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Chillers de CO2
Estabilidade de temperatura : ±0,1 °C
Faixa de Temperatura : -20˚C～+80˚C
Capacidade de resfriamento : -20℃@2 kW/20℃@10 kW
Oferecendo controle térmico preciso por meio de resfriadores compactos com compressor para :
Fabricação e teste de wafer semicondutor
Validação de bateria/eixo de tração de nova energia
Refrigeração de equipamentos de precisão
Aplicações de refrigeração a ar específicas para testes
- Visão Geral
- Produtos Recomendados
Descrição técnica:
Resfriador a CO₂ Lingheng Ultra-Clean
Utilização refrigerante natural (GWP=1, ODP=0) para entregar controle térmico com precisão de ±0,1 °C para processos semicondutores avançados. Permite operação de -40 °C a +100 °C em ampla faixa por meio de tecnologia de ciclo transcrítico, compatível com aplicações essenciais:
Fotolitografia
Gravura
Deposição de Camada Atômica (ALD)
Caminho de fluxo totalmente selado atende aos padrões de sala limpa Classe 100, enquanto Design livre de gases fluorados reduz o impacto da tributação sobre carbono — alcançando excelência no processo e conformidade ESG.
Principais Vantagens：
Sustentabilidade ambiental:
GWP=1 - Totalmente alinhado com as metas climáticas globais, reduzindo a exposição à taxação de carbono
Refrigerante natural - Elimina os requisitos de recuperação/descarte de gases fluorados
ODP zero - Conforme com regulamentações internacionais (por exemplo, Emenda de Kigali)
controle de precisão ±0,1℃ - Permite avanço em nodes (TSMC 5nm compatível com a eliminação de refrigerantes fluorados)
Operação isenta de contaminação - Resíduo de CO₂ <1ppb, certificado para salas limpas Classe 1000
30% COP superior - Tecnologia de ciclo transcrítico com inversor (verificado em relação à linha de base LIAT 1.0)
Desempenho em segurança:
Não tóxico e não inflamável - Elimina os riscos de vazamento de refrigerantes fluorados
Redução de risco fab - 68% menor índice de risco ambiental (por SEMI S10)
Componentes e Operação Principais:
Componente |
TECNOLOGIA |
Compressor |
Compressor hermético com proteção contra golpes de líquido (controle ±0,5 ℃) |
Condensador |
Aço inoxidável, perda térmica <5% |
Evaporador |
Placa de titânio, 35% mais eficiente, ruído ≤55 dB |
Aquecedor |
Aquecimento direto submerso, uniformidade de ±0,3℃ |
Valva de expansão |
Válvula eletrônica com controle de superaquecimento de ±1℃ |
Bomba |
Bomba de acoplamento magnético (versão para fluido fluorinado), flutuação de vazão <2% |
Princípio de refrigeração:
1. Compressão → Pressurização do refrigerante
2. Condensação → Dissipação de calor e liquefação
3. Estrangulamento EEV → Geração de névoa de baixa pressão
4. Evaporação → Absorção precisa de calor dos equipamentos
5. Controle de fluxo inversor → Mantém ±0. 1℃
| Parâmetros do Produto GVS010 | Parâmetros do Produto GVS405 | ||
| Modelo do Produto | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Método de resfriamento |
Tipo de arrefecimento por água |
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| Modo de controle |
Controle PID |
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| Faixa de controle de temperatura | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20 ℃ a +90 ℃ |
| Precisão |
±0.1℃ |
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| Capacidade de refrigeração |
-20 ℃@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
-40℃@4kW |
4 kW a -10 ℃ 10 kW a +20 ℃ |
| Potência | 3KW | 3KW | |
| Tanque | 20L | 20L | |
| Vazão do líquido circulante | 20L/min (0,75MPa) | 20 L/min (0,5 MPa) | 20 L/min (0,7 MPa) |
| Tráfego PCW | 15L/min@15~25℃ | 15 L/min a 15–25 ℃ a 0,3–0,4 MPa | |
| Faixa de Temperatura | 5~35℃ | ||
| Tipos de Fluido Circulante | Mistura de Etileno Glicol, Água Pura, Solução Fluoretada | ||
| Refrigerante | R744 (CO2) | ||
| Interface do líquido de circulação |
Rc3/4” |
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| Interface de PCW | Rc1/2" | Rc1-1/4" | Rc1/2" |
| Dimensões externas (mm) | 380W*900D*1250H | 500 L × 1160 P × 1650 A |
600 L × 900 P × 1300 A (mm) |
| Fonte de alimentação de entrada | 3Ph,208-220V,50Hz | trifásico, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Potência da máquina | 8KW | 15,4 kW | |
| pESO LÍQUIDO | 200KG | ||
| Padrões de projeto | Semi | Semi | SEMI S2, F47 |
