Di dunia mikroskopis fabrikasi semikonduktor, fluktuasi suhu sekecil 0,1°C dapat memicu "efek kupu-kupu", mengakibatkan pembuangan jutaan chip. Mengapa kontrol suhu begitu kritis?
1、 "Jangkar" dari Litografi
Mesin litografi modern seperti jam tangan optik presisi. Laser internal, lensa, dan meja kerjanya menghasilkan panas selama operasi berkecepatan tinggi. Peran chiller (pendingin air presisi) adalah menyediakan lingkungan suhu ultra-stabil ±0,01°C bagi komponen inti ini, memastikan jalur optik tidak menyimpang hingga level mikron, sehingga menjamin ketepatan maksimal dan akurasi overlay pada proses litografi.
2、 "Dirigen" dalam Proses Deposisi Lapisan Tipis
Dalam proses CVD (deposisi uap kimia) dan PVD (deposisi uap fisika), suhu reaksi secara langsung menentukan ketebalan, keseragaman, dan komposisi lapisan tipis. Dengan mengontrol secara tepat suhu ruang reaksi, Chiller memastikan setiap lapisan tipis terdeposisi secara seragam, seperti sebuah musik yang dimainkan sesuai partitur. Hal ini sangat penting untuk membangun fondasi struktur chip berkinerja tinggi.
3、 Kesimpulan:
Chiller telah melampaui ranah peralatan tambahan; chiller adalah fondasi dari presisi, stabilitas, dan hasil dalam manufaktur semikonduktor. Meskipun tak terlihat namun ada di mana-mana, chiller menjaga transformasi sempurna dari sebutir pasir menjadi sebuah chip. 
EN
