Sa mikroskopikong mundo ng mga semiconductor fab, ang mga pagbabago sa temperatura na kasing maliit ng 0.1°C ay maaaring mag-trigger ng isang "butterfly effect," na nagreresulta sa pagtapon ng milyun-milyong chips. Bakit napakahalaga ng kontrol sa temperatura?
1、 Ang "Anchor" ng Lithography
Ang mga modernong makina sa litograpiya ay parang mga relos na optikal na may mataas na katumpakan. Ang mga panloob na laser, lens, at mesa nito ay nagpapalabas ng init habang gumagana nang mabilis. Ang gampanin ng chiller (precision water chiller) ay magbigay ng napakatibay na kapaligiran sa temperatura na ±0.01°C sa mga pangunahing bahagi nito, upang masiguro na ang landas ng ilaw ay hindi malilipat sa antas ng micron, na nagagarantiya sa pinakamataas na eksaktong pagkakapatong ng litograpiya.
2. Ang "Batangon ng Ritmo" sa Pagdeposito ng Manipis na Pelikula
Sa mga proseso ng CVD (chemical vapor deposition) at PVD (physical vapor deposition), direktang nakaaapekto ang temperatura ng reaksyon sa kapal, pagkakapare-pareho, at komposisyon ng manipis na pelikula. Sa pamamagitan ng eksaktong kontrol sa temperatura ng silid ng reaksion, sinisiguro ng Chiller na ang bawat hibla ng manipis na pelikula ay pantay na naideposito, parang isang tugtugin na inaawit ayon sa musikal na partitura. Mahalaga ito para sa pagbuo ng matibay na pundasyon ng mga istruktura ng mataas na kakayahang chip.
3. Kongklusyon:
Ang Chiller ay tumataas na lampas sa larangan ng karagdagang kagamitan; ito ang pinakapundasyon ng eksaktong sukat, katatagan, at ani sa pagmamanupaktura ng semiconductor. Hindi nakikita ngunit nasa lahat ng dako, ito ang nagtitiyak sa perpektong pagbabago mula sa isang butil ng buhangin tungo sa isang chip. 
EN
