +90 ℃
Precisão	±0.1℃
Capacidade de resfriamento	CH1:6KW@-40˚C	CH1: 15 kW @ 20 ℃

	CH2:30KW@+30℃	CH2: 20 kW @ +60 ℃

	CH3:28KW@+20℃	CH3: 20 kW @ +60 ℃
Poder	CH1:4KW

	CH2:14KW

	CH3:4KW
Tanque	Tanque de expansão compartilhado CH1 / CH2 30L + tanque de água quente 25L
Vazão do fluido circulante	CH1:17 L/min @ 0,9MPa	25 L–30 L/min @ 0,65 MPa

	CH2:17 L/min @ 0,9MPa

	CH3:25 L/min @ 0,76MPa
Tráfego PCW	CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa

	CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3MPa

	CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa
Faixa de Temperatura	5~35 ℃
Tipo de fluido de circulação	FC3283
Interface do líquido de circulação	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
Interface de PCW	CH1/CH2/CH3: Rc1"	CH1/CH2/CH3: Rc1-1/4"
Dimensões externas （mm）	600W1370D2000H	1100W1400D1600H
Fonte de alimentação de entrada	3Ph,380-400V,50Hz
Potência total da máquina	41,1 kW
Peso líquido	600 kg
Padrões de projeto	Semi