Dreikanal-Kühler

Temperaturstabilität : ±0,1 °C

Temperaturbereich : -40 °C bis +80 °C

Kühlkapazität : -40 °C@6 KW /20 °C@25 KW
Industrieller Kühlsatz mit Kompressor ausgestattet mit Kompressoren namhafter Markenhersteller für außergewöhnliche Stabilität. Liefert ±0,1 °C Ausgangstemperaturstabilität für kritische Anwendungen, darunter:

Kühlung von Fotolithografie/Ätzanlagen

Thermomanagement für PVD/CVD-Anlagen

Temperaturregelung für chemische und pharmazeutische Reaktoren

GMP-konforme pharmazeutische Prozesskühlung

Überblick
Empfohlene Produkte

Technische Beschreibung:

Lingheng Dreikreiskühler sorgen für präzise Mehrfachkühlung (±0,1 °C) in einem Gerät. Mit konfigurierbaren Ausgängen für stabile Umgebungen bieten sie:
✅ INTELLIGENTE STEUERUNG : Geplatter Betrieb, automatische Kompensation, Selbstdiagnose
✅ Dreifacher Schutz : Überhitzungs-/Überlastungs-/Wassermangelalarm
✅ Industrielle Vernetzung : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Entwickelt für Halbleiter-Cluster-Tools und PV-Produktionslinien mit 30 % Energieeinsparung

原理图5-英.png

Hauptvorteile:

TripleSync™ Integration
» 3 unabhängige Stromkreise in einem Gehäuse
→ 55 % geringerer Reinraumbedarf

Cluster-Grade Präzision
» ±0,1 °C Stabilität mit <±0,03 °C interner Stromkreisgradient
→ Ermöglicht Synchronisation von Mehrkammerprozessen

Dynamisches Lastausgleich
» Intelligente Kühlverteilung (Gesamtkapazität 30 kW)
→ 28 % Energieeinsparung bei variablen Lasten

Multi-Werkzeug-Kompatibilität
» Plug-and-Play mit ASML/AMAT/TEL Cluster-Tools
→ Unterstützt 300-mm-Fabs und PV-TOPCon-Linien

Ultrareines Titan-Ecosystem
» Anpassbare Strömungspfade mit modularem Dichtsystem
→ <0,1 ppb Flüssigkeitsrückstände (konform zu Klasse 10)

结构图.png

Kernkomponenten & Betrieb:

CompoNent	TECHNOLOGIE
Kompressor	Hermetischer Inverter-Kompressor mit Flüssigkeitsschutz (±0, 1℃-Regelung)
Kondensator	Edelstahl, <5 % Wärmeverlust
Verdampfer	Plattentyp-Design, 35 % höhere Effizienz, ≤55 dB Geräuschpegel
Heizung	Tauchdirektheizung, ±0,3 °C Temperaturgleichmäßigkeit
Expansionsventil	Elektronisches Ventil mit ±1 °C Überhitzungsregelung
Pumpe	Magnetkupplungspumpe (Version mit fluoriniertem Fluid), <2 % Flussfluktuation

Kühlprinzip:

Adaptiver PID-Kreislaufkühlung :
1️⃣ Kompression → Kältemittelverdichtung
2️⃣ Kondensation → Wärmeabfuhr & Verflüssigung
3️⃣ EEV-Drosselung → Unterdruck-Erzeugung
4️⃣ Verdampfung → Präzise Wärmeaufnahme von Geräten
5️⃣ Inverter-Flussregelung → Hält ±0. 1℃ Stabilität

VT410 Produktparameter
Produktname	Kühler
Produktmodell	VT410-W-33
Kühlmethode	Wasser-Kühlung
Steuerungsmodus	PID-Regelung
Temperaturreglerbereich	CH1:-45~+60℃

	CH2:+30~+90℃

	CH3:+10~+55℃
Präzision	±0.1℃
Kühlkapazität	CH1:6 kW bei -40 °C

	CH2:30 kW bei +30 °C

	CH3:28 kW bei +20 °C
Leistung	CH1:4KW

	CH2:14KW

	CH3:4KW
Tank	CH1 / CH2 gemeinsamer Ausdehnungsbehälter 30L + Warmwasserbehälter 25L
Kreislaufkühlmittelstrom	CH1:17 L/min @ 0,9MPa

	CH2:17 L/min @ 0,9MPa

	CH3:25 L/min @ 0,76MPa
PCW Verkehr	CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa

	CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3 MPa

	CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa
Temperaturbereich	5~35 ℃
Kreislaufmedium-Typ	FC3283
Kreislaufmedium-Anschluss	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
PCW-Anschluss	CH1/CH2/CH3: Rc1"
Außenmaße (mm)	600W1370D2000H
Eingangsnetzteil	3Ph,380-400V,50Hz
Die gesamte Maschinenleistung	41,1 kW
Nettogewicht	600 kg
Konstruktionsnormen	Semi