Mikroskopiskajā pusvadītāju fabrikās temperatūras svārstības, kas ir tikai 0,1°C lielas, var izraisīt „taures efektu“, kā rezultātā tiek iznīcināti miljoniem čipu. Kāpēc temperatūras kontrole ir tik svarīga?
1、 Litogrāfijas „Enkurs“
Mūsdienu litogrāfijas mašīnas ir kā precīzas optiskās pulksteņi. Ja tās darbojas strauji, tās iekšējie laseri, lentes un darba galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda galda Šajām pamatkomponentēm ir jānodrošina ultrastabila temperatūras vidēja temperatūra ±0,01°C, nodrošinot, ka optiskais ceļš neatkāpjas līdz mikrona līmenim, tādējādi garantējot litogrāfijas maksimālo precizitāti un pārklājumu precizitāti.
2、 "Ritma meistars" smalkas plēves noguldījumā
CVD (ķīmiskā tvaika noguldīšana) un PVD (fiziskā tvaika noguldīšana) procesos reakcijas temperatūra tieši nosaka smalkas plēves biezumu, vienlīdzību un sastāvu. Ar precīzi regulētu reakcijas kameras temperatūru dzesētājs nodrošina, ka katrs smalks sloksnis tiek noslodzīts vienādi, tāpat kā pie mūzikas. Tas ir ļoti svarīgi, lai uzlabotu pamatus augstas veiktspējas čipu struktūrām.
3, secinājums:
Šilders ir pārkāpis papildu iekārtu jomu; tas ir precizitātes, stabilitātes un ražīguma pamats pusvadītāju ražošanā. Neatpazīta, bet visur sastopama, tā nodrošina to, ka no smilšu grauda kļūst drupceļi. 
EN
