Жартылай өткөргүч фабрикаларынын микроскопиялык дүйнөсүндө 0,1°C гана температуранын өзгөрүшү миллиондогон чиптерди жок кылууга алып келет. Температураны башкаруу эмнеге ушунчалык маанилүү?
1、 Литографиянын «Якору»
Бүгүнкү литография машиналары так оптикалык сааттар сыяктуу. Ички лазерлери, линзалары жана иш столдору жогорку ылдамдыкта иштөөдө жылуулук бөлүп чыгарат. Чиллердин (так суу чиллери) ролу - бул негизги компоненттерге ±0,01°C температуралык туруктуу муздак талааны камсыз кылып, оптикалык траектория микрон деңгээлинде айланбасын, анткени литографиянын тактыгын жана бекемдигин камсыз кылат.
2、 Жылма пленканын чөкүрүүсүнүн «Ритм башкаруучусу»
CVD (химиялык буу чөктүрүү) жана PVD (физикалык буу чөктүрүү) процесстеринде реакция температурасы түзүлүштүн калыңдыгын, бирдүүлүгүн жана аймактык таралышын тууралап аныктайт. Реакция камерасынын температурасын так башкаруу аркылуу Chillер түзүлүштүн ар бир катмары музыкалык партитура боюнча ойнолгон музыкага окшош бирдүү түрдө жабылышын камсыз кылат. Бул жогорку өнүмдүүлүктөгү чип структурасынын негизин түзүү үчүн маанилүү.
3、 Коорунту:
Chillер кошумча жабдуулар деңгээлинен ашып кетти; ал жартылай өткөргүчтү иштетүүдө тактыктын, туруктуулуктун жана чыгуунун таяныч ташы болуп саналат. Көрүнбөсө да, бардык жерде болуп, бир тамчы кумдан чипке мүгөөз трансформацияланууну камсыз кылат. 
EN
