U mikroskopskom svijetu tvornica poluvodiča, promjene temperature veličine svega 0,1 °C mogu izazvati „efekt leptira“, što rezultira odbacivanjem milijuna čipova. Zašto je kontrola temperature toliko važna?
1、 „Sidro“ litografije
Suvremene litografske strojeve možemo usporediti s preciznim optičkim satovima. Njihovi unutarnji laseri, leće i radne ploče proizvode toplinu tijekom rada na visokim brzinama. Uloga rashladne jedinice (precizna vodena hladnjaka) je osigurati ovim ključnim komponentama izuzetno stabilnu temperaturnu okolinu od ±0,01°C, čime se sprječava odstupanje optičke staze na mikron razini, osiguravajući konačnu preciznost i točnost superpozicije litografije.
2、 "Voditelj ritma" deponiranja tankih slojeva
U procesima CVD-a (kemijska depozicija iz plinske faze) i PVD-a (fizička depozicija iz plinske faze), reakcijska temperatura izravno određuje debljinu, jednolikost i sastav tankog sloja. Preciznom kontrolom temperature reakcijske komore, rashladna jedinica osigurava da se svaki sloj tankog filma nanosi jednoliko, poput komada glazbe sviranog prema notama. To je ključno za izgradnju osnove struktura visokoučinkovitih čipova.
3、 Zaključak:
Hladni stroj je prešao područje pomoćne opreme; on je kamen temeljac preciznosti, stabilnosti i prinosa u proizvodnji poluprovodnika. Nevidljiv, ali sveprisutan, čuva savršenu transformaciju od zrna pijeska u čip. 
EN
