В микроскопическом мире полупроводниковых фабрик колебания температуры всего в 0,1 °C могут вызвать «эффект бабочки», в результате которого миллионы чипов приходится списывать. Почему контроль температуры настолько критичен?
1、 «Якорь» литографии
Современные литографные машины подобны точным оптическим часам. Их внутренние лазеры, линзы и рабочие столы выделяют тепло при высокоскоростной работе. Задача чиллера (прецизионного водяного охладителя) — обеспечить этим основным компонентам сверхстабильную температурную среду с отклонением ±0,01 °C, чтобы оптический путь не изменялся на уровне микронов, что гарантирует предельную точность и точность совмещения при литографии.
2、 «Дирижёр» тонкоплёночного осаждения
В процессах CVD (химического осаждения из паровой фазы) и PVD (физического осаждения из паровой фазы) температура реакции напрямую определяет толщину, однородность и состав тонкой плёнки. Точный контроль температуры реакционной камеры с помощью чиллера обеспечивает равномерное осаждение каждого слоя плёнки, словно музыкальное произведение, исполненное по нотам. Это имеет решающее значение для создания основы высокоэффективных структур микросхем.
3、 Заключение:
Чиллер вышел за пределы вспомогательного оборудования; он является краеугольным камнем точности, стабильности и выхода продукции в производстве полупроводников. Невидимый, но вездесущий, он обеспечивает идеальное превращение песчинки в микросхему. 
EN
