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Chiller de Dois Canais
Estabilidade de temperatura : ±0,1 °C
Faixa de Temperatura : -20˚C～+80˚C
Capacidade de resfriamento : -20℃@2 kW/20℃@10 kW
Sistema de arrefecimento preciso de duplo circuito oferecendo o desempenho de dois chillers independentes em uma única unidade. Alcança estabilidade de ±0,1℃ por circuito para aplicações críticas em semicondutores:
Controle de temperatura de ferramentas PVD/CVD
Gestão térmica do processo de etching
Compatibilidade comprovada na indústria com AMAT, LAM, AMEC, TEL e outros equipamentos principais de Fab.
- Visão Geral
- Produtos Recomendados
Descrição técnica:
Resfriadores de Circuito Duplo Lingheng oferecem controle de temperatura independente em dois circuitos em uma única unidade.
Apresentando estabilidade de ±0,1℃ por circuito , esses sistemas foram projetados para:
Resfriamento sincronizado de câmaras PVD/CVD
Gestão térmica multi-zona em ferramentas de etching
Com 40% menos espaço ocupado e compatibilidade comprovada pela indústria (AMAT/LAM/TEL), eles redefinem o resfriamento preciso com economia de espaço.
Principais Vantagens:
Eficiência Dois em Um
» Substitui dois resfriadores com circuitos independentes
→ 40% de espaço em salas limpas economizado + redução de 30% em CAPEX
Controle Duplo de Precisão
» Estabilidade de ±0,1℃ por circuito (ΔT<0, 2℃)
→ Garante variação de espessura de filme <3% em CVD/PVD
Integração Pronta para Fábrica
» Protocolos pré-carregados AMAT/LAM/TEL
→ 90% de compatibilidade com ferramentas de 300mm, 65% menos tempo de inatividade
Energy TwinDrive™
» 35% menos consumo de energia em comparação com sistemas convencionais
→ Certificado SEMI S23, economia anual de >$18k
Zero Contaminação Cruzada
» Fluxos personalizáveis + Juntas soldadas a laser
→ Compatível com UPW/fluorinert/EGW 
Componentes e Operação Principais:
Componente |
TECNOLOGIA |
Compressor |
Compressor hermético com proteção contra golpes de líquido (±0. 1℃ de controle) |
Condensador |
Aço inoxidável, perda térmica <5% |
Evaporador |
Design em placa, 35% mais eficiente, ruído ≤55dB |
Aquecedor |
Aquecimento direto submerso, uniformidade de ±0,3℃ |
Valva de expansão |
Válvula eletrônica com controle de superaquecimento de ±1℃ |
Bomba |
Bomba de acoplamento magnético (versão para fluido fluorinado), flutuação de vazão <2% |
Princípio de refrigeração:
Ciclo de refrigeração PID adaptativo :
1️⃣ Compressão → Pressurização do refrigerante
2️⃣ Condensação → Dissipação de calor e liquefação
3️⃣ Estrangulamento por VEE → Geração de baixa pressão
4️⃣ Evaporação → Absorção precisa de calor do equipamento
5️⃣ Controle de fluxo do inversor → Mantém a estabilidade de ±0. 1℃
| Parâmetros do Produto VD100 | |
| Modelo do Produto | VD100-W-32 |
| Método de resfriamento | Refrigeração por água |
| Modo de controle | Controle PID |
| Faixa de controle de temperatura | -20℃~+80℃ |
| Precisão | ±0.1℃ |
| Capacidade de refrigeração |
CH1/ CH2: -20℃@2 KW - 10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
| Poder |
CH1:3KW CH2:3KW |
| Tanque |
CH1: 20 L CH2: 20 L |
| Vazão do líquido circulante |
CH1:20 L/min（0,75 MPa） CH2:20 L/min（0,75 MPa） |
| Tráfego PCW | CH1: 15 L/min@15~25 ℃ CH2: 15 L/min@15~25 ℃ |
| Faixa de Temperatura | 5~35℃ |
| Tipos de Fluido Circulante | Mistura de etilenoglicol, água pura, líquido fluorado |
| Refrigerante | R410a |
| Interface do líquido de circulação | Rc3/4“ x 2 |
| Interface de PCW | Rc1/2” x 2 |
| Dimensões externas (mm) | 600W*920D*1300H |
| Fonte de alimentação de entrada | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Potência da máquina | 16KW |
| peso líquido | 350 kg |
| Padrões de projeto | Semi |
