Dvokanalni hladnjak

Tehnički opis:

Lingheng hladnjaci s dvostrukim krugom nudi dvostruku neovisnu kontrolu temperature u jednoj jedinici.
Iznose ±0,1℃ stabilnost po krugu , ove su sustave projektirane za:

Sinkronizirano hlađenje PVD/CVD komora

Višezonsko upravljanje temperaturom u alatom za piling
S 40% manjom zauzetom površinom i dokazanom kompatibilnošću u industriji (AMAT/LAM/TEL), oni predefiniraju precizno hlađenje uštednje prostora.

Ključne prednosti:

Učinkovitost dva u jedan
» Zamjenjuje dvostruke rashladne uređaje neovisnim krugovima
→ 40% uštede prostora u čistoj sobi + 30% smanjenja investicijskih troškova

Precizno Dvostruko Upravljanje
» ±0,1℃ stabilnost po krugu (ΔT<0. 2℃)
→ Osigurava <3% varijaciju debljine filma u CVD/PVD

Fab-Ready Integracija
» Unaprijed učitani AMAT/LAM/TEL protokoli
→ 90% kompatibilnosti s 300mm alatom, 65% manje vremena bez aktivnosti

Energy TwinDrive™
» 35% niža potrošnja energije u usporedbi s konvencionalnim parovima
→ SEMI S23 certificiran, >$18k godišnje uštede

Nula unakrsne kontaminacije
» Prilagodljivi tokovi medija  + zavarivanje zrakom
→ Kompatibilan s UPW/fluorinert/EGW

Ključne komponente i rad:

Komponenta	TEHNOLOGIJA
Kompresor	Hermetički kompresor s tekućim hlađenjem i zaštitom od tekuće ispuštanje (±0. 1℃ upravljanje)
Kondenzator	Nehrđajući čelik, <5% gubitka topline
Isparivač	Pločasti dizajn, 35% veća učinkovitost, buka ≤55dB
Grejanje	Izravno grijanje uronjenog tipa, jednolikost ±0,3℃
Svaka vrsta	Elektronički ventil s upravljanjem pregrijavanja ±1℃
Pumpa	Magnetni pumpa (verzija s fluoriranim medijem), <2% oscilacija protoka

Načelo hlađenja:

Prilagodljivi PID rashladni ciklus :
1️⃣ Komprimiranje → Povećanje tlaka rashladnog sredstva
2️⃣ Kondenzacija → Rasipanje topline i tekućenje
3️⃣ EEV prigušivanje → Generiranje niskog tlaka
4️⃣ Isparanje → Precizno upijanje topline iz opreme
5️⃣ Inverterska regulacija protoka → Održava ±0. 1℃ stabilnost