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Aquecedor de água ultrapura

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Aquecedor UPW

Estabilidade de temperatura : ±0,1 °C

Faixa de Temperatura : -20˚C~+80˚C

Potência de Aquecimento 48KW-192KW

 

Módulo de Aquecimento de Água Ultrapura (UPW) , Projetado para controle térmico preciso em processos críticos de fabricação de semicondutores, este sistema avançado de aquecimento utiliza lâmpadas halógenas encapsuladas em quartzo de alta pureza para aquecimento sem contato, garantindo zero contaminação metálica.  

  • Visão Geral
  • Produtos Recomendados

ÂMBITO DE APLICAÇÃO

Fabricação de semicondutores : Limpeza de waferes de silício ou materiais compostos

Indústria de Baterias de Lítio e Energia Solar Fotovoltaica : Sistemas de limpeza de linha de produção

Indústria de Painéis de Exibição : Limpeza de substratos de vidro LCD

Alternativa ecológica : Substitui a limpeza com base em freon por soluções de água ultrapura


Principais Características

Construção de material premium

Elementos de aquecimento de quartzo de alta pureza

Sistemas de tubulação em resina fluorada

Tecnologia de aquecimento com lâmpada halógena sem contacto

Design Otimizado para Espaço

Perfil ultrafino minimiza o espaço ocupado

Controle de temperatura inteligente

Lâmpadas halógenas de alta potência permitem aquecimento rápido

Ajuste automático de temperatura com base em variações de fluxo em tempo real

Desempenho & Segurança

eficiência de aquecimento ≥95,8%

Proteções abrangentes com alarmes para:

Anormalidades no fluxo

Condições de sobreaquecimento

Proteção contra funcionamento sem água

Detecção de vazamentos

Falha no sensor

Falhas no circuito do aquecedor



Modelo SWH-48 SWH-72L SWH-96L SWH-144L SWH-192L
Método de Aquecimento Adota método de aquecimento por radiação infravermelha
Desempenho Poder 48kw 72kw 96kw 144KW 192 kW
Vazão padrão (△T55℃) 12LPM 18LPM 24LPM 36LPM 48LPM
Vazão mínima de aquecimento 4-6LPM 8-12LPM
Intervalo de temperatura definida 20-100℃
Precisão de controle de temperatura ±1℃ (Dependendo das condições)
Faixa de exibição do fluxo 0-60LPM
Composição Aquecedor Tubo de lâmpada halógena, método de aquecimento indireto sem contato com o líquido
Material do aquecedor Quartzo transparente de alta pureza
Peças em contato com o líquido e materiais das tubulações Quartzo transparente de alta pureza e tubo PFA de alta pureza
Função de resposta de segurança Fluxo anormal, alta temperatura, superaquecimento, vazamento, desconexão do sensor, fusão do filamento halógeno, etc.
Função de comunicação externa RS-232C, RS-485, Modbus TCP/IP
Função de entrada/saída externa 8 entradas, 14 sinais de saída
Outro Dimensões externas ((mm) 450W*900D *1625H 450W*1000D *1725H 700W*1000D *1725H 700W*1000D *1850H 800W*1000D *2000H
Fonte de alimentação AC 380V 50/60Hz trifásico cinco fios

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