Жартылай өткізгіш зауыттарының микроскопиялық әлемінде 0,1°C шамасындағы температураның тербелістері миллиондаған чиптерді жойып тастауға әкелетін "күміс көбелек эффектісін" тудыруы мүмкін. Неліктен температураны реттеу оқшау маңызды?
1、 Литографияның "Якорі"
Қазіргі заманғы литографиялық машиналар дәлме-дәл оптикалық сағаттар сияқты. Олардың ішкі лазерлері, линзалары және жұмыс үстелдері жоғары жылдамдықта жұмыс істеу кезінде жылу бөледі. Чиллердің (дәл су салқындатқыш) рөлі — оптикалық жол микрон деңгейде ауытқымайтындай ету үшін осы негізгі компоненттерге ±0,01°C температуралық ортаны қамтамасыз ету, бұл литографиялық процестің соңғы дәлдігі мен беттестіру дәлдігін қамтамасыз етеді.
2、 Жұқа пленканың шашырауының "ритмдік басшысы"
CVD (химиялық будың шөгуі) және PVD (физикалық будың шөгуі) процестерінде реакция температурасы тікелей жұқа пленканың қалыңдығын, біркелкілігін және құрамын анықтайды. Реакция камерасының температурасын дәл бақылау арқылы чиллер әрбір жұқа пленка қабаты музыкалық партитура бойынша орындалған әуен сияқты біркелкі шөгілетінін қамтамасыз етеді. Бұл жоғары өнімді чип құрылымдарының негізін құру үшін маңызды.
3、 Қорытынды:
Чиллер қосалқы жабдық саласынан шығып кетті; ол жартылай өткізгіштерді өндіруде дәлдіктің, тұрақтылықтың және өнімділіктің негізі болып табылады. Көрінбесе де, барлық жерде болады және құмырсқадан чипке дейінгі мүмкіндікті сақтайды. 
EN
